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一种OHT的行走单元的制作方法

2022-12-14 13:07:44 来源:中国专利 TAG:

一种oht的行走单元
技术领域
1.本实用新型属于晶圆生产用天车技术领域,特别是一种oht的行走单元。


背景技术:

2.半导体领域内,晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(amhs)来提高工厂自动化程度。空中自动物料搬运天车(oht)简称小车,是自动物料传输系统(amhs)中重要的子系统,主要是应用在轨道的运行中,负责搬运晶圆料盒(foup)至不同的工艺设备或仓储设备。
3.现有的oht在使用过程中,oht需要进行转弯的操作,由于现在的oht的行走单元中是直接通过驱动电机带动驱动轮转动进行行走,这种行走单元在oht转弯时,由于两个驱动轮所走过的路程是不一样的,转弯的半径也不一样,因此两个驱动轮的转速也需要不相同,现有的行走单元由于是通过驱动电机驱动驱动轮转动,两个驱动轮的转速是相同的,使得oht在转弯时出现不稳定的现象。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种oht的行走单元,具有提高了小车转弯时的运动稳定性的特点。
5.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:
6.一种oht的行走单元,包括安装框,安装框内部呈中空设置,在安装框一端两侧侧壁上均转动连接有一转动杆,在转动杆一端上固定连接有一驱动轮,在安装框另一端外壁上固定连接有一驱动电机,在驱动电机输出轴上固定连接有一驱动齿轮,在其中一根转动杆的一端上固定连接有一转动齿轮,转动齿轮和驱动齿轮啮合,在两根转动杆之间设有一用于控制两个驱动轮在转弯时的转速的连接机构。
7.进一步的,所述连接机构包括转动连接在两根转动杆远离驱动轮的一端上的第一壳体和第二壳体、安装在两根转动杆穿过第一壳体和第二壳体的一端上的第一锥齿轮和第二锥齿轮、啮合在第一锥齿轮和第二锥齿轮之间的第三锥齿轮和第四锥齿轮、同轴转动连接在第三锥齿轮和第四锥齿轮之间的连接杆,所述第一壳体和第二壳体之间可拆卸连接,所述连接杆与转动杆呈垂直设置。
8.进一步的,所述第一锥齿轮和第二锥齿轮的直径相同,所述第三锥齿轮和第四锥齿轮的直径相同,第一锥齿轮的直径大于第三锥齿轮的直径。
9.进一步的,在所述驱动齿轮和转动齿轮之间设有一减速机构,减速机构包括转动连接在安装框两侧内壁之间的减速杆、固定连接在减速杆上的第一减速齿轮和第二减速齿轮,所述第一减速齿轮的直径大于第二减速齿轮的直径,所述驱动齿轮与第一减速齿轮啮合,所述第二减速齿轮与转动齿轮啮合,所述驱动齿轮的直径小于第一减速齿轮的直径,所述转动齿轮的直径大于第二减速齿轮的直径。
10.进一步的,所述驱动齿轮的直径小于转动齿轮的直径。
11.进一步的,所述第一壳体和第二壳体之间通过螺栓固定连接。
12.与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
13.1、本实用新型通过在两根转动杆之间设有一连接机构,通过第一锥齿轮、第二锥齿轮、第三锥齿轮和第四锥齿轮之间的配合,解决了当小车在转弯时,由于外圈和内圈的驱动轮经过的行程不一样,使得两个驱动轮所需的转速的问题,提高了小车转弯时的运动稳定性。
14.2、本实用新型通过第一减速齿轮的直径大于第二减速齿轮的直径,第二减速齿轮与转动齿轮啮合,驱动齿轮的直径小于第一减速齿轮的直径,转动齿轮的直径大于第二减速齿轮的直径,驱动齿轮的直径小于转动齿轮的直径,通过这样的设置,结构简单,操作方便,方便了对驱动电机输出的转速进行减速,方便了控制驱动轮运动。
附图说明
15.图1是本实用新型的结构示意图。
16.图2是本实用新型中连接机构的结构示意图。
