一种镀膜装载装置及镀膜设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种镀膜装载装置及镀膜设备。

背景技术：

1、目前，在太阳能电池的制造过程中，例如电镀金属化电极工序中，常会涉及到利用pvd(物理气相沉积法)对电池片进行镀膜。电池片通常包括相对设置的第一表面及第二表面，其中，第一表面及第二表面中的一者为受光面，另一者为背光面。在一些膜层结构中，膜层需要在电池片的第一表面整面镀膜，并沿电池片的四周边缘经由第一表面与第二表面之间的相连侧面绕镀至第二表面，在第二表面的边缘区域镀膜。若是采用双面镀膜pvd设备制备这类膜层结构，一方面，由于现有的载板通常为沿水平方向设置的平面，镀膜时，电池片平放在载板上，沿垂直方向延伸设置的相连侧面难以均匀镀膜；另一方面，由于第二表面仅是需要在四周边缘镀膜，造成第二表面上的靶材利用率相对较低，造成不必要的材料浪费。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对已有的技术现状，提供一种镀膜装载装置及镀膜设备，本实用新型的镀膜装载装置能够有效提升电池片绕镀膜层相连侧面的镀膜均匀度，提高靶材利用率及镀膜效率。

2、为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、首先，本实用新型提供一种镀膜装载装置，包括：

4、遮挡件，用于遮挡工件的非镀膜区域；

5、载物基座，包括用于承载工件的承载表面，所述承载表面包括用于使工件相对于水平面呈倾斜状态的倾斜坡面，所述倾斜坡面包括沿其倾斜方向依次设置的第一端及第二端，所述第一端的高度大于所述第二端的高度；

6、所述承载表面与所述遮挡件之间形成用于放置至少一个工件的放置空间，所述放置空间的上方设有不被所述遮挡件遮挡的暴露区域。

7、在一些实施例中，所述倾斜坡面与所述第二端所在水平面之间的夹角为小于20°。

8、在一些实施例中，所述承载表面包括可承载工件底部的底部承载面，所述底部承载面设于所述倾斜坡面远离所述第一端的一侧。

9、在一些实施例中，所述载物基座还包括用于阻挡工件沿远离所述倾斜坡面的方向滑移的阻挡部。

10、在一些实施例中，所述阻挡部包括凸缘，所述凸缘设于所述底部承载面上，且所述凸缘的至少部分区域高于所述底部承载面。

11、在一些实施例中，所述凸缘朝向所述倾斜坡面的一侧设有向上倾斜设置的倾斜顶抵面。

12、在一些实施例中，所述暴露区域在水平方向上的宽度为：

13、

14、其中，w为所述暴露区域在水平方向上的宽度，n为所述放置空间中的工件数量，n≥1；ai为第i个工件的厚度；bi为第i个工件的受光面或背光面的镀膜区域的宽度。

15、在一些实施例中，所述遮挡件活动设于所述承载表面上。

16、在一些实施例中，所述暴露区域在所述承载表面上的正投影至少部分落于所述倾斜坡面上。

17、在一些实施例中，所述遮挡件为遮挡片，所述遮挡片沿所述倾斜坡面的平行方向设置。

18、其次，本实用新型还提供一种镀膜设备，包括上述的镀膜装载装置。

19、本实用新型的有益效果在于：

20、本实用新型中，通过在载物基座上设置呈向上倾斜设置的倾斜坡面，电池片以第二表面背向倾斜坡面的状态放置于承载表面后，电池片的至少部分区域置于倾斜坡面上，电池片在倾斜坡面的作用下随倾斜坡面的倾斜方向倾斜，配合遮挡件遮挡电池片的非镀膜区域，位于承载表面与遮挡件之间(即放置空间)的电池片能够仅通过暴露区域露出需要镀膜的相连侧面及第二表面的边缘区域(也即电池片当前需要镀膜的镀膜区域)，且相连侧面及第二表面的边缘区域呈向上倾斜状态，电池片在此状态下，能够同时完成相连侧面及第二表面的边缘区域的镀膜作业，且相连侧面更容易形成均匀膜层。另一方面，本实用新型的镀膜装载装置能够在承载表面与遮挡件之间同时堆叠多片电池片，同时完成多片电池片上相连侧面及第二表面的边缘区域的镀膜作业，有效提高靶材利用率及镀膜效率。

1.一种镀膜装载装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述倾斜坡面与所述第二端所在水平面之间的夹角小于20°。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述承载表面包括可承载工件底部的底部承载面，所述底部承载面设于所述倾斜坡面远离所述第一端的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述载物基座还包括用于阻挡工件沿远离所述倾斜坡面的方向滑移的阻挡部。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述阻挡部包括凸缘，所述凸缘设于所述底部承载面上，且所述凸缘的至少部分区域高于所述底部承载面。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述凸缘朝向所述倾斜坡面的一侧设有向上倾斜设置的倾斜顶抵面。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述暴露区域在水平方向上的宽度为：

8.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述遮挡件活动设于所述载物基座上方。

9.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述暴露区域在所述承载表面上的正投影至少部分落于所述倾斜坡面上。

10.根据权利要求1所述的一种镀膜装载装置，其特征在于，所述遮挡件为遮挡片，所述遮挡片沿所述倾斜坡面的平行方向设置。

11.一种镀膜设备，其特征在于，包括根据权利要求1至10任意一项所述的镀膜装载装置。