基板处理装置的生产率的测定方法、计算机程序产品以及基板处理装置与流程

本公开涉及一种基板处理装置的生产率的测定方法、程序以及基板处理装置。

背景技术：

1、专利文献1所公开的基板处理系统具备承载件站，该承载件站包括：承载件搬入搬出部，收纳有多张基板的承载件被搬入和搬出该承载件搬入搬出部；以及交接单元，其用于对载置于该承载件搬入搬出部的承载件进行基板的交接。另外，上述基板处理系统具备与承载件站相邻地设置的处理站，该处理站包括向基板涂布涂布液的处理部以及用于在该处理部与交接单元之间进行基板的交接的主1搬0·送单元。并且，上述基板处理系统具备与承载件站相邻地设置的检查站，该检查站具备用于检查处理后的基板的检查部。并且，上述基板处理系统还包括求出承载件站、处理站以及检查站各自的生产率的生产率控制部。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2003-178956号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本公开所涉及的技术简单地进行基板处理装置的生产率的实测。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一个方式是一种测定方法，用于测定基板处理装置的生产率，所述基板处理装置具备包括多个处理模块的多个模块以及向所述多个模块搬送基板的搬送机器人，所述测定方法包括以下工序：根据用户的操作将所述基板处理装置的模式设定为进行所述生产率的测定的测定模式；以及根据用户的操作从预先存储于存储部的搬送制程的候选中选择在所述测定模式下使用的测定用搬送制程，其中，搬送制程针对每个搬送步骤以作为搬送目的地的所述模块为单位来指定所述基板的搬送路径，所述测定方法还包括以下工序：按照在进行所述选择的工序中选择出的所述搬送制程在所述基板处理装置内搬送所述基板；以及基于进行所述搬送的工序中的搬送结果来计算所述生产率。

5、发明的效果

6、根据本公开，能够简单地进行基板处理装置的生产率的实测。

1.一种测定方法，用于测定基板处理装置的生产率，所述基板处理装置具备包括多个处理模块的多个模块以及向所述多个模块搬送基板的搬送机器人，所述测定方法包括以下工序：

2.根据权利要求1所述的测定方法，其中，

3.根据权利要求2所述的测定方法，其中，

4.根据权利要求2或3所述的测定方法，其中，

5.根据权利要求2或3所述的测定方法，其中，

6.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

7.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

8.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

9.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

10.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

11.根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法，其中，

12.一种计算机程序产品，包括程序，该程序由控制基板处理装置的控制部的计算机运行，以使所述基板处理装置执行根据权利要求1~3中的任一项所述的测定方法。

13.一种基板处理装置，具备：

14.根据权利要求13所述的基板处理装置，其中，

15.根据权利要求14所述的基板处理装置，其中，

16.根据权利要求14或15所述的基板处理装置，其中，

17.根据权利要求14或15所述的基板处理装置，还具备：

18.根据权利要求13~15中的任一项所述的基板处理装置，其中，

19.根据权利要求13~15中任一项所述的基板处理装置，其中，

20.根据权利要求13~15中的任一项所述的基板处理装置，其中，