真空吸附装置的制作方法

本技术涉及真空吸附，具体涉及一种真空吸附装置。

背景技术：

1、研磨垫是cmp（chemical mechanical polishing，化学机械抛光）设备中需要使用到的一种器具，对研磨垫进行制造加工需要使用真空吸附装置，通过真空吸附装置对研磨垫进行吸附固定，相关技术中的真空吸附装置，吸附面积为固定值，无法根据待加工件的尺寸进行调节。

2、在对研磨垫做切割加工时，需将研磨垫切割到适宜的大小，通常利用真空吸附装置吸附研磨垫，再采用加工设备切割研磨垫，加工设备可以为具有真空吸附装置的cnc（computer numerical control machine tools，数字控制机床）设备，由于真空吸附装置的吸附面积固定，若是使用具有小吸附面积的真空吸附装置，则不满足对大尺寸的研磨垫的加工需求，若是使用具有大吸附面积的真空吸附装置，则在加工小尺寸研磨垫时，未被研磨垫覆盖的吸附区域较大，容易导致切割过程产生的杂质被吸入到真空吸附装置内，导致在实际使用过程中需要更换具有不同吸附面积的真空吸附装置，而真空吸附装置的尺寸较大且重量较重，不便于更换，对于研磨垫的加工工作造成困扰。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空吸附装置，以解决现有技术中的真空吸附装置无法适应不同尺寸的待加工件的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、一种真空吸附装置，包括：吸盘，设有多个负压孔组，多个所述负压孔组沿所述吸盘的周向间隔设置，所述负压孔组包括侧孔、第一吸附孔和扩展孔，所述侧孔贯穿所述吸盘的外周面、且沿所述吸盘的径向延伸，所述第一吸附孔贯穿所述吸盘的上表面以及下表面，所述扩展孔至少贯穿所述吸盘的上表面，在同一负压孔组中，所述第一吸附孔和所述扩展孔均与所述侧孔连通，所述扩展孔相对于所述第一吸附孔远离所述吸盘的中心；底座，设有负压腔，所述负压腔与所述第一吸附孔连通；封堵件，可移动地插设于所述侧孔中，以控制所述第一吸附孔和所述扩展孔之间的通断。

4、根据上述技术手段，在吸附小尺寸的待加工件时，可以增加封堵件插入侧孔内的深度，以使第一吸附孔和扩展孔之间断开连通，真空吸附装置通过第一吸附孔吸附待加工件，避免负压气体浪费，减少能耗，且防止加工产生的杂质通过扩展孔进入到真空吸附装置内，保证清洁性，延长使用寿命；在吸附大尺寸的待加工件时，可以减小封堵件插入侧孔内的深度，以使第一吸附孔和扩展孔之间通过侧孔连通，真空吸附装置通过第一吸附孔以及扩展孔共同吸附待加工件，增加真空吸附装置的吸附面积，满足大尺寸的待加工件的加工需求，通过调节封堵件在侧孔内的插入深度，能够改变吸盘的吸附面积，不仅能够适应不同尺寸的待加工件，而且能够降低进入杂质的概率。

5、进一步，所述吸盘的上表面设有避让槽，所述避让槽在所述吸盘的外周面上延伸，所述避让槽沿所述吸盘的周向延伸，所述侧孔在所述吸盘的轴向上位于所述避让槽和所述底座之间。

6、根据上述技术手段，在处理待加工件的边缘时，增加了作业空间，避免加工设备与吸盘之间碰撞、摩擦，防止吸盘被损坏，延长真空吸附装置的使用寿命。

7、进一步，所述负压孔组还包括第二吸附孔，在同一负压孔组内，所述第二吸附孔和所述第一吸附孔沿所述吸盘的径向间隔设置，所述第二吸附孔相对于第一吸附孔靠近所述吸盘的中心。

