一种银蚀刻液的回收装置及回收系统的制作方法

本技术属于银蚀刻液回收，涉及一种银蚀刻液的回收装置及回收系统。

背景技术：

1、在显示面板领域，酸性银蚀刻液是一种含有磷酸、硝酸、醋酸的高浓度酸蚀刻液，用于ito工艺过程中银的蚀刻，刻蚀液循环使用过程中，其中银离子含量不断增大，会有一部分银析出影响产品的良率，需要将其中银颗粒去除，将蚀刻液回收使用，能够节约资源，减少处理成本和污染排放。

2、针对蚀刻液的回收利用的现状，现有技术cn120205052a公开了一种从废蚀刻液中回收电子级磷酸的生产，装置包括原料储罐、多级过滤系统、磷酸蒸发釜、纯化系统、混酸储罐、中和反应及结晶系统。废蚀刻液经过多级过滤系统除去大颗粒杂质，进入蒸发釜，利用混酸沸点的不同，磷酸与挥发性的硝酸和醋酸分离，经过纯化获得电子级磷酸。回收过程中需要蒸发、纯化分离三种混酸溶液，工艺复杂，能耗高。

3、因此，亟需设计一种银蚀刻液的回收装置，克服现有技术缺陷，以满足实际应用需求。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种银蚀刻液的回收装置及回收系统。在本实用新型中，通过对回收装置的结构设计，能够用于回用强酸刻蚀液，利用膜电容去离子技术选择性吸附银，简单高效，在电场力的作用下能够将银离子吸附到电极表面，实现蚀刻液回收循环，解决现有技术中成本高、工艺复杂，回用率低的问题。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、第一方面，本实用新型提供了一种银蚀刻液的回收装置，所述回收装置包括依次连接的储罐、预处理单元和膜电容去离子单元，所述储罐的入口用于接入银蚀刻液；所述膜电容去离子单元包括腔室，所述腔室内相对设置有阳极板和阴极板，所述阳极板的表面设置有阴离子交换膜，所述阴极板的表面设置有银离子选择性吸附膜，且所述阳极板和所述阴极板外接有电源。

4、在本实用新型中，通过对回收装置的结构设计，能够用于回用强酸刻蚀液，利用膜电容去离子技术选择性吸附银，简单高效，在电场力的作用下能够将银离子吸附到电极表面，实现蚀刻液回收循环，解决现有技术中成本高、工艺复杂，回用率低的问题。

5、优选地，所述预处理单元和所述膜电容去离子单元之间设置有中间罐。

6、优选地，所述预处理单元的出水口管路连接至所述中间罐的入水口，所述中间罐的出水口管路连接至所述腔室的入水口。

7、优选地，所述中间罐和所述腔室之间的管路上设置有泵件，所述泵件用于将中间罐的液体泵入至腔室内。

8、优选地，所述腔室的入水流量为10ml/min~15ml/min，例如可以是10ml/min、11ml/min、12ml/min、13ml/min、14ml/min、15ml/min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

9、优选地，所述阳极板和所述阴极板平行设置。

10、优选地，所述阳极板和所述阴极板之间的最大线性距离为1.5mm~2mm，例如可以是1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm、2mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

11、优选地，所述银离子选择性吸附膜为全氟磺酸膜或聚苯并咪唑膜。

12、优选地，所述阴离子交换膜为全氟磺酸膜或聚苯并咪唑膜。

13、优选地，所述预处理单元为陶瓷膜过滤器。

14、第二方面，本实用新型提供了一种银蚀刻液的回收系统，所述回收系统包括第一方面所述的银蚀刻液的回收装置。

15、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

17、在本实用新型中，通过对回收装置的结构设计，能够用于回用强酸刻蚀液，利用膜电容去离子技术选择性吸附银，简单高效，在电场力的作用下能够将银离子吸附到电极表面，实现蚀刻液回收循环，解决现有技术中成本高、工艺复杂，回用率低的问题。

1.一种银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述回收装置包括依次连接的储罐、预处理单元和膜电容去离子单元，所述储罐的入口用于接入银蚀刻液；

2.根据权利要求1所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述预处理单元和所述膜电容去离子单元之间设置有中间罐。

3.根据权利要求2所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述预处理单元的出水口管路连接至所述中间罐的入水口，所述中间罐的出水口管路连接至所述腔室的入水口。

4.根据权利要求3所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述中间罐和所述腔室之间的管路上设置有泵件，所述泵件用于将中间罐的液体泵入至腔室内。

5.根据权利要求1所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述腔室的入水流量为10ml/min~15ml/min。

6.根据权利要求1所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述阳极板和所述阴极板平行设置。

7.根据权利要求6所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述阳极板和所述阴极板之间的最大线性距离为1.5mm~2mm。

8.根据权利要求1所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述银离子选择性吸附膜为全氟磺酸膜或聚苯并咪唑膜；

9.根据权利要求1所述的银蚀刻液的回收装置，其特征在于，所述预处理单元为陶瓷膜过滤器。

10.一种银蚀刻液的回收系统，其特征在于，所述回收系统包括权利要求1-9任一项所述的银蚀刻液的回收装置。