一种纳米级不锈钢母版加工设备的制作方法

1.本实用新型涉及纳米级加工技术领域，具体为一种纳米级不锈钢母版加工设备。


背景技术：

2.纳米印刷摒弃了传统感光成像思路，无需暗箱操作而且制版流程简单，不仅消除了环境的污染同时大大降低了成本，并且使图文质量大幅提高，该技术吸纳了纳米技术、精细加工技术、接触印刷技术、界面科学及新材料等众多科学技术之精华，并深入研究才开发出来的，在纳米印刷设备中最重要的是印刷母版，母版的质量关系这印刷效果的好坏，要想保证母版的质量，运用纳米加工技术对母版进行加工是必不可少的，纳米加工是指构建尺度在纳米范围内的微结构，在纳米尺度下操控物质的组装从而构成具有一定功能的微器件，纳米加工中常用的方法就是电子束加工，通过电子束投射到工件表面，对工件进行蚀刻，实现纳米级的加工效果，其中加工的环境要保持在真空环境下，避免电子与气体分子碰撞而获得高速运动，避免发射阴极和被加工表面在高温下氧化，可现在一些加工设备的密封效果不好，不能保持有限的真空环境，影响对母版的加工。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种纳米级不锈钢母版加工设备，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种纳米级不锈钢母版加工设备，包括加工箱体、加工机构和真空机构；
5.加工箱体：其上表面中部的加工孔处设有安装箱，加工箱体的前表面设有连通孔，加工箱体的前表面右端通过铰链转动连接有箱门，箱门右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃，加工箱体前表面左端的安装孔内设有电磁铁；
6.加工机构：设置于安装箱的内部；
7.真空机构：设置于加工箱体的左侧面；
8.其中：好包括plc控制器，所述plc控制器设置于加工箱体的右侧面上端，plc控制器的输入端电连接于外部电源，电磁铁的输入端电连接于plc控制器的输出端，方便纳米级不锈钢母版的加工，节省了人力资源，加工的精确度高，提高了加工的效率，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果。
9.进一步的，所述加工机构包括电子枪、束孔板、电磁透镜、偏转器和反射镜，所述电子枪设置于安装箱的顶壁，安装箱的内部上端设有束孔板，束孔板的上表面与电子枪的下表面贴合，电子枪的输出口与束孔板上的光束孔竖向对应，安装箱的内弧壁中部左右两端对称设有电磁透镜，安装箱的内部下端设有偏转器，安装箱内部下端的安装架上设有反射镜，反射镜位于偏转器的下侧，电子枪、电磁透镜和偏转器的输入端均电连接于plc控制器的输出端，对不锈钢板进行纳米级加工。
10.进一步的，所述真空机构包括进气管道、电磁阀、真空泵和抽气管道，所述进气管道设置于加工箱体左侧面上端的进气孔处，加工箱体的左侧面下端的出气口处设有抽气管道，抽气管道和进气管道的右端均设有电磁阀，抽气管道的左端设有真空泵，真空泵和电磁阀的输入端均电连接于plc控制器的输出端，使箱体内部真空，保障加工的效果。
11.进一步的，所述加工箱体的右侧面下端设有电动推杆，电动推杆的伸缩端左端穿过加工箱体上的轴孔并设有连接柱，连接柱的左侧面设有放置板，放置板上表面的放置槽内放置有不锈钢板，不锈钢板和加工箱体上表面中部的加工孔竖向对应，电动推杆的输入端电连接于plc控制器的输出端，使不锈钢板始终处于电子束的偏转范围内。
12.进一步的，所述箱门的左侧面后端设有密封垫，增强箱体内部的真空效果。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本纳米级不锈钢母版加工设备，具有以下好处：
14.1、通过plc控制器的调控，启动电子枪，电子枪发出的电子通过束孔板上的束孔发射出去，经过电磁透镜之间时，电子束被电磁透镜聚焦，提高束流能量密度，然后偏转器将电子束偏转，控制电子束的方向，通过反射镜将电子束投射到不锈钢板的上表面，对不锈钢板的上表面进行刻蚀，通过plc控制器的调控对不锈钢板进行纳米级加工，方便纳米级不锈钢母版的加工，节省了人力资源，加工的精确度高，提高了加工的效率。
15.2、通过plc控制器的调控，打开下端的电磁阀，启动真空泵，真空泵将箱体内部的空气抽出，使箱体内部实现真空，同时密封垫对箱体内部起到密封作用，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型安装箱内部结构示意图；
18.图3为本实用新型真空机构结构示意图。
19.图中：1加工箱体、2安装箱、3连通孔、4箱门、5电磁铁、6高强度玻璃、7加工机构、71电子枪、72束孔板、73电磁透镜、74偏转器、75反射镜、8真空机构、81进气管道、82电磁阀、83真空泵、84抽气管道、9电动推杆、10连接柱、11放置板、12不锈钢板、13 plc控制器、14密封垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种纳米级不锈钢母版加工设备，包括加工箱体1、加工机构7和真空机构8；
