一种水平位置可微调的吸头安装座的制作方法

本技术涉及芯片领域，特别是一种水平位置可微调的吸头安装座。

背景技术：

1、半导体测试分选机上的一种芯片拾取吸头机构为气缸伸缩带动吸嘴升降，进行芯片的取放，气缸式吸头取放机构的优点为体积小、集成度高，缺点为气缸的活塞杆和缸筒导向套的配合为滑动间隙配合，配合间隙较大，以避免因分选机取放效率较高，气缸需要不停伸缩取放芯片、工作时间长而造成的热膨胀卡涩，造成活塞杆和缸筒无法获得较高的同轴度；同时气缸装在变距机构上进行变距移动以适应不同芯片间距的取放，变距机构的凸轮和变距斜槽配合也存在间隙，多个气缸联动后，间距无法达到理想的等距，造成吸嘴无法吸取芯片的正中心容易造成芯片放下时歪斜。

技术实现思路

1、本实用新型目的在于解决上述技术问题，提供一种水平位置可微调的吸头安装座。

2、一种水平位置可微调的吸头安装座，包括对接法兰、气缸活塞杆、吸嘴安装座和吸嘴座固定套，所述对接法兰固定在气缸活塞杆上，所述吸嘴安装座和所述吸嘴座固定套夹住所述对接法兰，所述对接法兰与所述吸嘴安装座在水平面预留微调间隙，所述吸嘴安装座可沿水平方向相对于所述对接法兰移动以补偿位置误差。

3、在气缸活塞杆和缸筒出现偏心时，可以通过松开吸嘴安装座和吸嘴座固定套之间的螺纹，微调吸嘴安装座至和缸筒同心后，再重新锁紧，使偏心的水平位置调整回来；当多个气缸因变距机构的误差造成一组缸筒的间距已经变到要求间距时，另一组无法准确变距到同等间距，此时微调其中一个未变距到位的吸嘴安装座，可时吸嘴间距仍保持等间距，从而使吸嘴安装座和气缸形成连接。当活塞杆和缸筒因制造误差存在偏心时，例如吸嘴座对接法兰和活塞杆一起偏心0.22mm，吸嘴座固定套和吸嘴安装座可以相对于前两者微调0.22mm，从而保持相对于缸筒的同轴。气缸安装在外部的变距机构（图纸未画出），因变距机构的误差，例如造成缸筒的间距在一组已经变距到20mm，另一组无法准确变距到同等间距，只能变距成20.3mm时，偏心气缸组的吸嘴座固定套和吸嘴安装座可以微调0.3mm，从而保证吸嘴间距仍为20mm。

4、优选地，所述微调间隙包括所述吸嘴座固定套与所述对接法兰之间的第一水平间隙，以及所述吸嘴安装座与所述对接法兰之间的第二水平间隙。

5、优选地，所述第一水平间隙包括所述吸嘴座固定套与所述对接法兰两侧对应形成的间隙，所述第二水平间隙为所述吸嘴安装座端面与所述对接法兰端面之间的间隙。

6、优选地，还包括气缸、钢珠套、吸嘴和吸嘴固定钢珠，所述对接法兰和气缸通过螺纹连接，防松螺丝抵住气缸活塞杆螺纹；所述吸嘴座固定套和吸嘴安装座使用螺纹连接，所述吸嘴座固定套和吸嘴安装座在锁紧时，夹住所述对接法兰；吸嘴固定钢珠用于吸嘴和吸嘴安装座之间的连接，钢珠套环绕钢珠将吸嘴限制在吸嘴安装座上；所述吸嘴座固定套和对接法兰的水平间隙、吸嘴安装座和对接法兰的水平间隙用于消除偏心误差的空间余量。

7、优选地，所述吸嘴安装座和所述吸嘴座固定套通过螺纹连接夹住所述对接法兰。

1.一种水平位置可微调的吸头安装座，其特征在于，包括对接法兰、气缸活塞杆、吸嘴安装座和吸嘴座固定套，所述对接法兰固定在气缸活塞杆上，所述吸嘴安装座和所述吸嘴座固定套夹住所述对接法兰，所述对接法兰与所述吸嘴安装座在水平面预留微调间隙，所述吸嘴安装座可沿水平方向相对于所述对接法兰移动以补偿位置误差。

2.根据权利要求1所述的吸头安装座，其特征在于，所述微调间隙包括所述吸嘴座固定套与所述对接法兰之间的第一水平间隙，以及所述吸嘴安装座与所述对接法兰之间的第二水平间隙。

3.根据权利要求2所述的吸头安装座，其特征在于，所述第一水平间隙包括所述吸嘴座固定套与所述对接法兰两侧对应形成的间隙。

4.根据权利要求2所述的吸头安装座，其特征在于，所述第二水平间隙为所述吸嘴安装座端面与所述对接法兰端面之间的间隙。

5.根据权利要求1所述的吸头安装座，其特征在于，还包括气缸、钢珠套、吸嘴和吸嘴固定钢珠，所述对接法兰和气缸通过螺纹连接，防松螺丝抵住气缸活塞杆螺纹；所述吸嘴座固定套和吸嘴安装座使用螺纹连接，所述吸嘴座固定套和吸嘴安装座在锁紧时，夹住所述对接法兰；吸嘴固定钢珠用于吸嘴和吸嘴安装座之间的连接，钢珠套环绕钢珠将吸嘴限制在吸嘴安装座上；所述吸嘴座固定套和对接法兰的水平间隙、吸嘴安装座和对接法兰的水平间隙用于消除偏心误差的空间余量。

6.根据权利要求1所述的吸头安装座，其特征在于，所述吸嘴安装座和所述吸嘴座固定套通过螺纹连接夹住所述对接法兰。