一种靶材绑定用工装的制作方法

本技术涉及靶材绑定，尤其涉及一种靶材绑定用工装。

背景技术：

1、靶材绑定是靶材制备中的核心环节，指通过物理或化学方法将溅射靶材（如铝钪合金）与背板或背管（如铜、铝合金）牢固结合，确保溅射过程中靶材能高效传导热量与电流，防止脱靶或开裂。

2、传统的绑定工艺中，靶材与背板的定位精度不足，易导致两者偏心或错位，影响绑定质量；此外，焊接过程中熔融焊料（如铟）易向外溢出，不仅造成焊料浪费，还可能污染设备、影响绑定界面均匀性，甚至导致局部过热、脱靶或开裂等缺陷。因此，亟须一种能够提高定位精度、有效导流焊料的工装装置。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种靶材绑定用工装，以解决现有技术中靶材与背板绑定过程中定位精度低、焊料易溢出等问题。

2、本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种靶材绑定用工装，包括背板及设置在所述背板上的环状定位结构，所述环状定位结构围绕靶材设置，包括至少两个分段式定位弧板，各定位弧板的内侧壁设有导流槽，相邻定位弧板之间形成排出口，用于收集并导流从靶材与背板之间溢出的焊料；所述环状定位结构的内侧设有限位结构，所述限位结构包括限位弧板和焊接在所述定位弧板外侧的限位块，所述限位块用于将限位弧板固定在定位弧板上，所述限位结构用于限制靶材在水平方向上的移动。

3、进一步地，所述导流槽的横截面为u形、v形或梯形中的一种，其槽底具有坡度，且坡度朝向所述排出口的方向倾斜设置。

4、进一步地，所述排出口位于所述导流槽的最低点。

5、进一步地，所述限位弧板的高度小于靶材的厚度，用于从靶材的外周进行限位。

6、进一步地，所述定位弧板和所述限位块上分别开设有安装孔，所述安装孔呈环形阵列分布。

7、进一步地，所述背板上设有与所述安装孔对应的螺纹孔，用于通过固定件将所述环状定位结构及所述限位结构固定于背板上。

8、进一步地，所述背板、定位弧板、限位弧板及限位块均采用不锈钢、表面镀镍或表面镀铬的钢材。

9、根据上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

10、本实用新型通过环状定位结构和限位结构的配合，能够精确限制靶材在水平方向的位移，确保靶材与背板之间的高同轴度；分段式定位弧板内侧的导流槽与排出口相结合，可有效收集并导流溢出的焊料，避免焊料堆积影响定位精度；该工装从结构上保障了绑定过程的稳定性，有助于焊料均匀分布，从而提高焊合率，减少脱靶、开裂等缺陷。同时，背板、定位弧板及限位结构采用耐高温、导热性良好且与焊料不浸润的材料制成，提升了工装在高温绑定环境中的耐用性与适用性。整体结构简单可靠，装拆方便，可重复使用，实用性强，经济性好。

1.一种靶材绑定用工装，其特征在于：包括背板（1）及设置在所述背板（1）上的环状定位结构，所述环状定位结构围绕待绑定靶材（7）设置，包括至少两个分段式定位弧板（2），各定位弧板（2）的内侧壁设有导流槽（21），相邻定位弧板（2）之间形成排出口（3），用于收集并导流从靶材（7）与背板（1）之间溢出的焊料；所述环状定位结构的内侧设有限位结构，所述限位结构包括限位弧板（4）和焊接在所述定位弧板（2）外侧的限位块（5），所述限位块（5）用于将限位弧板（4）固定在定位弧板（2）上，所述限位结构用于限制靶材（7）在水平方向上的移动。

2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述导流槽（21）的横截面为u形、v形或梯形中的一种，其槽底具有坡度，且坡度朝向所述排出口（3）的方向倾斜设置。

3.根据权利要求2所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述排出口（3）位于所述导流槽（21）的最低点。

4.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述限位弧板（4）的高度小于靶材（7）的厚度，用于从靶材（7）的外周进行限位。

5.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述定位弧板（2）和所述限位块（5）上分别开设有安装孔（22），所述安装孔（22）呈环形阵列分布。

6.根据权利要求5所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述背板（1）上设有与所述安装孔（22）对应的螺纹孔（11），用于通过固定件（6）将所述环状定位结构及所述限位结构固定于背板（1）上。

7.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用工装，其特征在于，所述背板（1）、定位弧板（2）、限位弧板（4）及限位块（5）均采用不锈钢、表面镀镍或表面镀铬的钢材。