基板夹持装置及包含其的基板处理装置的制作方法

本申请涉及半导体设备领域，特别涉及一种基板夹持装置及包含其的基板处理装置。

背景技术：

1、集成电路制造是将设计版图制成光罩，将光罩上的电路图形信息转移至硅片上，在硅片上形成电路从而构建完整的电路芯片的过程。集成电路制造包括光刻、刻蚀、沉积、离子注入、化学机械抛光、清洗等环节。

2、其中，在大多数工艺环节中，例如在刻蚀、清洗等多个环节中，需要将基板放置在基板夹持装置上，基板夹持装置夹持基板并带动基板旋转，在基板旋转过程中，将化学液分配至基板表面以对基板进行刻蚀、清洗等作业。在前述作业过程中，基板夹持装置夹持着基板进行高速旋转，基板的夹持状态有可能出现异常，例如基板在被夹持过程中出现碎片，或者基板未被基板夹持装置夹持住等情况。由于基板在基板处理腔室内进行作业，无法及时获知基板的夹持状态，若基板已经碎片或者已经被甩出，但未能及时发现以便停机维护，容易产生产品安全事故。

技术实现思路

1、本申请要解决的技术问题是为了克服在基板处理过程中无法及时获知基板的夹持状态，容易引发产品安全事故的缺陷，提供一种基板夹持装置及包含其的基板处理装置。

2、本申请是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

3、本申请提供了一种基板夹持装置，包括环形齿轮、基座和夹持件，所述环形齿轮与所述基座可转动地同轴设置，所述夹持件沿所述基座的周向间隔设置于所述基座上，所述环形齿轮与所述夹持件传动连接以使得所述夹持件夹持或释放基板；

4、所述环形齿轮被配置成：响应于所述基板的夹持状态正常，所述环形齿轮和所述基座处于第一相对位置；响应于所述基板的夹持状态异常，所述环形齿轮和所述基座处于第二相对位置；

5、所述基板夹持装置还包括反射式传感器和反射片，所述环形齿轮和所述基座的其中一个上设置有所述反射片，另一个上开设有通孔，所述通孔被配置成：响应于所述环形齿轮和所述基座处于所述第一相对位置，所述通孔与所述反射片相对设置，响应于所述环形齿轮和所述基座处于所述第二相对位置，所述通孔与所述反射片完全错位；所述反射式传感器被配置成：响应于所述环形齿轮和所述基板处于所述第一相对位置，所述反射式传感器发射出的信号能够穿过所述通孔并到达所述反射片，并接收由所述反射片反射回的信号。

6、本申请还提供了一种基板夹持装置，包括环形齿轮、基座和夹持件，所述环形齿轮与所述基座可转动地同轴设置，所述夹持件沿所述基座的周向间隔设置于所述基座上，所述环形齿轮与所述夹持件传动连接以使得所述夹持件夹持或释放基板；

7、所述环形齿轮被配置成：响应于所述基板的夹持状态正常，所述环形齿轮和所述基座处于第一相对位置；响应于所述基板的夹持状态异常，所述环形齿轮和所述基座处于第二相对位置；

8、所述基板夹持装置还包括反射式传感器和反射片，所述环形齿轮和所述基座的其中一个上设置有所述反射片，另一个上开设有通孔，所述通孔被配置成：响应于所述环形齿轮和所述基座处于所述第一相对位置，所述通孔与所述反射片相对设置，响应于所述环形齿轮和所述基座处于所述第二相对位置，所述通孔与所述反射片部分错位；所述反射式传感器被配置成发射出的信号能够穿过所述通孔并到达所述反射片，并接收由所述反射片反射回的信号；所述反射式传感器被配置成：响应于所述环形齿轮和所述基板处于所述第二相对位置，所述反射式传感器接收到的信号的脉冲宽度为第一预设脉冲宽度；

9、所述基板夹持装置还包括判断单元，所述判断单元被配置成比较所述反射式传感器接收到的信号的脉冲宽度与第一预设脉冲宽度，若所述脉冲宽度等于所述第一预设脉冲宽度，则判定所述基板的夹持状态异常。

10、本申请还提供了一种基板处理装置，包括如上所述的基板夹持装置。

11、本申请的积极进步效果在于：

12、本申请中的基板夹持装置通过反射式传感器接收到的信号来判断环形齿轮和基座之间的相对位置，进而实时监测基板的夹持状态，以便工作人员能够及时获知基板的夹持情况，能够及时发现基板的夹持状态异常，以便及时停机维护，避免发生产品安全事故，提高了基板处理装置的安全性。

1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括环形齿轮、基座和夹持件，所述环形齿轮与所述基座可转动地同轴设置，所述夹持件沿所述基座的周向间隔设置于所述基座上，所述环形齿轮与所述夹持件传动连接以使得所述夹持件夹持或释放基板；

2.如权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，所述基板夹持装置还包括第一报警单元，所述第一报警单元被配置成：响应于所述反射式传感器接收到的信号在一个脉冲周期内的脉冲宽度为0，所述第一报警单元发出报警信号。

3.一种基板夹持装置，其特征在于，包括环形齿轮、基座和夹持件，所述环形齿轮与所述基座可转动地同轴设置，所述夹持件沿所述基座的周向间隔设置于所述基座上，所述环形齿轮与所述夹持件传动连接以使得所述夹持件夹持或释放基板；

4.如权利要求3所述的基板夹持装置，其特征在于，所述基板夹持装置还包括第二报警单元，所述第二报警单元被配置成：响应于所述判断单元判定所述基板的夹持状态异常，所述第二报警单元发出报警信号。

5.如权利要求1或3所述的基板夹持装置，其特征在于，所述基板夹持装置还包括预警单元，所述预警单元用于警示更换所述夹持件，所述预警单元被配置成比较所述反射式传感器接收到的信号的脉冲宽度与第二预设脉冲宽度，若所述脉冲宽度小于所述第二预设脉冲宽度，则发出预警信号。

6.如权利要求1或3所述的基板夹持装置，其特征在于，所述基座内部设有容置腔，所述环形齿轮置于所述容置腔内，所述反射片安装在所述环形齿轮上，所述通孔开设在所述基座上。

7.如权利要求6所述的基板夹持装置，其特征在于，所述反射片安装于所述环形齿轮的下表面，所述通孔开设于所述基座的底壁上，所述反射式传感器位于所述基座的下方。

8.如权利要求1或3所述的基板夹持装置，其特征在于，所述反射式传感器为光学反射式传感器，所述基板夹持装置包括透明板，所述透明板盖合于所述通孔上。

9.如权利要求1或3所述的基板夹持装置，其特征在于，所述基板夹持装置还包括喷嘴，所述喷嘴朝向所述反射式传感器设置并用于喷出干燥气体。

10.一种基板处理装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的基板夹持装置。