镀膜用基板临时支撑架交接组件及多腔室镀膜产线的制作方法

本发明涉及真空镀膜，特别涉及镀膜用基板临时支撑架交接组件及多腔室镀膜产线。

背景技术：

1、oled有机发光面板凭借轻薄、柔性、高对比度等核心优势，在手机、电视、车载显示领域正在逐渐替代传统lcd液晶面板，其核心发光层依赖真空热蒸镀工艺完成制备。量产蒸镀设备包含基板传送空间、多个独立蒸镀腔、外部传送多指叉、腔室内基板承接机构以及图形化掩膜板。

2、传统蒸镀设备基板承接结构仅对基板两侧边缘进行单点支撑，基板中部悬空受重力弯曲下垂，基板四角对位标识与掩膜对位标记存在高度差，对位精度不足、对位反复校准耗时久；边缘局部支撑应力集中，高世代大尺寸薄基板易发生破损，生产良率难以提升。现有专利针对基板下垂问题提出改进支撑方案，但该类方案采用内外多指叉直接对接传片，内外叉指结构必须互补适配，无法实现单套外部多指叉兼容双腔互补蒸镀系统，设备通用性差。

3、除此之外，现有蒸镀设备的内外多指叉多为简单条状叉指结构，仅能局部托举基板，无法从基板四周全域均匀承载，基板弯曲形变仍无法消除；叉指表面仅简单包覆光滑耐磨胶层，在长期反复输送基板过程中，腔室内有机粉尘、玻璃碎屑易堆积在叉指表面，转运时颗粒掉落污染基板像素区，造成黑点、坏点等显示不良；光滑胶层摩擦力不足，高速传送过程中基板易发生微小滑移，进一步恶化基板与掩膜板的对位精度。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供镀膜用基板临时支撑架交接组件及多腔室镀膜产线。

2、镀膜用基板临时支撑架交接组件，包括用于承托基板的临时支撑架和用于搬送或承接所述基板的多指叉，所述临时支撑架包括多个支撑件，多个所述支撑件环绕布置用于承托在所述基板的四周边缘；

3、所述多指叉为对所述基板进行四周支撑的框型支撑结构，所述框型支撑结构的外轮廓小于基板的外轮廓，所述框型支撑结构的上表面设置有凸出于所述上表面的承托台阶，所述承托台阶使基板的边缘与所述框型支撑结构的上表面之间形成空隙；

4、所述临时支撑架的支撑件能够从所述空隙中伸入并抵接在所述基板下表面的边缘，以实现所述临时支撑架与所述多指叉之间的基板交接。

5、本发明中，所述临时支撑架的支撑件被配置为仅作水平画弧动作或垂直画弧动作的一维动作。

6、本发明中，所述多指叉为框型多指叉、格栅框型多指叉或板型多指叉。

7、进一步的，所述多指叉包括内部多指叉，所述内部多指叉为所述格栅框型多指叉。

8、本发明中，所述多指叉与所述基板接触的表面设置有软膜，所述软膜用于防止所述基板被刮伤。

9、本发明中，所述多指叉与所述基板接触的表面设置有粒子吸附膜，所述粒子吸附膜用于吸附并储存颗粒污染物。

10、进一步的，所述粒子吸附膜为网格结构或全覆盖结构。

11、本发明中，所述临时支撑架的支撑件为条状支撑块或独立式支撑块。

12、进一步的，所述临时支撑架为空心结构。

13、本发明还提供多腔室镀膜产线，包括基板传送腔、环绕所述基板传送腔布置的多个蒸镀腔室以及分别与所述基板传送腔连通的第一基板输送装置和第二基板输送装置，环绕布置的多个所述蒸镀腔室内设有如上所述的临时支撑架交接组件，所述基板传送腔内设置有机械手，所述机械手的末端设置有外部多指叉，所述机械手用于在所述第一基板输送装置、各所述蒸镀腔室以及所述第二基板输送装置之间搬送所述基板。

14、有益效果：

15、本发明通过在基板交接组件中设置临时支撑架，临时支撑架在内外多指叉之间形成中转支撑，避免内外多指叉直接产生联系，使二者的形状根据需要自由设计。将临时支撑架设计为围绕基板四周布置的多个支撑件，并将多指叉设计为面积小于基板投影的框型支撑结构，在框型上表面设置凸出的承托台阶使基板放置时边缘与框型上表面形成空隙，临时支撑架的支撑件从空隙中伸入抵接基板下表面边缘完成交接，使基板四边均得到承托，有利于抑制基板在自重作用下的弯曲下垂、减小对位标记高度偏差、提高对位精度并缓解边缘应力集中导致的破片；或有利于更薄型基板的使用，其可节约基板成本或减薄成本，亦可降低产品显示屏的重量与厚度。

16、临时支撑架与多指叉通过空隙完成交接而非叉指直接交叉对接，二者结构解耦，有利于单套外部多指叉兼容多腔互补蒸镀系统；多指叉表面设置软膜与粒子吸附膜，能够在托举基板时提供缓冲防刮，并捕获储存有机粉尘、玻璃碎屑等颗粒污染物同时增加摩擦力防滑，有利于实现颗粒捕捉、防滑防刮一体化。

1.镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，包括用于承托基板的临时支撑架和用于搬送或承接所述基板的多指叉，所述临时支撑架包括多个支撑件，多个所述支撑件环绕布置用于承托在所述基板的四周边缘；

2.根据权利要求1所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述临时支撑架的支撑件被配置为仅作水平画弧动作或垂直画弧动作的一维动作。

3.根据权利要求1所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述多指叉为框型多指叉、格栅框型多指叉或板型多指叉。

4.根据权利要求3所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述多指叉包括内部多指叉，所述内部多指叉为所述格栅框型多指叉。

5.根据权利要求1所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述多指叉与所述基板接触的表面设置有软膜，所述软膜用于防止所述基板被刮伤。

6.根据权利要求1所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述多指叉与所述基板接触的表面设置有粒子吸附膜，所述粒子吸附膜用于吸附并储存颗粒污染物。

7.根据权利要求6所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述粒子吸附膜为网格结构或全覆盖结构。

8.根据权利要求1所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述临时支撑架的支撑件为条状支撑块或独立式支撑块。

9.根据权利要求8所述的镀膜用基板临时支撑架交接组件，其特征在于，所述临时支撑架为空心结构。

10.多腔室镀膜产线，其特征在于，包括基板传送腔、环绕所述基板传送腔布置的多个蒸镀腔室以及分别与所述基板传送腔连通的第一基板输送装置和第二基板输送装置，环绕布置的多个所述蒸镀腔室内设有如权利要求1-9任一所述的临时支撑架交接组件，所述基板传送腔内设置有机械手，所述机械手的末端设置有外部多指叉，所述机械手用于在所述第一基板输送装置、各所述蒸镀腔室以及所述第二基板输送装置之间搬送所述基板。