一种用于MOCVD设备加热组件的内加热丝支撑架的制作方法

本技术涉及一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架。

背景技术：

1、金属有机物化学气相沉积设备、真空镀膜设备、或特定工业加热装置等领域中，加热丝是实现高温环境的核心部件。为了确保加热丝在工作时能保持预定的形状和位置，避免因高温软化、重力或热应力作用下发生变形、塌陷或短路，必须使用专门的支撑架对其进行固定和支撑。

2、图1为mocvd设备的加热组件的内加热丝结构图，其外形成近似圆盘形，加热丝在发热过程中会产生变形甚至倾倒，所以沿加热丝的轨迹设置有多个支撑架，支撑架的结构参考申请号2023233736097的中国实用新型专利所示，该文件中公开了一种支撑架结构，即陶瓷支撑底座8和支撑杆9；

3、陶瓷支撑底座8的底部设有插接杆，插接杆用于插接到隔热板的孔里，但因力臂较长，支撑效果和稳定性会比较差，使用的使命较短，容易断裂；

4、而且，本企业所用的设备的内加热丝在轨迹上的各部分的宽度不是一致的，有宽有窄，传统的支撑架不能做到调整宽度，存在不足；

5、为了解决支撑问题，本企业的技术人员提供一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，包括底部为平面的支撑底座，调节块滑动设置在所述支撑底座上，支撑板一端固定连接所述支撑底座，所述调节块滑动连接所述支撑板另一端；

3、所述支撑板顶部用于支撑加热丝，调节所述调节块在所述支撑底座上的位置实现调节所述支撑板顶部的支撑部位的宽度尺寸以适应加热丝的不同宽度要求；

4、所述调节块上还设有一锁紧螺丝，所述锁紧螺丝与所述支撑板相抵实现位置固定。

5、进一步，所述支撑底座包括第一板体和第二板体，所述第二板体与所述第一板体同平面相接，所述调节块沿所述第二板体的延伸方向移动；

6、在所述第一板体和所述第二板体的相接处设有向上凸起的凸块，所述支撑板一端固定连接所述凸块。

7、进一步，所述第二板体设有沿其延伸方向延伸的调节槽，所述调节块在所述调节槽中滑动。

8、进一步，所述支撑板包括支撑板体和设置在所述支撑板体靠近所述凸台一侧的插接短杆；

9、所述插接短杆插接到所述凸块的顶部设置的插孔中；

10、所述支撑板体的另一端穿透所述调节块设置的通槽中；

11、所述插接短杆与所述插孔滑动配合；

12、所述支撑板体与所述通槽滑动配合。

13、进一步，所述调节块包括滑动块体和支撑块体，所述支撑块体设置在所述滑动块体顶部；

14、所述滑动块体连接在所述调节槽内；

15、所述支撑块体向上穿透所述调节槽顶部的开口并与所述支撑板体相连；

16、所述支撑块体顶部设置所述通槽。

17、进一步，所述通槽顶部设有锁紧通孔，所述锁紧通孔的下端与所述通槽相通；

18、所述锁紧螺丝连接在所述锁紧通孔中，所述锁紧螺丝的下端与所述支撑板体的顶部相贴。

19、进一步，所述第一板体和第二板体之间的夹角为锐角。

20、进一步，所述支撑架设置成一对，该一对所述支撑架之间镜像设置。

21、进一步，所述第一板体上设有避位孔，所述避位孔用于避让隔热板的陶瓷柱。

22、本实用新型的积极效果在于：

23、1.支撑结构本体底部采用面接触支撑，稳定效果更佳；

24、2.无悬空的延长力臂设计，减少重力的悬空支撑，大大降低支撑结构断裂的风险；

25、3.在特殊的位置和环境，不破坏原有设计的基础上，采用孔位套用的设计，保证支撑结构本体位置的固定；

26、4.对支撑部分采用伸缩可调节宽度的设计，针对不同宽度的加热丝进行调节，提升了支撑结构的灵活性。

1.一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：包括底部为平面的支撑底座，调节块滑动设置在所述支撑底座上，支撑板一端固定连接所述支撑底座，所述调节块滑动连接所述支撑板另一端；

2.根据权利要求1所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述支撑底座包括第一板体和第二板体，所述第二板体与所述第一板体同平面相接，所述调节块沿所述第二板体的延伸方向移动；

3.根据权利要求2所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述第二板体设有沿其延伸方向延伸的调节槽，所述调节块在所述调节槽中滑动。

4.根据权利要求3所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述支撑板包括支撑板体和设置在所述支撑板体靠近所述凸块一侧的插接短杆；

5.根据权利要求4所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述调节块包括滑动块体和支撑块体，所述支撑块体设置在所述滑动块体顶部；

6.根据权利要求5所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述通槽顶部设有锁紧通孔，所述锁紧通孔的下端与所述通槽相通；

7.根据权利要求6所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于：所述第一板体和第二板体之间的夹角为锐角。

8.根据权利要求7所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于，所述支撑架设置成一对，该一对所述支撑架之间镜像设置。

9.根据权利要求8所述的一种用于mocvd设备加热组件的内加热丝支撑架，其特征在于，所述第一板体上设有避位孔，所述避位孔用于避让隔热板的陶瓷柱。