加热组件和蒸镀设备的制作方法

本申请涉及半导体制备设备，尤其涉及一种加热组件和蒸镀设备。

背景技术：

1、蒸镀设备是一种用于在真空环境下通过加热蒸镀材料并将其沉积到基板表面的设备，蒸镀设备是半导体制造中的关键制备设备之一。

2、采用加热组件对蒸镀材料进行加热时，加热组件中的电阻丝达到一定的使用时长后，电阻丝的一段或多段的加热性能变差，使得加热设备的加热效率无法满足蒸镀需要。由于加热组件中设置的电阻丝连续盘绕，使得当电阻丝的一段或多段的加热性能变差时，需要更换整个加热组件，导致加热组件的使用寿命短。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种加热组件和蒸镀设备，旨在改善电阻丝的一段或多段的加热性能变差时，需要更换整个加热组件，导致加热组件的使用寿命短的技术问题。

2、本申请第一方面的实施例提供一种加热组件，加热组件应用于蒸镀设备，加热组件用于加热蒸镀材料，以使蒸镀材料蒸发或升华为气态粒子并沉积至基板上；加热组件包括：

3、支架，具有至少一个接电端子；

4、多个加热单元，加热单元包括第一壳体和设置于第一壳体上的电阻丝，第一壳体与支架可拆卸连接，电阻丝沿第一壳体往复弯折，电阻丝的端部与接电端子电连接，至少两个与支架连接的加热单元围合形成具有排气口的中空空间，排气口用于朝向基板；

5、第二壳体，设置于中空空间内，第二壳体具有用于放置蒸镀材料的收容空间，收容空间的开口朝向排气口，电阻丝设置于第一壳体靠近第二壳体的一侧，多个加热单元的电阻丝环绕第二壳体设置。

6、根据本申请第一方面的实施方式，开口和排气口沿第一方向相对设置，多个加热单元沿第一方向叠设形成加热组，多个加热组绕第二壳体设置并围合形成中空空间。

7、根据本申请第一方面的实施方式，第一壳体具有曲面，电阻丝设置于曲面上并沿曲面往复弯折。

8、根据本申请第一方面的实施方式，至少两个与支架连接的加热单元围合形成闭合环形；

9、根据本申请第一方面的实施方式，至少两个与支架连接的加热单元围合形成圆柱形。

10、根据本申请第一方面的实施方式，支架包括沿第一方向延伸的立柱，接电端子成对设置于立柱的相对两侧，成对设置的接电端子分别用于连接不同的加热单元。

11、根据本申请第一方面的实施方式，立柱的数量为多个，多个立柱间隔设置并环绕第二壳体设置，加热单元的相对两侧分别与相邻立柱可拆卸连接。

12、根据本申请第一方面的实施方式，电阻丝的一端与一立柱上的接电端子电连接，电阻丝的另一端与另一立柱上的接电端子电连接。

13、根据本申请第一方面的实施方式，两个立柱设置于第二壳体的相对两侧，一个加热单元的相对两端分别与两个立柱的一侧连接，另一个加热单元的相对两端分别与两个立柱的另一侧连接。

14、根据本申请第一方面的实施方式，成对设置的接电端子沿第二壳体的周向间隔设置，第一壳体具有与接电端子配合的插口。

15、根据本申请第一方面的实施方式，支架包括沿第一方向延伸的立柱，接电端子沿第一方向延伸，沿第一方向叠设的多个加热单元均与同一接电端子电连接。

16、根据本申请第一方面的实施方式，加热单元包括设置于第一壳体上的第一插头，立柱具有沿第一方向延伸的第一插槽，第一插头插入第一插槽内。

17、根据本申请第一方面的实施方式，支架包括支撑座，排气口沿第一方向与支撑座相对设置，支撑座具有第二插槽，接电端子的至少部分设置于第二插槽中，加热单元沿第一方向的一端插入第二插槽内。

18、根据本申请第一方面的实施方式，第二插槽绕第二壳体设置，多个加热单元绕第二壳体设置并围合形成中空空间。

19、根据本申请第一方面的实施方式，第二插槽围合形成多边形，多边形具有n个侧边，多个加热单元围合形成具有n个侧棱的棱柱，n≥3，n为正整数；

20、根据本申请第一方面的实施方式，6个加热单元围合形成六棱柱。

21、根据本申请第一方面的实施方式，支撑座具有多个第二插槽，加热单元一一对应的插入多个第二插槽中，多个加热单元包括绕第二壳体依次设置的第一单元、第二单元和第三单元，第二单元靠近第一单元的一端位于第一单元靠近第二壳体的一侧，第二单元靠近第三单元的一端位于第三单元背离第二壳体的一侧。

22、本申请第二方面的实施例还提供了一种蒸镀设备，包括上述任一第一方面实施例的加热组件。

23、在本申请实施例提供的加热组件和蒸镀设备中，通过设置电阻丝设置于第一壳体靠近第二壳体的一侧，多个加热单元的电阻丝环绕第二壳体设置，使得电阻丝产生的热能能均匀作用在放置于第二壳体内的蒸镀材料内；通过设置收容空间的开口朝向排气口，使得蒸镀材料蒸发或升华为气态粒子，气态粒子可以通过开口、排气口沉积至基板上；通过设置第一壳体与支架可拆卸连接，电阻丝的端部与接电端子电连接，以方便加热单元和第一壳体连接、拆卸。设置至少两个与支架连接的加热单元围合形成具有排气口的中空空间，使得在多个加热单元中任一加热单元中的电阻丝发生异常、加热效率不满足需要时，可以对该加热单元进行替换，从而避免更换整个加热组件，提高加热组件的使用寿命。

1.一种加热组件，其特征在于，所述加热组件应用于蒸镀设备，所述加热组件用于加热蒸镀材料，以使所述蒸镀材料蒸发或升华为气态粒子并沉积至基板上；所述加热组件包括：

2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述开口和所述排气口沿第一方向相对设置，多个所述加热单元沿所述第一方向叠设形成加热组，多个所述加热组绕所述第二壳体设置并围合形成所述中空空间。

3.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述第一壳体具有曲面，所述电阻丝设置于所述曲面上并沿所述曲面往复弯折；

4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，所述支架包括沿所述第一方向延伸的立柱，所述接电端子成对设置于所述立柱的相对两侧，成对设置的所述接电端子分别用于连接不同的所述加热单元；

5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，成对设置的所述接电端子沿所述第二壳体的周向间隔设置，所述第一壳体具有与所述接电端子配合的插口。

6.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，所述支架包括沿所述第一方向延伸的立柱，所述接电端子沿所述第一方向延伸，沿所述第一方向叠设的多个所述加热单元均与同一所述接电端子电连接；

7.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述支架包括支撑座，所述排气口沿第一方向与所述支撑座相对设置，所述支撑座具有第二插槽，所述接电端子的至少部分设置于所述第二插槽中，所述加热单元沿所述第一方向的一端插入所述第二插槽内；

8.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述第二插槽围合形成多边形，所述多边形具有n个侧边，多个所述加热单元围合形成具有n个侧棱的棱柱，n≥3，n为正整数；

9.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述支撑座具有多个第二插槽，所述加热单元一一对应的插入多个所述第二插槽中，所述多个加热单元包括绕所述第二壳体依次设置的第一单元、第二单元和第三单元，所述第二单元靠近所述第一单元的一端位于所述第一单元靠近所述第二壳体的一侧，所述第二单元靠近所述第三单元的一端位于所述第三单元背离所述第二壳体的一侧。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的加热组件。