17.图中,1、安装框;2、转动杆;3、驱动轮;4、驱动电机;5、驱动齿轮;6、转动齿轮;7、连接机构;8、第一壳体;9、第二壳体;10、第一锥齿轮;11、第二锥齿轮;12、第三锥齿轮;13、第四锥齿轮;14、连接杆;15、减速机构;16、减速杆;17、第一减速齿轮;18、第二减速齿轮。
具体实施方式
18.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。
19.如图1、图2所示,一种oht的行走单元,包括安装框1,安装框1内部呈中空设置且上端与外界连通,在安装框1上表面上通过螺栓固定连接有一盖板,在安装框1一端的两侧侧壁上均转动连接有一转动杆2,转动杆2的一端位于安装框1内部,在转动杆2远离安装框1的一端上固定连接有一驱动轮3,在安装框1另一端上固定连接有一驱动电机4,驱动电机4的输出轴伸入安装框1内部,在驱动电机4的输出轴上固定连接有一驱动齿轮5,在其中一根转动杆2远离驱动轮3的一端上固定连接有一转动齿轮6,转动齿轮6和驱动齿轮5啮合,在两根转动杆2之间设有用于控制两个驱动轮3在转动时的转速的连接机构7。
20.如图1、图2所示,驱动齿轮5的直径小于转动齿轮6的直径。
21.如图1、图2所示,连接机构7包括第一壳体8、第二壳体9、第一锥齿轮10、第二锥齿轮11、第三锥齿轮12、第四锥齿轮13和连接杆14,第一壳体8转动连接在转动杆2一端上,第二壳体9转动连接在另一根转动杆2的一端上,第一壳体8和第二壳体9之间通过螺栓连接,第一锥齿轮10固定连接在转动杆2一端上,第二锥齿轮11固定连接在另一根的转动杆2的一端上,第三锥齿轮12和第四锥齿轮13啮合在第一锥齿轮10和第二锥齿轮11之间,连接杆14的两端同轴转动连接在第三锥齿轮12和第四锥齿轮13上,第一锥齿轮10和第二锥齿轮11的直径相同,第三锥齿轮12和第四锥齿轮13的直径相同,第一锥齿轮10的直径大于第三锥齿轮12的直径,连接杆14与转动杆2呈垂直设置。
22.如图1、图2所示,为了更好的驱动驱动轮3转动,在驱动齿轮5和转动齿轮6之间设有一减速机构15,减速机构15包括减速杆16、第一减速齿轮17和第二减速齿轮18,减速杆16转动连接在安装框1两侧内壁之间,第一减速齿轮17和第二减速齿轮18均同轴固定连接在
减速杆16外壁上,第一减速齿轮17的直径大于第二减速齿轮18的直径,驱动齿轮5与第一减速齿轮17啮合,第二减速齿轮18与转动齿轮6啮合,驱动齿轮5的直径小于第一减速齿轮17的直径,转动齿轮6的直径大于第二减速齿轮18的直径。
23.本实用新型实施例的工作原理:驱动电机4带动驱动齿轮5转动,驱动齿轮5带动第一减速齿轮17转动,第一减速齿轮17通过减速杆16带动第二减速齿轮18转动,第二减速齿轮18带动转动齿轮6转动,转动齿轮6通过转动杆2带动驱动轮3转动;
24.当小车转弯时,在第一锥齿轮10、第二锥齿轮11、第三锥齿轮12、第四锥齿轮13的配合下,调整两个驱动轮3由于转弯时的行程不一样而出现的转速需要的问题。
25.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
26.尽管本文较多地使用了1、安装框;2、转动杆;3、驱动轮;4、驱动电机;5、驱动齿轮;6、转动齿轮;7、连接机构;8、第一壳体;9、第二壳体;10、第一锥齿轮;11、第二锥齿轮;12、第三锥齿轮;13、第四锥齿轮;14、连接杆;15、减速机构;16、减速杆;17、第一减速齿轮;18、第二减速齿轮等术语,但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质;把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。
再多了解一些

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