22.加工箱体1：其上表面中部的加工孔处设有安装箱2，加工箱体1的前表面设有连通孔3，加工箱体1的前表面右端通过铰链转动连接有箱门4，箱门4右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃6，通过高强度玻璃6对加工过程进行观察，加工箱体1前表面左端的安装孔内
设有电磁铁5，加工箱体1的右侧面下端设有电动推杆9，电动推杆9的伸缩端左端穿过加工箱体1上的轴孔并设有连接柱10，连接柱10的左侧面设有放置板11，放置板11上表面的放置槽内放置有不锈钢板12，不锈钢板12和加工箱体1上表面中部的加工孔竖向对应，电动推杆9的输入端电连接于plc控制器13的输出端，加工过程中，启动电动推杆9，电动推杆9的伸缩端带动放置板11左右移动，保证加工面在电子束的偏转范围内，箱门4的左侧面后端设有密封垫14，方便箱体内部的真空处理；
23.加工机构7：设置于安装箱2的内部，加工机构7包括电子枪71、束孔板72、电磁透镜73、偏转器74和反射镜75，电子枪71设置于安装箱2的顶壁，安装箱2的内部上端设有束孔板72，束孔板72的上表面与电子枪71的下表面贴合，电子枪71的输出口与束孔板72上的光束孔竖向对应，安装箱2的内弧壁中部左右两端对称设有电磁透镜73，安装箱2的内部下端设有偏转器74，安装箱2内部下端的安装架上设有反射镜75，反射镜75位于偏转器74的下侧，电子枪71、电磁透镜73和偏转器74的输入端均电连接于plc控制器13的输出端，通过plc控制器13的调控，启动电子枪71，电子枪71发出的电子通过束孔板72上的束孔发射出去，经过电磁透镜73之间时，电子束被电磁透镜73聚焦，提高束流能量密度，然后偏转器74将电子束偏转，控制电子束的方向，通过反射镜75将电子束投射到不锈钢板12的上表面，对不锈钢板12的上表面进行刻蚀，通过plc控制器13的调控对不锈钢板12进行纳米级加工；
24.真空机构8：设置于加工箱体1的左侧面，真空机构8包括进气管道81、电磁阀82、真空泵83和抽气管道84，进气管道81设置于加工箱体1左侧面上端的进气孔处，加工箱体1的左侧面下端的出气口处设有抽气管道84，抽气管道84和进气管道81的右端均设有电磁阀82，抽气管道84的左端设有真空泵83，真空泵83和电磁阀82的输入端均电连接于plc控制器13的输出端，通过plc控制器13的调控，打开下端的电磁阀82，启动真空泵83，真空泵83将箱体内部的空气抽出，使箱体内部实现真空，加工完成后，上端的电磁阀82打开，通过进气管道81将外部大气导入；
25.其中：好包括plc控制器13，plc控制器13设置于加工箱体1的右侧面上端，plc控制器13的输入端电连接于外部电源，电磁铁5的输入端电连接于plc控制器13的输出端，控制整体装置的启动与停止。
26.在使用时：将整体装置在平面上固定，将不锈钢板12放置在放置板11上表面的放置槽内，关闭箱门4，通过plc控制器13的调控，启动电磁铁5，电磁铁5产生磁力，将箱门4吸附，同时密封垫14对箱体内部起到密封作用，打开下端的电磁阀82，启动真空泵83，真空泵83将箱体内部的空气抽出，使箱体内部实现真空，通过plc控制器13的调控，启动电子枪71，电子枪71发出的电子通过束孔板72上的束孔发射出去，经过电磁透镜73之间时，电子束被电磁透镜73聚焦，提高束流能量密度，然后偏转器74将电子束偏转，控制电子束的方向，通过反射镜75将电子束投射到不锈钢板12的上表面，对不锈钢板12的上表面进行刻蚀，通过plc控制器13的调控对不锈钢板12进行纳米级加工，加工过程中，启动电动推杆9，电动推杆9的伸缩端带动放置板11左右移动，保证加工面在电子束的偏转范围内，加工完成后，上端的电磁阀82打开，通过进气管道81将外部大气导入，然后取出加工好的母版。
27.值得注意的是，本实施例中所公开的plc控制器13可选用南大傲拓科技江苏股份有限公司na200型号一体化plc控制器，电磁铁5可选用南通鑫磁机械制造有限公司xd125型号的电磁铁，电动推杆9可选用无锡市五洋电动推杆机械厂dt型号的电动推杆，真空泵83可
选用德耐尔节能科技股份有限公司dpx21型号德真空泵，电磁阀82可选用余姚市永创电磁阀有限公司ycsm31251型号德真空电磁阀，电子枪71可选用皕赫科学仪器有限公司egh
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6210型号的电子束电子枪，电磁透镜73可选用东莞市德昂电磁技术有限公司的小型透镜电磁线圈，偏转器74可选用北京锦坤科技有限公司的光束偏转器，plc控制器13控制电磁铁5、电动推杆9、真空泵83、电磁阀82、电子枪71、电磁透镜73和偏转器74工作采用现有技术中常用的方法。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。