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一种靶材生产制造用定位装置的制作方法

2021-11-10 02:06:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及靶材生产加工技术领域,具体是一种靶材生产制造用定位装置。


背景技术:

2.靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,由于靶材脆性高,材质易碎,与砂轮等剪切工具发生磕碰时,会损坏靶材,在剪切的过程中需要对靶材进行定位,使其在焊接或加工时不会偏离方向。现有技术中,靶材定位装置结构复杂,成本昂贵。
3.中国专利(公告号:cn 210147860 u,公告日:2020.03.17)公布了一种用于靶材定位的工装,该工装通过设置固定块和活动块来保持靶材生产加工过程中的稳定性,具有加工效率高、成本低廉等优点,但是,该定位工装的结构过于简单,通过单一夹板无法实现对靶材的稳定夹持,且再加工过程中需要通过频繁的手动拆卸并重新定位夹持,工作效率低且加工精度较差,因此,实用性不强。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种靶材生产制造用定位装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种靶材生产制造用定位装置,包括工作台,所述工作台下端固定连接有支柱,所述工作台上设有放置板和挡板,所述放置板上设有垫板,所述工作台下方设有支撑板,所述支撑板的两端与支柱固定连接,所述工作台中部开有通孔,所述通孔内设有液压杆,所述液压缸的上端与放置板下端相连,所述液压杆下端与液压缸上端相连,所述液压缸下端与支撑板上端固定连接,所述工作台上设有定位机构,所述定位机构包括放置座、套圈和圆筒箱,所述放置座固定设置在工作台上,所述圆筒箱设置在放置座上,所述圆筒箱外围套设有套圈,所述套圈的下端与放置座相连,所述圆筒箱与套圈的连接处设有带齿层,所述带齿层内设有若干个定位齿,所述套圈的上端设有定位螺栓,所述圆筒箱内部远离放置板的一侧测内壁上通过安装座设置有电机,所述圆筒箱内部中央设有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的两端通过第一连接套分别与电机输出端和圆筒箱内壁相连,所述第一螺纹杆上套设有第一螺纹套,所述第一螺纹套外围连接有活动板,所述活动板的上下端均与滑块的一端相连,所述滑块的另一端卡和设置在圆筒箱内壁上开有的第一滑槽内,所述活动板远离电机的一端连接有伸缩杆,所述伸缩杆远离电机的一端与弹性橡胶相连。
7.作为本实用新型进一步的方案:所述工作台上端开有第二滑槽,所述第二滑槽内设有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆的两端通过第二连接套与工作台相连,所述第二螺纹杆的左端连接有转动把手,所述第二螺纹杆上套设有第二螺纹套,所述挡板的下端与连接块上端相连,所述连接块的下端与螺纹套上端相连。
8.作为本实用新型再进一步的方案:所述通孔设置在工作台的正中央,所述定位机
构的数量设置为左右相同的两个,且两个定位机构沿放置板左右对称分布设置,所述挡板设置在放置板正后方。
9.作为本实用新型再进一步的方案:所述伸缩杆的数量设置为两个,两个伸缩杆沿第一螺纹杆中心轴线对称分布设置,伸缩杆的长度大于第一螺纹杆的长度。
10.作为本实用新型再进一步的方案:所述定位螺栓的下端设置为圆锥形,且与定位齿的尺寸大小相匹配。
11.作为本实用新型再进一步的方案:所述弹性橡胶远离电机的那一侧设有防滑突起。
12.作为本实用新型再进一步的方案:所述挡板下端设有半圆槽,半圆槽内设有滚珠。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该靶材生产制造用定位装置通过设置挡板和定位机构来实现定位功能,所述定位机构通过伸缩杆和弹性橡胶来对靶材原件进行夹持,伸缩杆设置为两个,配合弹性橡胶,无论对靶材原件的底面或是圆弧形的侧面都能起到很好的夹持效果,灵活程度高,通过圆筒箱和套圈的配合,使得靶材原件在被夹持状态下依然能够进行加工位置调整,无需再拆卸并重新夹持,大大提高了加工效率,且避免了因重新定位并夹持而产生的加工位置误差,整体装置结构简单且操作方便,再保证加工稳定性的同时也可以提高工作效率和加工精度,具有更强的实用性。
附图说明
14.图1为一种靶材生产制造用定位装置的整体结构示意图。
15.图2为一种靶材生产制造用定位装置的定位机构侧视图。
16.图3为一种靶材生产制造用定位装置中圆筒箱内部结构示意图。
17.图4为一种靶材生产制造用定位装置中挡板与工作台连接关系示意图。
18.图5为一种靶材生产制造用定位装置整体结构示意图中的a部分内部结构示意图。
19.其中:工作台

1,支柱

2,支撑板

3,液压缸

4,液压杆

5,通孔

6,放置座

7,放置板

8,垫板

9,挡板

10,圆筒箱

11,套圈

12,定位螺栓

13,带齿层

14,伸缩杆

15,弹性橡胶

16,定位齿

17,电机

18,第一螺纹杆

19,第一连接套

20,防滑突起

21,活动板

22,滑块

23,第一螺纹套

24,第一滑槽

25,第二滑槽

26,第二螺纹杆

27,第二连接套

28,连接块

29,第二螺纹套

30,滚珠

31,转动把手

32。
具体实施方式
20.需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
21.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另
有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
22.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
24.实施例一
25.请参阅图1

