一种晶圆加工用工作台面的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用工作台面。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.在生产加工过程中，需要对其表面进行打磨修整，现有技术需要通过晶圆加工用工作台面上的定位机构对晶圆的位置进行固定，以此便于通过打磨盘对晶圆表面进行打磨修整。
4.但是现有晶圆加工用工作台面在使用过程中具有一定局限性，由于其定位机构在对晶圆进行固定时较为单调，而现有晶圆的尺寸各有不同，而其定位机构只能够对同一尺寸的晶圆进行固定，使其定位效果较差，不便于使用，且现有的晶圆加工用工作台面中的定位机构在使用过程，晶圆底部与打磨盘接触，难以控制打磨程度，因此，提出一种晶圆加工用工作台面以解决上述问题。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种晶圆加工用工作台面，以解决上述背景技术中提出现有的晶圆加工用工作台面上的定位机构只能够对同一尺寸的晶圆进行固定以及晶圆底部与打磨盘打磨难以控制打磨程度的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆加工用工作台面，包括工作台主体、晶圆主体、支撑板、用来固定晶圆主体位置的夹紧机构，
9.工作台主体，所述工作台主体顶部设置有打磨盘主体；
10.支撑板，所述支撑板底部固定安装在工作台主体顶部；
11.夹紧机构，所述夹紧机构包括主板、用来调节位置的螺纹柱以及用来挤压晶圆主体的夹紧板，所述主板前壁左壁开设有圆孔，所述螺纹柱外壁转动连接在主板前壁左壁开设的圆孔内，所述螺纹柱外壁螺纹连接在移动块，所述移动块右壁固定设置有夹紧板，且晶圆主体左壁被夹紧板右壁抵持。
12.优选的，所述支撑板内部开设有凹槽，所述主板外壁活动卡接在支撑板内腔中，所述支撑板内腔底部固定设置有固定杆，所述固定杆顶部穿过主板向上延伸，所述固定杆外壁活动套接有弹簧条，所述弹簧条位于主板下方。
13.优选的，所述主板左壁固定连接有连接板，所述支撑板左壁开设有第三滑动槽，所述连接板左端穿过第三滑动槽向左延伸，所述螺纹柱左端穿过连接板向左延伸。
14.优选的，所述螺纹柱外壁固定设置有固定盘，所述固定盘左壁开设有固定孔，所述固定孔内壁活动插接有固定柱，所述连接板左壁开设有连接孔，所述固定柱右端螺纹连接
在连接孔内。
15.优选的，所述移动块左壁开设有凹槽，所述移动块左壁开设的凹槽内壁活动卡接有限位块，所述限位块左壁固定连接有限位杆，所述限位杆左端固定连接在主板上。
16.优选的，所述支撑板右壁开设有第一滑动槽，所述螺纹柱右端穿过第一滑动槽向右延伸，所述支撑板右壁开设有第二滑动槽，所述限位杆活动插接在第二滑动槽内壁中，所述移动块顶部固定安装有把手。
17.本实用新型公开了一种晶圆加工用工作台面，其具备的有益效果如下：
18.1、该晶圆加工用工作台面，通过设置工作台主体、主板、螺纹柱、移动块、夹紧板和晶圆主体的连接关系，使得通过转动螺纹柱带动夹紧板向右移动，使得能够根据晶圆主体外壁尺寸对晶圆主体进行夹紧，便于提高设备的实用性，方便使用，通过设置支撑板、主板、弹簧条和晶圆主体的连接关系，使得通过使用者手持把手向下按压带动晶圆主体向下移动，使晶圆主体与打磨盘主体接触，使得能够对其进行打磨修整，且通过手持的方式，方便使用者对晶圆主体打磨程度的控制。
19.2、该晶圆加工用工作台面，通过设置移动块左壁开设有凹槽，移动块左壁开设的凹槽内壁活动卡接有限位块，限位块左壁固定连接有限位杆，限位杆左端固定连接在主板上，便于限制移动块移动的方向和移动范围。
附图说明
20.图1为本实用新型整体结构示意图；
21.图2为本实用新型移动块结构示意图；
22.图3为本实用新型螺纹柱结构示意图；
23.图4为本实用新型固定盘结构示意图；
24.图5为本实用新型支撑板结构示意图；
25.图6为本实用新型弹簧条结构示意图。
26.图中：1、工作台主体；101、打磨盘主体；102、晶圆主体；2、支撑板；201、第一滑动槽；202、第二滑动槽；203、第三滑动槽；204、固定杆；205、弹簧条；3、主板；301、连接板；302、螺纹柱；303、移动块；304、夹紧板；305、限位杆；306、限位块；307、固定盘；308、固定孔；309、固定柱；310、连接孔；311、把手。
具体实施方式
