干式气体洗涤器的制作方法

1.本发明的领域涉及一种干式气体洗涤器。


背景技术：

2.已知干式气体洗涤器。干式气体洗涤器通常用于处理来自半导体加工工具的流出物流。干式气体洗涤器实施干式树脂减排以减少容易吸附树脂上的材料并与之发生反应的气体。虽然存在这种干式洗涤器，但是其各自具有其自己的缺点。因此，期望提供一种经改进的干式气体洗涤器。


技术实现要素：

3.根据第一方面，提供了一种用于处理流出物流的干式气体洗涤器，其包括室，所述室具有：用于接收所述流出物流的入口；与所述入口耦接并且被配置成冷却所述流出物流的冷却器；以及在所述冷却器的下游并且被配置成接收所述流出物流以进行处理的树脂室。
4.所述第一方面认识到现有装置的问题在于，流出物流可能在升高的温度下到达干式气体洗涤器。所述升高的温度可能损坏或降低干式气体洗涤器的效力。因此，可以提供一种干式气体洗涤器。所述洗涤器可以处理流出物流。所述洗涤器可以包括室、壳体或围罩。所述室可以限定或提供接收待处理的流出物流的入口。所述室可以具有冷却器。所述冷却器可以与所述入口流体耦接。所述冷却器可以被配置或布置成冷却流出物流。所述室可以具有树脂室。所述树脂室可以流体地位于冷却器的下游。所述树脂室可以被配置成接收流出物流以进行处理。以此方式，冷却器插置在加工工具与树脂室之间，并且操作以在所述流出物流被运送到所述树脂室之前冷却所述流出物流。以此方式冷却所述流出物流帮助提高树脂的性能，即使在所述流出物流处于升高的温度时也是如此。
5.所述室可以包括在所述冷却器的下游并且被配置成过滤流出物流的粉末捕集器，所述树脂室在所述粉末捕集器的下游。提供粉末捕集器帮助去除流出物流内粉末或颗粒物质的存在，在流出物流冷却时，所述粉末或颗粒物质可能在流出物流中凝结。从冷却的流出物流去除粉末帮助防止粉末被输送到树脂室中，因为否则这将往往涂覆树脂的表面并降低其性能。
6.冷却器和粉末捕集器可以同中心地共同定位。即，冷却器和粉末捕集器可以共享共同轴线。
7.冷却器可以环绕粉末捕集器。这实现紧凑的布置，其中粉末捕集器嵌套在冷却器内。而且，围绕粉末捕集器放置冷却器帮助提高冷却器的冷却性能。
8.所述冷却器可以包括环形室，所述环形室具有内壁和外壁，所述冷却器被配置成在环形室内周向地将流出物流从入口输送到粉末捕集器的传送端口。围绕环形室周向地输送流出物流帮助增加流出物流在从入口输送到传送端口时行进的距离，这帮助增加流出物流上的冷却量。
9.入口可以提供在所述外壁中，并且传送端口可以提供在所述内壁中。
10.所述内壁可以限定粉末捕集器的壳体、围罩或室。这实现共享壁布置，其简化洗涤器的构造并减小其大小。
11.所述冷却器可以包括冷却翅片，所述冷却翅片被定位成中断流出物流在环形室内在入口与传送端口之间的流动。中断流出物流的流动帮助增加流出物流在冷却器内的停留时间并增加入口与传送端口之间的流动距离以便增加冷却器对流出物流的冷却效果。
12.所述冷却翅片可以轴向延伸。轴向地布置所述翅片将其横向于流出物流的流动方向放置以帮助偏离环形室内的该流动。
13.所述冷却翅片可以在内壁与外壁之间径向地延伸。因此，所述冷却翅片可以提供到外壁的热路径以帮助促进冷却。
14.所述冷却翅片可以限定一个或多个孔口以促进流出物流沿周向的流动。因此，所述冷却翅片可以帮助限定环形室内流出物流流动通过的子室。
15.相邻孔口可以轴向地偏移以促成或促进流出物流的蛇形或之字形的周向流动。同样，这帮助增加流出物流必须在入口与传送端口之间行进的距离，以便增强冷却。
16.粉末捕集器可以包括至少一个过滤器。
17.粉末捕集器可以包括多个同心或同轴定位的过滤器。所述过滤器可以相互嵌套以便提供紧凑布置。
18.所述同心过滤器可以由环形气室分离。所述环形气室可以帮助收集凝结的粉末以减少过滤器的堵塞。
19.内部过滤器的内表面可以限定与树脂室流体连通的内部气室。
20.粉末捕集器可以被配置成促成流出物流通过过滤器从传送端口到内部气室的径向流动。
