一种高焊合率的靶材捆绑结构的制作方法

1.本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种高焊合率的靶材捆绑结构。


背景技术：

2.众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。如ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发，预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜，这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。
3.现有的靶材捆绑结构稳定性较差，且与基板之间容易出现间隙，导致空焊，且在长期使用后，因受力影响焊接处容易出现脱焊裂痕的显现发生。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种高焊合率的靶材捆绑结构，以解决上述背景技术中提出现有的靶材捆绑结构稳定性较差，且与基板之间容易出现间隙，导致空焊，且在长期使用后，因受力影响焊接处容易出现脱焊裂痕的显现发生的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高焊合率的靶材捆绑结构，包括金属基板，所述金属基板的上端固定安装有金属靶材，所述金属靶材的上端固定安装有上固定环，所述上固定环的下端固定安装有固定杆，所述固定杆的下端固定安装有下固定环，所述下固定环的上端固定设置有限位凸块，所述下固定环上端的中部固定设置有固定对接孔，所述金属靶材的下端位于固定杆的外端固定安装有固定套环，所述固定套环的外端固定设置有连接孔，所述固定套环的上端位于金属靶材的下端固定安装有上焊接套环，所述上焊接套环的外端固定安装有外金属套环，所述金属基板的上端固定设置有底孔，所述底孔的内端固定设置有活动槽，所述活动槽的内部活动安装有连接柱，所述连接柱的左端固定安装有限位环，所述限位环的左端固定安装有收缩弹簧，所述金属基板的左端固定设置有下固定孔，所述下固定孔内部的中部固定设置有穿孔，所述下固定孔的内部固定设置有限位槽，所述穿孔的内端固定设置有收缩槽，所述收缩槽的内部活动安装有活动杆，所述活动杆的左端固定安装有限位块，所述限位块的左端固定安装有支撑弹簧，所述活动杆的右端固定安装有夹持板。
6.优选的，所述固定杆的下端穿过金属靶材并延伸至金属靶材的下方，所述限位凸块在下固定环的上端均匀分布，所述固定对接孔与固定杆焊接连接，当连接柱与连接孔对接后，收缩弹簧回弹将连接柱弹入连接孔的内部。
7.优选的，所述连接孔在固定套环的外端均匀分布，所述上焊接套环与金属基板焊接连接，通过设置连接孔可将固定套环固定在底孔的内部，使其在焊接时更加的稳定。
8.优选的，所述外金属套环与上焊接套环焊接连接，所述外金属套环与金属基板焊接连接，所述外金属套环位于金属靶材下端的外端，外金属套环位于金属靶材下端的外端，外金属套环为喇叭状结构，可将金属靶材周围的拉伸力均匀的扩散开。
9.优选的，所述底孔与固定套环和上焊接套环相适配，所述连接柱的右端延伸至活动槽的外侧，所述连接柱与连接孔相适配，固定套环和上焊接套环为嵌入在底孔的内部，上端与金属基板为持平状态，可使得焊接更加的便捷。
10.优选的，所述下固定孔与下固定环相适配，所述穿孔的上端贯穿至底孔的内部，所述穿孔与固定杆相适配，下固定环嵌入在下固定孔的内部，使其不会在金属基板的下端形成凸起。
11.优选的，所述限位槽在下固定孔的内部均匀分布，所述限位槽与限位凸块相适配，将限位凸块插入限位槽的内部，可使得在焊接过程中下固定环不会出现位移的现象，对缓解造成影响，进一步的提高了焊接结合率。
12.优选的，所述收缩槽在穿孔的内端均匀对称分布，所述活动杆的右端延伸至穿孔的内部，所述夹持板呈半圆形结构，所述夹持板与固定杆相适配，当固定杆插入穿孔的内部时，固定杆对夹持板进行挤压，夹持板对收缩槽内部的支撑弹簧进行挤压压缩，同时支撑弹簧利用回弹力将夹持板与固定杆进行贴合。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、该高焊合率的靶材捆绑结构，利用固定套环与连接孔可将靶材呈直角固定在金属基板的上端，可使得上焊接套环与金属基板贴合更加的紧密，使其在焊接时更加的便捷，且降低空焊率，有效的提高了上焊接套环与金属基板焊接结合率，使其稳定性更高；
15.2、该高焊合率的靶材捆绑结构，利用下固定环可将金属靶材进行上下同时固定，使其工作时上下受力更加的均匀，避免了长期工作后焊接出出现裂纹，有效的提高了工作的稳定性，且使得外金属套环与金属基板之间贴合度更高，进一步的提高了焊接结合率；
16.3、该高焊合率的靶材捆绑结构，利用夹持板对固定杆进行夹持，可使得在对金属靶材捆绑固定时更加的便捷，且在对金属靶材进行焊接时，可使得金属靶材的稳定性更高，进一步的提高了焊接的便捷性。
附图说明
17.图1为本实用新型立体结构示意图；
18.图2为本实用新型靶材立体结构示意图；
19.图3为本实用新型下固定环立体结构示意图；
20.图4为本实用新型金属基板剖面结构示意图；
21.图5为本实用新型收缩槽剖面结构示意图；
22.图6为本实用新型底孔立体结构示意图；
23.图7为本实用新型下固定孔立体结构示意图。