27.本实用新型实施例公开一种晶圆加工用工作台面，包括工作台主体1、晶圆主体102、支撑板2、用来固定晶圆主体102位置的夹紧机构，
28.根据附图1所示，工作台主体1，工作台主体1顶部设置有打磨盘主体101，且打磨盘主体101底部设置有旋转电机，且旋转电机为现有成熟结构，故本实用新型不在此进行阐述，启动旋转电机打磨盘主体101底部打磨部件转动，以此便于对晶圆主体102底部进行打磨修整；
29.根据附图1所示，支撑板2，支撑板2底部固定安装在工作台主体1顶部；
30.根据附图2和3所示，夹紧机构，夹紧机构包括主板3、用来调节位置的螺纹柱302以及用来挤压晶圆主体102的夹紧板304，主板3前壁左壁开设有圆孔，螺纹柱302外壁转动连
接在主板3前壁左壁开设的圆孔内，螺纹柱302外壁螺纹连接在移动块303，移动块303右壁固定设置有夹紧板304，且晶圆主体102左壁被夹紧板304右壁抵持，夹紧机构设置有两组，且对称分布，通过转动螺纹柱302，使夹紧板304能够左右移动，使得能够根据晶圆主体102尺寸对晶圆主体102进行夹紧限制。
31.根据附图6所示，支撑板2内部开设有凹槽，主板3外壁活动卡接在支撑板2内腔中，支撑板2内腔底部固定设置有固定杆204，固定杆204顶部穿过主板3向上延伸，固定杆204外壁活动套接有弹簧条205，弹簧条205位于主板3下方，通过弹簧条205的推动力使主板3保持在一个平面上，且通过推动，也能够使主板3向下移动，使得能够带动晶圆主体102向下移动，进行打磨修整，方便使用者操作控制晶圆主体102的打磨程度。
32.根据附图4和5所示，主板3左壁固定连接有连接板301，支撑板2左壁开设有第三滑动槽203，连接板301左端穿过第三滑动槽203向左延伸，螺纹柱302左端穿过连接板301向左延伸，使连接板301能够向下移动，避免遮挡主板3向下移动。
33.根据附图4所示，螺纹柱302外壁固定设置有固定盘307，固定盘307左壁开设有固定孔308，固定孔308内壁活动插接有固定柱309，连接板301左壁开设有连接孔310，固定柱309右端螺纹连接在连接孔310内，便于对螺纹柱302的位置进行固定，以此能够对夹紧板304的位置进行固定，从而能够对晶圆主体102进行夹紧。
34.根据附图3所示，移动块303左壁开设有凹槽，移动块303左壁开设的凹槽内壁活动卡接有限位块306，限位块306左壁固定连接有限位杆305，限位杆305左端固定连接在主板3上，便于限制移动块303移动的方向和移动范围。
35.根据附图2、3和5所示，支撑板2右壁开设有第一滑动槽201，螺纹柱302右端穿过第一滑动槽201向右延伸，支撑板2右壁开设有第二滑动槽202，限位杆305活动插接在第二滑动槽202内壁中，使得夹紧机构能够向下移动，移动块303顶部固定安装有把手311，便于使用者向下按压移动块303。
36.工作原理：为了便于根据晶圆主体102的尺寸对晶圆主体102的位置进行夹紧，使用者可以通过晶圆主体102放置在两个夹紧板304之间，使用者可以通过向前顺时针转动螺纹柱302，且通过限位杆305对移动块303运动方向的限制，使得向前转动的螺纹柱302带动移动块303向右移动，通过向右移动的移动块303带动夹紧板304向右移动，使得向右移动的夹紧板304带动晶圆主体102向右移动，使晶圆主体102右壁与设备左侧的夹紧板304相抵，使晶圆主体102夹紧在两个夹紧板304之间，以此能够对晶圆主体102的位置进行限制，且通过将固定柱309插入对应的固定孔308内，使得固定柱309穿过对应的固定孔308插入连接孔310内再通过旋转固定柱309，使固定柱309拧紧在连接孔310内，以此能够对螺纹柱302的位置进行固定，从而能够对夹紧板304的位置进行固定，使得能够对晶圆主体102进行夹紧，使得能够根据晶圆主体102的尺寸对晶圆主体102的位置进行限制；
37.使用者可以通过启动打磨盘主体101，打磨盘主体101上方打磨面转动，通过手持两侧把手311并向下按压，使得向下移动的把手311带动移动块303向下移动，使得向下移动的移动块303带动晶圆主体102向下移动，便于对晶圆主体102底部进行打磨，且通过使用者手持控制的方式，便于对晶圆主体102打磨程度进行控制。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述
的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。