21.所述粉末捕集器可以包括被配置成接收来自流出物流的粉末的贮槽空隙。所述贮槽空隙可以由一组支腿限定，所述支腿将过滤器提升到粉末捕集器的底板上方，并且粉末可以在所述支腿内远离过滤器聚集。
22.树脂室可以堆叠在冷却器上。同样，这实现特别紧凑的布置。
23.在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述了另外的特别且优选的方面。从属权利要求的特征可以视情况并且按除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合与独立权利要求的特征组合。
24.在装置特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将了解，这包括提供该功能或者被调适或配置成提供该功能的装置特征。
附图说明
25.现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，在附图中：图1示意性地图示了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件；图2是更详细地图示了冷却器单元的部件的示意图；图3示意性地图示了冷却器单元的部件，其中主罐的外壁被去除；图4是更详细地图示了粉末捕集器的主要部件的示意图；图5更详细地示意性地图示了过滤器单元；
图6图示了气体洗涤器内的流动路径；并且图7图示了堆叠的树脂室。
具体实施方式
26.在任何更详细地论述实施例之前，将首先提供概述。实施例提供一种通常呈干式树脂减排系统的干式气体洗涤器形式的减排装置，其从半导体加工工具的流出物流吸附特定化合物。提供室，所述室接收待处理的流出物流并使其通过冷却器，所述冷却器在流出物流被输送到包含树脂的树脂室之前冷却所述流出物流。冷却器帮助将由加工工具提供的流出物流快速冷却至更适于树脂的温度，这提高了树脂的性能。粉末捕集器也可以与冷却器一起定位，所述粉末捕集器帮助去除流出物流内的颗粒物质。流出物流中存在的颗粒物质的量可能因这种物质在冷却期间凝结而增加。提供粉末捕集器帮助过滤掉颗粒物质并防止其沉积在树脂的表面上，这进一步帮助提高树脂的性能。将冷却器和粉末捕集器与树脂室共同定位帮助提供紧凑高性能的布置。
27.干式气体洗涤器图1示意性地图示了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件。流出物流被供应到入口100，并且所供应的流出物流在三通阀110的控制下被分成主工艺流200和旁路流300。当与主工艺流200一起操作时，流出物流被供应到主罐230。供应到主罐230的流出物流由安装在下方的冷却器单元210冷却。由冷却器单元210产生的粉末被粉末捕集器220收集，并且所述流出物流移动到上部树脂室。流出物流被内部的树脂吸附并排出到出口400。为促进主罐230的维修，可以操作所述三通阀以激活旁路流300，其中气体被冷却器模块310冷却。包含在经冷却的气体中的粉末然后由过滤器模块320过滤。然后，其被供应到辅助罐330以由其中的树脂吸附处理并通过出口400排出。
28.冷却器单元图2是更详细图示冷却器单元210的部件的示意图。图3示意性地图示了冷却器单元210的部件，其中主罐230的外壁232被去除。提供入口端口231，其耦接到携载主工艺流200的工艺管线。入口端口231位于主罐230的外壁232中。冷却器模块210是由主罐230的外壁232和粉末捕集器220的外壁233限定的环形室。冷却翅片212沿着环形室的至少一部分轴向延伸。冷却翅片212具有孔口213、凹部214和/或无法完全沿着环形室的轴向长度延伸以便提供沿周向围绕环形室的流体流动路径。粉末捕集器220设置有实现环形室与粉末捕集器220之间的流体连通的传送端口215。
