激光设备的制作方法

技术特征：
1.一种激光设备，其特征在于，所述激光设备包括：支撑架；激光器，所述激光器设置于所述支撑架；第一滑轨，所述第一滑轨设置于所述支撑架；驱动装置，所述驱动装置设置于所述支撑架，所述驱动装置上设置有载物台，所述驱动装置用于带动所述载物台运动；第一出光头，所述第一出光头滑动设置于所述第一滑轨；第二出光头，所述第二出光头滑动设置于所述第一滑轨；第一光路模块，所述第一光路模块设置于所述支撑架，所述第一光路模块用于将所述激光器发射的激光束传输至所述第一出光头，以从所述第一出光头射出；第二光路模块，所述第二光路模块设置于所述支撑架，所述第二光路模块用于将所述激光器发射的激光束传输至所述第二出光头，以从所述第二出光头射出。2.如权利要求1所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：第三光路模块，所述第三光路模块设置于所述支撑架，所述第三光路模块用于将所述激光器发射的激光束分离为至少两束子光束，并将至少一束子光束传输至所述第一光路模块以及将至少一束子光束传输至所述第二光路模块。3.如权利要求2所述的激光设备，其特征在于，所述激光器和所述第三光路模块在所述支撑架上的高度相同，所述第一光路模块和所述第二光路模块在所述支撑架上的高度均小于所述激光器在所述支撑架上的高度。4.如权利要求3所述的激光设备，其特征在于，所述第一光路模块与所述第二光路模块分别设置于所述第一滑轨的两端，所述第一光路模块位于所述第三光路模块的底部。5.如权利要求3所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：上料模组，所述上料模组设置于所述支撑架，所述上料模组在所述第一滑轨上的正投影与所述第三光路模块在所述第一滑轨上的正投影重叠。6.如权利要求5所述的激光设备，其特征在于，所述上料模组与所述第一出光头分别设置于所述支撑架的两侧。7.如权利要求5所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：定位机构，所述定位机构设置于所述支撑架，用于定位待加工件，所述定位机构在竖平面内的正投影与所述上料模组在所述竖平面内的正投影重叠，所述定位机构位于所述载物台的上方；其中，所述竖平面与所述第一滑轨的延伸方向垂直。8.如权利要求3所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：清洗模组，所述清洗模组用于清洗待加工件和/或向待加工件涂胶，所述清洗模组在所述第一滑轨上的正投影与所述第二光路模块在所述第一滑轨上的正投影重叠。9.如权利要求2所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：第四光路模块，所述第四光路模块滑动设置于所述第一滑轨，所述第一出光头设置于所述第四光路模块，所述第四光路模块用于将所述第一光路模块内的子光束传输至所述第一出光头；第五光路模块，所述第五光路模块滑动设置于所述第一滑轨，所述第二出光头设置于
所述第五光路模块，所述第五光路模块用于将所述第二光路模块内的子光束传输至所述第二出光头。10.如权利要求1所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括：第二滑轨，所述第二滑轨设置于所述支撑架，所述第二滑轨位于所述第一滑轨与所述载物台之间；抓取机构，所述抓取机构滑动设置于所述第二滑轨上，所述抓取机构用于抓取待加工件。

技术总结
本实用新型公开一种激光设备，该激光设备包括支撑架、激光器、第一滑轨、驱动装置、第一出光头、第二出光头、第一光路模块和第二光路模块，激光器、第一滑轨、驱动装置、第一光路模块和第二光路模块均设置于支撑架；驱动装置上设置有载物台，驱动装置用于带动载物台运动，第一出光头和第二出光头均滑设于第一滑轨；第一光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第一出光头，以从第一出光头射出，第二光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第二出光头，以从第二出光头射出。本实用新型技术方案采用一个激光器实现双工位加工，同时将第一滑轨与驱动装置分离设置，可以减小第一滑轨附近的空间占用率，减小激光设备的体积。减小激光设备的体积。减小激光设备的体积。


技术研发人员：郑磊荣 李福海 朱锐 张远胜 黄利兵 罗成钢 陈康林 陈湘文 卢庆光 林远添 高云峰
受保护的技术使用者：深圳市大族半导体装备科技有限公司
技术研发日：2022.06.23
技术公布日：2023/1/3