一种超高纯气体生产装置的制作方法

技术特征：
1.一种超高纯气体生产装置，包括生产装置(1)，其特征在于：所述生产装置(1)的表面的顶部表面安装有密封盖(2)，所述密封盖(2)的表面安装有进气管(5)，所述进气管(5)的表面安装有卡块(11)，所述卡块(11)的表面靠近进气管(5)的内壁位置处安装有挡板(12)，所述密封盖(2)的表面安装有活动板(13)，所述活动板(13)的底部表面靠近密封盖(2)的内壁位置处安装有限位滑块(15)。2.根据权利要求1所述的一种超高纯气体生产装置，其特征在于：所述密封盖(2)的内壁靠近进气管(5)的底部表面位置处安装有圆形密封板(7)，所述进气管(5)的底部表面靠近圆形密封板(7)的内壁位置处安装有橡胶环(6)，所述进气管(5)的底部表面开设有环形槽(8)。3.根据权利要求2所述的一种超高纯气体生产装置，其特征在于：所述圆形密封板(7)的表面开设有与进气管(5)配合使用的环形密封槽，所述橡胶环(6)与进气管(5)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种超高纯气体生产装置，其特征在于：所述生产装置(1)的底部表面安装有储气室(3)，所述储气室(3)的底部表面安装有真空泵(4)，所述生产装置(1)的侧表面安装有蓄气室(18)，所述蓄气室(18)的表面安装有收集管，收集管的表面安装有抽气泵(19)，所述抽气泵(19)的表面安装有管道接头(20)。5.根据权利要求1所述的一种超高纯气体生产装置，其特征在于：所述进气管(5)的表面开设有与卡块(11)和挡板(12)配合使用的限位槽(9)，所述限位槽(9)的内壁靠近挡板(12)的表面位置处安装有第一弹簧(10)，所述密封盖(2)的表面开设有与活动板(13)配合使用的矩形滑槽。6.根据权利要求1所述的一种超高纯气体生产装置，其特征在于：所述密封盖(2)的表面开设有与进气管(5)配合使用的螺纹通孔，所述密封盖(2)的内壁开设有与限位滑块(15)配合使用的限位滑槽(16)，所述限位滑槽(16)的内壁靠近限位滑块(15)的表面位置处安装有第二弹簧(17)，所述活动板(13)的表面安装有固定块(14)。

技术总结
本实用新型公开了一种超高纯气体生产装置，包括生产装置，所述生产装置的表面的顶部表面安装有密封盖，所述密封盖的表面安装有进气管，所述进气管的表面安装有卡块，所述卡块的表面靠近进气管的内壁位置处安装有挡板；通过设置卡块，使得进气管与密封盖螺纹贴合旋紧后能够被卡块限制活动，生产装置在使用的过程中不会出现转动的情况，且进气管损坏时，通过活动板能够方便的与密封盖分离，便于更换，不会影响本超高纯气体生产装置的生产效率，通过在密封盖的内部安装橡胶环，增加了进气管与密封盖旋合固定后的密封性，且不会影响进气管的安装和使用，进气管的方便拆卸不会造成气体的泄漏。泄漏。泄漏。


技术研发人员：郑佑香
受保护的技术使用者：武汉易司拓普科技有限公司
技术研发日：2022.09.07
技术公布日：2023/2/6