5,一种靶材生产制造用定位装置,包括工作台1,所述工作台1下端固定连接有支柱2,所述工作台1上设有放置板8和挡板10,所述放置板8上设有垫板9,所述工作台1下方设有支撑板3,所述支撑板3的两端与支柱2固定连接,所述工作台1中部开有通孔6,所述通孔6内设有液压杆5,所述液压缸4的上端与放置板8下端相连,所述液压杆5下端与液压缸4上端相连,所述液压缸4下端与支撑板3上端固定连接,所述工作台1上设有定位机构,所述定位机构包括放置座7、套圈12和圆筒箱11,所述放置座7固定设置在工作台1上,所述圆筒箱11设置在放置座7上,所述圆筒箱11外围套设有套圈12,所述套圈12的下端与放置座7相连,所述圆筒箱11与套圈12的连接处设有带齿层14,所述带齿层14内设有若干个定位齿17,所述套圈12的上端设有定位螺栓13,所述圆筒箱11内部远离放置板8的一侧测内壁上通过安装座设置有电机18,所述圆筒箱11内部中央设有第一螺纹杆19,所述第一螺纹杆19的两端通过第一连接套20分别与电机18输出端和圆筒箱11内壁相连,所述第一螺纹杆19上套设有第一螺纹套24,所述第一螺纹套24外围连接有活动板22,所述活动板22的上下端均与滑块23的一端相连,所述滑块23的另一端卡和设置在圆筒箱11内壁上开有的第一滑槽25内,所述活动板22远离电机18的一端连接有伸缩杆15,所述伸缩杆15远离电机18的一端与弹性橡胶16相连。
26.具体的,所述通孔6设置在工作台1的正中央,所述定位机构的数量设置为左右相同的两个,且两个定位机构沿放置板8左右对称分布设置,所述挡板10设置在放置板8正后方。
27.进一步的,所述伸缩杆15的数量设置为两个,两个伸缩杆15沿第一螺纹杆19中心轴线对称分布设置,伸缩杆15的长度大于第一螺纹杆19的长度。
28.进一步的,所述定位螺栓13的下端设置为圆锥形,且与定位齿17的尺寸大小相匹配。
29.优选的,所述弹性橡胶16远离电机18的那一侧设有防滑突起21,防滑突起21可有效防止靶材原件在夹持过程中产生松动或脱落。
30.在使用时,通过液压杆5和液压缸4调节放置板8到适当高度位置,将靶材原件放置在放置板8上,通过挡板10来调整靶材位置,启动电机18,电机18带动第一螺纹杆19转动,第一螺纹杆19带动活动板22移动,进而带动弹性橡胶16移动,通过弹性橡胶16来对靶材进行定位夹持,当需要更改加工位置时,可调节圆筒箱11并使其在套圈12内转动,靶材原件会随圆筒箱11一起转动,当转动到适当位置时,拧转定位螺栓13,使定位螺栓13下端与带齿层14卡和接触并实现固定,再进行下一步的加工。
31.实施例二
32.参阅图4,在实施例1的基础上,虽然能够对靶材进行定位夹持,但是,挡板10的设置位置固定,当遇到不同尺寸的靶材原件时,不易通过挡板10调整加工位置,因此,在所述工作台1上端开有第二滑槽26,所述第二滑槽26内设有第二螺纹杆27,所述第二螺纹杆27的两端通过第二连接套28与工作台1相连,所述第二螺纹杆27的左端连接有转动把手32,所述第二螺纹杆27上套设有第二螺纹套30,所述挡板10的下端与连接块29上端相连,所述连接块29的下端与螺纹套上端相连。
33.优选的,所述挡板10下端设有半圆槽,半圆槽内设有滚珠31,所述挡板10通过滚珠31在工作台1上进行滑动。
34.在使用时,根据靶材原件的尺寸大小来调整挡板10的位置,在加工过程中,也可以通过调整挡板10的位置来进一步对靶材原件进行定位,以达到更好的加工效果。
35.综上所述,该靶材生产制造用定位装置通过设置挡板10和定位机构来实现定位功能,所述定位机构通过伸缩杆15和弹性橡胶16来对靶材原件进行夹持,伸缩杆15设置为两个,配合弹性橡胶16,无论对靶材原件的底面或是圆弧形的侧面都能起到很好的夹持效果,灵活程度高,通过圆筒箱11和套圈12的配合,使得靶材原件在被夹持状态下依然能够进行加工位置调整,无需再拆卸并重新夹持,大大提高了加工效率,且避免了因重新定位并夹持而产生的加工位置误差,整体装置结构简单且操作方便,再保证加工稳定性的同时也可以提高工作效率和加工精度,具有更强的实用性。
36.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明,但是本专利并不限于上述实施方式,在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。
再多了解一些

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