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一种电镀铜溶液、电镀铜溶液添加剂及其制备方法

2023-02-01 22:43:15 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种电镀铜溶液添加剂,其特征在于,该添加剂为5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇的席夫碱化合物,该席夫碱化合物的结构式为:2.一种如权利要求1所述的电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,所述的添加剂由5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇和2-萘甲醛合成制得,其中5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇的结构式为:2-萘甲醛的结构式为:3.根据权利要求2所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,所述的5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇和2-萘甲醛的摩尔比为(0.5-1.5):1。4.根据权利要求2或3所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:步骤s1,混合5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、2-萘甲醛和溶剂;步骤s2,将混合物加热回流反应;步骤s3,减压蒸馏除去溶剂,固体物质析出,过滤得到添加剂。5.根据权利要求4所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,步骤s1中溶剂为乙醇。6.根据权利要求4所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,步骤s1中溶剂和2-萘甲醛的用量比为(2.5-7.5l):1mol。7.根据权利要求4所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,步骤s2中加热回流反应的温度为40-60℃,时间为3-6h。8.根据权利要求4所述的一种电镀铜溶液添加剂的制备方法,其特征在于,步骤s3中减压蒸馏的压力为0.07-0.09mpa,温度为40-50℃,时间为2-6h。9.一种电镀铜溶液,其特征在于,该溶液包括加速剂、抑制剂和整平剂,其中加速剂为聚二硫二丙烷磺酸钠,抑制剂为聚乙二醇-6000,整平剂为如权利要求2-8任一项所述制备
方法制备得到的电镀铜溶液添加剂。10.根据权利要求9所述的一种电镀铜溶液,其特征在于,所述加速剂的占比为1-10ppm,所述抑制剂的占比为150-300ppm,所述整平剂的占比为1-15ppm。

技术总结
本发明涉及一种电镀铜溶液、电镀铜溶液添加剂及其制备方法,所述的电镀铜溶液添加剂为5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇的席夫碱化合物,该席夫碱化合物的结构式为:所述的电镀铜溶液添加剂由5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇和2-萘甲醛合成制得;所述的电镀铜溶液包括加速剂、抑制剂和整平剂,其中加速剂为聚二硫二丙烷磺酸钠,抑制剂为聚乙二醇-6000,整平剂为所述的电镀铜溶液添加剂。与现有技术相比,本发明可获得无缝隙和空洞的盲孔电镀铜填充,且镀层表面光亮平整,电镀所得的铜层厚度从5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇作为添加剂的36.2μm减少到23.9μm,该席夫碱化合物可以作为电镀铜的有效整平剂。铜的有效整平剂。铜的有效整平剂。


技术研发人员:徐群杰 周苗淼 孟雅超 沈喜训 李巧霞
受保护的技术使用者:上海电力大学
技术研发日:2022.10.30
技术公布日:2023/1/31
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