24.图中：1、金属基板；2、靶材；3、上固定环；4、固定杆；5、下固定环；6、限位凸块；7、固定对接孔；8、固定套环；9、连接孔；10、上焊接套环；11、外金属套环；12、底孔；13、活动槽；14、连接柱；15、限位环；16、收缩弹簧；17、下固定孔；18、穿孔；19、限位槽；20、收缩槽；21、活动杆；22、限位块；23、支撑弹簧；24、夹持板。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种高焊合率的靶材捆绑结构，包括金属基板1，金属基板1的上端固定安装有金属靶材2，金属靶材2的上端固定安装有上固定环3，上固定环3的下端固定安装有固定杆4，固定杆4的下端固定安装有下固定环5，下固定环5的上端固定设置有限位凸块6，下固定环5上端的中部固定设置有固定对接孔7，金属靶材2的下端位于固定杆4的外端固定安装有固定套环8，固定套环8的外端固定设置有连接孔9，固定套环8的上端位于金属靶材2的下端固定安装有上焊接套环10，上焊接套环10的外端固定安装有外金属套环11，金属基板1的上端固定设置有底孔12，底孔12的内端固定设置有活动槽13，活动槽13的内部活动安装有连接柱14，连接柱14的左端固定安装有限位环15，限位环15的左端固定安装有收缩弹簧16，金属基板1的左端固定设置有下固定孔17，下固定孔17内部的中部固定设置有穿孔18，下固定孔17的内部固定设置有限位槽19，穿孔18的内端固定设置有收缩槽20，收缩槽20的内部活动安装有活动杆21，活动杆21的左端固定安装有限位块22，限位块22的左端固定安装有支撑弹簧23，活动杆21的右端固定安装有夹持板24。
27.进一步的，固定杆4的下端穿过金属靶材2并延伸至金属靶材2的下方，限位凸块6在下固定环5的上端均匀分布，固定对接孔7与固定杆4焊接连接，首先将金属靶材2穿在固定杆4的外端，然后将固定套环8与上焊接套环10依次的固定在金属靶材2的底部与固定杆4进行焊接连接，然后将整备好的金属靶材2通过固定杆4插在金属基板1的上端，同时固定杆4穿过穿孔18穿至下固定孔17的内部，在固定套环8插入底孔12内部时，固定套环8对连接柱14进行挤压，连接柱14对收缩弹簧16进行压缩，当连接柱14与连接孔9对接后，收缩弹簧16回弹将连接柱14弹入连接孔9的内部，使其将金属靶材2呈自立状固定在金属基板1的上端，与此同时上焊接套环10同样嵌入在底孔12的内部，然后将上焊接套环10与底孔12之间进行焊接，当焊接结束后，将外金属套环11套在金属靶材2的外端，然后将外金属套环11的下端与金属基板1之间进行焊接连接，上端与上焊接套环10进行焊接，当上端焊接结束后，将下固定环5与固定杆4进行对接，当限位凸块6插入限位槽19内部后，将其进行焊接固定。
28.进一步的，连接孔9在固定套环8的外端均匀分布，上焊接套环10与金属基板1焊接连接，通过设置连接孔9可将固定套环8固定在底孔12的内部，使其在焊接时更加的稳定。
29.进一步的，外金属套环11与上焊接套环10焊接连接，外金属套环11与金属基板1焊接连接，外金属套环11位于金属靶材2下端的外端，外金属套环11为喇叭状结构，可将金属靶材2周围的拉伸力均匀的扩散开，使其在使用过程中避免焊接处受力出现裂痕。
30.进一步的，底孔12与固定套环8和上焊接套环10相适配，连接柱14的右端延伸至活动槽13的外侧，连接柱14与连接孔9相适配，固定套环8和上焊接套环10为嵌入在底孔12的内部，上端与金属基板1为持平状态，可使得焊接更加的便捷。
31.进一步的，下固定孔17与下固定环5相适配，穿孔18的上端贯穿至底孔12的内部，穿孔18与固定杆4相适配，下固定环5嵌入在下固定孔17的内部，使其不会在金属基板1的下端形成凸起。
32.进一步的，限位槽19在下固定孔17的内部均匀分布，限位槽19与限位凸块6相适
配，将限位凸块6插入限位槽19的内部，可使得在焊接过程中下固定环5不会出现位移的现象，对缓解造成影响，进一步的提高了焊接结合率。
33.进一步的，收缩槽20在穿孔18的内端均匀对称分布，活动杆21的右端延伸至穿孔18的内部，夹持板24呈半圆形结构，夹持板24与固定杆4相适配，当固定杆4插入穿孔18的内部时，固定杆4对夹持板24进行挤压，夹持板24对收缩槽20内部的支撑弹簧23进行挤压压缩，同时支撑弹簧23利用回弹力将夹持板24与固定杆4进行贴合，对固定杆4进行夹持。
34.工作原理：首先将金属靶材2穿在固定杆4的外端，然后将固定套环8与上焊接套环10依次的固定在金属靶材2的底部与固定杆4进行焊接连接，然后将整备好的金属靶材2通过固定杆4插在金属基板1的上端，同时固定杆4穿过穿孔18穿至下固定孔17的内部，在固定套环8插入底孔12内部时，固定套环8对连接柱14进行挤压，连接柱14对收缩弹簧16进行压缩，当连接柱14与连接孔9对接后，收缩弹簧16回弹将连接柱14弹入连接孔9的内部，使其将金属靶材2呈自立状固定在金属基板1的上端，与此同时上焊接套环10同样嵌入在底孔12的内部，然后将上焊接套环10与底孔12之间进行焊接，当焊接结束后，将外金属套环11套在金属靶材2的外端，然后将外金属套环11的下端与金属基板1之间进行焊接连接，上端与上焊接套环10进行焊接，当上端焊接结束后，将下固定环5与固定杆4进行对接，当限位凸块6插入限位槽19内部后，将其进行焊接固定，当固定杆4插入穿孔18的内部时，固定杆4对夹持板24进行挤压，夹持板24对收缩槽20内部的支撑弹簧23进行挤压压缩，同时支撑弹簧23利用回弹力将夹持板24与固定杆4进行贴合，对固定杆4进行夹持。
35.最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。