一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置的制作方法

技术特征：
1.一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置，其特征在于该装置包括升华室(1)、钨支撑筒(2)、镀层室(3)、不锈钢外壳(4)、第一隔板(5)和第二隔板(6)；其中升华室(1)、钨支撑筒(2)、镀层室(3)均置于不锈钢外壳(4)内；升华室(1)由钨坩埚(1-1)、第一加热器(1-2)组成；第一加热器(1-2)设置在钨坩埚(1-1)外；镀层室(3)由上盖(3-1)、带孔钨倒圆台(3-2)、带孔钨圆板(3-3)、带孔钨圆筒(3-4)、多孔石墨板(3-5)、第二加热器(3-6)组成；其中带孔钨倒圆台(3-2)的上底为上盖(3-1)，下底为带孔钨圆板(3-3)，上盖(3-1)的中心开有孔；带孔钨圆筒(3-4)置于带孔钨圆板(3-3)上，多孔石墨板(3-5)置于带孔钨圆筒(3-4)上；第二加热器(3-6)设置在带孔钨倒圆台(3-2)外；第一隔板(5)固定连接在上盖(3-1)与不锈钢外壳(4)内壁之间；第二隔板(6)固定连接在钨支撑筒(2)与不锈钢外壳(4)内壁之间；在位于第一隔板(5)和第二隔板(6)之间的不锈钢外壳(4)上开有氢气入口(4-1)；钨支撑筒(2)为真空通道，钨支撑筒(2)将升华室(1)与镀层室(3)连通。2.根据权利要求1所述的一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置，其特征在于带孔钨倒圆台(3-2)和带孔钨圆筒(3-4)的孔径为0.5～1mm。3.根据权利要求1或2所述的一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置，其特征在于带孔钨圆板(3-3)上的孔径为0.5～1mm。4.根据权利要求1或2所述的一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置，其特征在于多孔石墨板(3-5)的中心开有孔。

技术总结
一种在石墨结构件表面镀碳化物保护层的装置，它涉及镀膜的装置。它是要解决现有的在石墨、碳制品等高温材料表面镀膜的方法复杂的技术问题。本装置包括升华室、钨支撑筒、镀层室；钨支撑筒为真空通道，钨支撑筒将升华室与镀层室连通。利用该装置在石墨结构件表面镀碳化物保护层的方法：将氧化钽或氧化钛放在升华室中，将高温结构件放在镀层室的多孔石墨板上；加热使原料升华，在镀层室抽真空，使Ta2O5或TiO2蒸气通过钨支撑筒进入到镀层室内，同时通入氢气，在镀层室内，Ta2O5或TiO2在碳热氢环境下先还原为Ta或Ti，再与升华的石墨碳反应，沉积在高温结构件上，得到保护层，可用于镀膜领域。领域。领域。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
技术研发日：2022.10.17
技术公布日：2022/12/30