29.粉末捕集器图4是更详细图示粉末捕集器220的主要部件的示意图。图5更详细示意性地图示了过滤器单元。过滤器容纳在粉末捕集器220的外壁233内部。特别地，三个同心过滤器225在粉末捕集器220内，所述三个同心过滤器共同形成具有端板226、227的过滤器单元222。在此实例中，过滤器225由相同过滤材料制成。然而，将了解，情况不必是这样，并且过滤器225可以由不同的过滤材料制成，并且可以具有不同的数量，这取决于要求。过滤器225在其间限定气室227。过滤器单元222位于三个支腿支撑件223上，所述支腿支撑件将过滤器单元222从主罐230的底板抬高。这为粉末收集提供空间，以延长粉末捕集器220的寿命。中心导管228限定与安装在上方的树脂室流体连通的气室。
30.如图6中可见，在操作中，在入口端口231处接收通常在大约200℃的流出物流。紧邻入口端口231的冷却翅片211帮助沿由箭头1指示的轴向方向引导和分离流出物流的流动，然后进一步分离流出物流并沿如由箭头2指示的围绕环形室的周向方向引导流出物流。冷却翅片211、214、215和任何孔口213帮助围绕环形室沿周向遵循蛇形路径将流出物流的流动引导到传送端口215。由重新定向流出物流的流动引起的延长路径以及流出物流、粉末捕集器壳体220、主罐230、下底板、冷却翅片211、214、215之间的热传导以及这些部件与环境大气之间的热路径帮助将流出物流冷却至大约50℃。因此，与自然冷却的主罐230的外壁表面实施热交换。通过冷却产生的粉末通过重力和流动与流出物流分离，并且收集在环形室的底部处。
31.流出物流沿如由箭头7指示的大致径向方向行进通过不同的过滤器225。流出物流继续冷却，并且凝结的颗粒物质或粉末由过滤器225捕集。流出物流然后进入中心导管228并且如由箭头8所指示的那样轴向地行进到树脂室的基部中。流出物流的温度现在已经降低至大致低于50℃，并且大部分颗粒物质已经在流出物流被运送到树脂室之前从流出物流去除。
32.树脂室如图7中所示，树脂室240堆叠在主罐230上方。流出物流通过另一个过滤器245、树脂，并且然后通过出口端口250离开。
33.因此，可以看出，一些实施例涉及一种干式洗涤器，并且更特别地，涉及一种包括用于收集废气中包含的粉末和进行气体冷却以增加树脂的寿命和效率的装置的干式洗涤器。在一些实施例中，在主要用于处理废气的工艺流程中在主罐内部安装散热器以降低气体的温度，并且具有用于收集由冷却的气体产生的粉末的空间。所述设备可以配备有一个或多个过滤器以防止粉末的移动。安装在主罐内部的散热器具有用于固定气体入口部分的部分并且沿恒定方向被供应。所供应的气体流产生两个或更多个流动方向，从而导致较低的气流速率和增加的热交换效率。另外，其容易与过滤器组合和分离，并且具有固定安装位置以抵抗外部影响的功能。此后，所产生的粉末具有在一个或多个级中借助过滤器级之间的空间在过滤器级之间捕获粉末以防止移动到树脂层的功能。另一特征是产生模块化形式，其允许可以根据使用环境应用废气的旁路流动期间的冷却和粉末收集。
34.冷却模块被分成所供应的气体流的壁流和中心流。壁流由外壁冷却并与中心流混合回流。根据冷却性能，可以安装一个或多个模块。可以应用三通流以选择适于环境的流动方向。一些实施例提供了节能的冷却设备，其通过控制内部气流的流动使用与壁表面的热交换，而不在气体冷却方法中使用诸如冷却水、n2或cda的冷却剂。
35.虽然本文中已经参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是应理解的是，本发明并不限于所述精确实施例，并且本领域技术人员可以在不背离如由所附权利要求书及其等效内容限定的本发明的范围的情况下在本文中实现各种改变和修改。
36.附图标记入口100三通阀110主工艺流200冷却器单元210
冷却翅片211、212孔口213凹部214传送端口215粉末捕集器220过滤器单元222支腿支撑件223过滤器225气室227端板226、227中心导管228主罐230入口端口231外壁232、233树脂室240过滤器245出口端口250冷却器模块310过滤器模块320辅助罐330出口400。