一种红外窗片加工用溅射镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，包括设备腔体(100)，所述设备腔体(100)连接有抽真空装置(200)，所述设备腔体(100)内设有射频电极(300)，所述射频电极(300)电性连接射频电源(400)，射频电极(300)的周侧围设有靶材(500)，还包括用于产生磁场的磁原件(600)以及对窗片进行吸附的上料吸附组件(700)，还包括控制各个机构动作的控制器(800)。2.根据权利要求1所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述射频电源(400)固定在设备腔体(100)的外侧，其接地端与上料夹持组件连接，其阳极电性连接射频电极(300)，所述设备腔体(100)接地连接。3.根据权利要求1所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述射频电极(300)呈柱体状竖直安装在设备腔体(100)内部，所述磁原件(600)产生的磁感线平行或者部分平行于所述射频电极(300)的轴线。4.根据权利要求1所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述抽真空装置(200)安装在设备腔体(100)的上部外侧，其抽气口与设备腔体(100)连通。5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述上料吸附组件(700)包括转动连接在设备腔体(100)底部的转盘(710)，还包括设置在设备腔体(100)底部驱动转盘(710)转动的驱动件(720)，所述转盘(710)上设有若干吸附件(730)。6.根据权利要求5所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述吸附件(730)包括设置在转盘(710)上的安装腔体(731)，所述安装腔体(731)连通有若干竖直中空的吸附板(732)，所述吸附板(732)上设有若干吸盘(733)，所述安装腔体(731)内设有负压装置(734)。7.根据权利要求6所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述安装腔体(731)通过翻转机构(900)转动连接在转盘(710)上。8.根据权利要求7所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述翻转机构(900)包括设置在转盘(710)底部边侧的转动电机(910)，所述转动电机(910)的输出轴上设有安装盘(920)，所述安装腔体(731)安装在安装盘(920)上。9.根据权利要求6-8任意一项所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，还包括上料机械手(1000)，所述设备腔体(100)上转动连接有门体(110)，所述上料机械手(1000)安装在设备腔体(100)的门体(110)处。10.根据权利要求9所述的一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，其特征在于，所述门体(110)与设备腔体(100)之间设有感应开关(120)，所述感应开关(120)电性连接控制器(800)。

技术总结
本申请涉及溅射镀膜设备的技术领域，提出了一种红外窗片加工用溅射镀膜设备，包括设备腔体，所述设备腔体连接有抽真空装置，所述设备腔体内设有射频电极，所述射频电极电性连接射频电源，射频电极的周侧围设有靶材，还包括用于产生磁场的磁原件以及对窗片进行吸附的上料吸附组件，还包括控制各个机构动作的控制器。本申请的有益效果为：抽真空装置对设备壳体内部进行抽气，达到溅射镀膜的气压条件，射频电源向射频电极供电，使靶材表面的粒子溅射出来并沉积在窗片表面以形成涂层，本申请中通过设置上料吸附组件可以实现自动对窗片进行上料，而且可以一次镀膜多个窗片，提高了镀膜效率。效率。效率。


技术研发人员：李剑 张秀明 孟凡华 闫超 王丽娟 荆学顺
受保护的技术使用者：唐山斯腾光电科技有限公司
技术研发日：2022.12.05
技术公布日：2023/3/10