8、根据上述技术手段，能够增加真空吸附装置的吸附面积，提高真空吸附装置的吸附效果。

9、进一步，每个所述负压孔组包括多个所述扩展孔，多个所述扩展孔沿所述吸盘的径向间隔设置。

10、根据上述技术手段，增大吸盘可调节的吸附面积，有利于提高吸盘的吸附效果。

11、进一步，所述底座设有负压口，所述负压口与所述负压腔连通，所述负压口沿所述底座的轴向延伸；所述底座在所述负压腔内设有多个凸块组，多个所述凸块组沿所述负压口的周向间隔设置，相邻两个所述凸块组之间形成第一径向风道，每个所述凸块组包括多个第一凸块，多个所述第一凸块沿所述底座的径向间隔设置，相邻两个所述第一凸块之间形成周向风道；所述周向风道与所述第一吸附孔连通，和/或，所述第一径向风道与所述第一吸附孔连通。

12、根据上述技术手段，第一凸块限定出周向风道和第一径向风道，周向风道和第一径向风道能够引导负压气体由负压口向底座的外周面流动，避免负压气体集中于负压口所在区域，保证各个吸附孔都能够具有充足的负压，实现对待加工件整体吸附。由于多个周向风道通过第一径向风道连通，第一径向风道沿底座的径向延伸，即第一径向风道沿直线延伸，能够减少负压气体在负压腔内流动产生的损耗。

13、进一步，所述第一凸块设有第一连接孔，所述吸盘设有第二连接孔；所述真空吸附装置还包括连接件，所述连接件从下至上依次穿设于所述第一连接孔和第二连接孔，所述连接件与所述第一凸块固定连接。

14、根据上述技术手段，不仅能够实现吸盘和底座之间的固定，还能够增加连接件和底座之间的接触面积，且能够提高第一连接孔的强度，进而提高底座和吸盘之间的安装稳定性。

15、进一步，所述底座在所述负压腔内设有多个第二凸块，多个所述第二凸块沿所述负压口的周向间隔设置，相邻两个所述第二凸块之间形成第二径向风道，所述第二凸块在所述底座的径向上位于所述凸块组和所述负压口之间，所述第二凸块的数量大于所述凸块组的数量。

16、根据上述技术手段，第二径向风道能够引导负压气体从负压口流向第一径向风道，避免负压气体集中在负压口所在区域，且第一径向风道内的负压气体分布更为均匀，有利于对待加工件进行整体吸附。

17、进一步，所述底座在所述负压腔内设有多个第三凸块，多个所述第三凸块沿所述负压口的周向间隔设置，相邻两个所述第三凸块之间形成第三径向风道，所述第三凸块在所述底座的径向上位于所述第二凸块和所述负压口之间，所述第三凸块的数量小于所述凸块组的数量。

18、根据上述技术手段，第三径向风道能够引导负压气体从负压口流向第二径向风道，避免负压气体集中在负压口所在区域，由于第三凸块过于靠近负压口，因此第三凸块可布置的空间较小，通过减少第三凸块的数量，有利于第三凸块便于加工制造，提高生产效率。

19、进一步，所述底座设有多个设备固定孔，多个所述设备固定孔沿所述负压口的周向间隔设置，所述设备固定孔在所述底座的径向上位于所述第二凸块和所述第三凸块之间。

20、根据上述技术手段，将设备固定孔靠近负压口，有利于保证负压口和负压产生器之间的固定效果，降低负压气体泄漏的概率。

21、进一步，所述真空吸附装置还包括：密封圈，设于所述吸盘和所述底座之间，所述密封圈环绕所述负压腔设置。

22、根据上述技术手段，能够填充吸盘和底座之间的间隙，避免负压腔与外界连通，导致负压气体泄漏，保证吸盘上吸附孔的吸附效果。

23、进一步，所述扩展孔位于所述侧孔背向所述底座的一侧。

24、根据上述技术手段，扩展孔的深度较小，一方面能够降低扩展孔的加工难度，另一方面负压气体在扩展孔内能够更快速地到达吸盘的上表面，有利于提高扩展孔对待加工件的吸附效果。