一种管式pecvd设备炉口电极结构的制作方法

1.本实用新型涉及管式pecvd设备炉口技术领域，尤其是一种管式pecvd设备炉口电极结构。


背景技术：

2.电极电子或电器装置、设备中的一种部件，用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端，输入电流的一极叫阳极或正极，放出电流的一极叫阴极或负极，电极有各种类型，如阴极、阳极、焊接电极、电炉电极等，在管式pecvd设备炉口设备中，电极结构是一个重要的构件。
3.传统的电极构件多采用石墨材质，且结构单一，石墨块倾斜导致炉口座座脚放电异常或高频等原因造成局部打弧，管内易产生粉尘污染，间接造成麻黑点、暗片等el不良，石墨块一旦倾斜导致电极块与舟脚无法正常放电，必须降温调整，调整电极需要至少4h工作量非常大，严重影响产能，石墨电极块易磨损或表面易出现烧焦状影响电流稳定性，导致产品膜色异常。因此，针对上述问题提出一种管式pecvd设备炉口电极结构。


技术实现要素：

4.在本实施例中提供了一种管式pecvd设备炉口电极结构，用于解决现有技术中传统的电极构件多采用石墨材质，且结构单一，石墨块倾斜导致炉口座座脚放电异常或高频等原因造成局部打弧，管内易产生粉尘污染，间接造成麻黑点、暗片等el不良，石墨块一旦倾斜导致电极块与舟脚无法正常放电，必须降温调整，调整电极需要至少4h工作量非常大，严重影响产能，石墨电极块易磨损或表面易出现烧焦状影响电流稳定性，导致产品膜色异常的问题。
5.根据本实用新型的一个方面，提供了一种管式pecvd设备炉口电极结构，包括弧形电极块本体和二号螺纹连接孔，所述弧形电极块本体表面设置有一号螺纹连接孔，所述一号螺纹连接孔上部设置有一号凹槽，所述弧形电极块本体表面设置有二号螺纹连接孔，所述二号螺纹连接孔上部设置有二号凹槽。
6.进一步地，所述弧形电极块本体上部设置有两个一号螺纹连接孔，两个所述一号螺纹连接孔对称分布在弧形电极块本体上部表面。
7.进一步地，所述一号螺纹连接孔直径为5.5mm，所述弧形电极块本体表面设置有两个一号凹槽，两个所述一号凹槽分别位于一号螺纹连接孔上部。
8.进一步地，所述弧形电极块本体采用不锈钢材质，且弧形电极块本体一端呈弧形。
9.进一步地，所述弧形电极块本体表面设置有四个二号螺纹连接孔，四个所述二号螺纹连接孔对称分布在弧形电极块本体两侧。
10.进一步地，所述一号螺纹连接孔直径位于6.5mm，所述弧形电极块本体表面设置有四个二号凹槽，四个所述二号凹槽分别位于二号螺纹连接孔上部。
11.通过本实用新型上述实施例，过弧形电极块本体表面的弧形设计，提高弧形电极
块本体与陶瓷支撑杆接触面，同时提高整体的安装的稳定性，通过将弧形电极块本体采用不锈钢材质提高弧形电极块本体的整体强度，通过提升弧形电极块本体的强度避免在长期的使用过程中弧形电极块本体被磨损，造成现松动倾斜的情况，导致电极接触不良、设备运行不稳定，造成生产产品质量下降，通过一号螺纹连接孔。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
13.图1为本实用新型一种实施例的整体立体结构示意图；
14.图2为本实用新型一种实施例的整体侧视结构示意图；
15.图3为本实用新型一种实施例的整体内部结构示意图。
16.图中：1、弧形电极块本体；2、一号螺纹连接孔；3、一号凹槽；4、二号螺纹连接孔；5、二号凹槽。
具体实施方式
17.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
18.需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
19.在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
20.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
21.此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含
义。
22.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
23.请参阅图1-3所示，一种管式pecvd设备炉口电极结构，包括弧形电极块本体1和二号螺纹连接孔4，所述弧形电极块本体1表面设置有一号螺纹连接孔2，所述一号螺纹连接孔2上部设置有一号凹槽3，所述弧形电极块本体1表面设置有二号螺纹连接孔4，所述二号螺纹连接孔4上部设置有二号凹槽5。
24.所述弧形电极块本体1上部设置有两个一号螺纹连接孔2，两个所述一号螺纹连接孔2对称分布在弧形电极块本体1上部表面，通过两个一号螺纹连接孔2与外部两个螺栓进行连接，提高安装的稳定性，所述一号螺纹连接孔2直径为5.5mm，所述弧形电极块本体1表面设置有两个一号凹槽3，两个所述一号凹槽3分别位于一号螺纹连接孔2上部，所述弧形电极块本体1采用不锈钢材质，且弧形电极块本体1一端呈弧形，所述弧形电极块本体1表面设置有四个二号螺纹连接孔4，四个所述二号螺纹连接孔4对称分布在弧形电极块本体1两侧，通过四个二号螺纹连接孔4与外部四个螺栓进行连接提高安装稳定性，所述一号螺纹连接孔2直径位于6.5mm，所述弧形电极块本体1表面设置有四个二号凹槽5，四个所述二号凹槽5分别位于二号螺纹连接孔4上部。
25.本实用新型在使用时，通过螺栓分别与一号螺纹连接孔2和二号螺纹连接孔4螺纹连接，同时螺栓与外部的陶瓷支撑杆进行连接，将弧形电极块本体1安装在陶瓷支撑杆表面，通过一号螺纹连接孔2表面的一号凹槽3的设计，使螺栓可以嵌入弧形电极块本体1表面，同理通过二号螺纹连接孔4表面的二号凹槽5的设计，使螺栓可以嵌入弧形电极块本体1表面，避免螺凸起与外部接触，提高稳定性，通过弧形电极块本体1表面的弧形设计，提高弧形电极块本体1与陶瓷支撑杆接触面，同时提高整体的安装的稳定性，通过将弧形电极块本体1采用不锈钢材质提高弧形电极块本体1的整体强度，通过提升弧形电极块本体1的强度避免在长期的使用过程中弧形电极块本体1被磨损，造成现松动倾斜的情况，导致电极接触不良、设备运行不稳定，造成生产产品质量下降，通过一号螺纹连接孔2。
26.本实用新型的有益之处在于：
27.1.本实用新型具有安装措施，通过螺栓分别与一号螺纹连接孔和二号螺纹连接孔螺纹连接，同时螺栓与外部的陶瓷支撑杆进行连接，将弧形电极块本体安装在陶瓷支撑杆表面，通过一号螺纹连接孔表面的一号凹槽的设计，使螺栓可以嵌入弧形电极块本体表面，同理通过二号螺纹连接孔表面的二号凹槽的设计，使螺栓可以嵌入弧形电极块本体表面，避免螺凸起与外部接触，提高稳定性；
28.2.本实用新型结构合理，通过弧形电极块本体表面的弧形设计，提高弧形电极块本体与陶瓷支撑杆接触面，同时提高整体的安装的稳定性，通过将弧形电极块本体采用不锈钢材质提高弧形电极块本体的整体强度，通过提升弧形电极块本体的强度避免在长期的使用过程中弧形电极块本体被磨损，造成现松动倾斜的情况，导致电极接触不良、设备运行不稳定，造成生产产品质量下降，通过一号螺纹连接孔。
29.涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
30.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本
领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。