一种应变梁制造方法及压力传感器与流程

技术特征：
1.一种应变梁制造方法，其特征在于，包括以下步骤：s1，准备一块金属或非金属板材，将其加工成4寸或8寸或12寸大小的尺寸，在其背面加工两个左右对称的凹槽，在加工凹槽时，根据传感器的量程大小预留应变梁膜片的厚度；s2，对加工好凹槽的应变梁的上表面进行研磨和抛光；s3，在研磨抛光后的应变梁的表面，沉积绝缘层、敏感层和焊盘层薄膜，并使用光刻技术制造惠斯通电桥图形；s4，分割成单个应变梁；s5，将应变梁连接到弹性体的上表面。2.根据权利要求1所述的应变梁制造方法，其特征在于，所述s1步骤中，在加工凹槽时，左右两个凹槽与板材的边缘之间分别保留有一个柱体，两个凹槽之间同样保留有柱体，三个柱体与弹性体连接。3.一种压力传感器，其特征在于，包括传感器本体，所述传感器本体包括应变梁，所述应变梁采用如权利要求1-2任意一个所述的方法制得的应变梁。4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述传感器本体还包括外壳和设置于所述外壳内的弹性体和六方引压嘴，所述弹性体设置于所述应变梁的下侧，所述弹性体位于所述六方引压嘴的凸台处，所述弹性体的内部设置有圆形岛，所述弹性体的上方安装有调理电路板，所述调理电路板与所述惠斯通电桥通过信号线连接，所述六方引压嘴的外侧设有螺纹。5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述六方引压嘴的六方座内侧设置有应力隔离槽。

技术总结
本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。的有益效果。的有益效果。


技术研发人员：范敏 雷卫武 徐建 徐承义 杨雪梅 刘素夫
受保护的技术使用者：松诺盟科技有限公司
技术研发日：2022.12.05
技术公布日：2022/12/30