一种真空蒸镀机的镀锅传动结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的镀锅传动结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机利用设置在主腔体底板上的蒸镀源，蒸镀源通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，使得蒸镀源内的蒸发镀膜材料(或称膜料)气化，气化后的膜料粒子呈圆锥体形状向上蒸发，在主腔体上部的镀锅固定的基片表面凝结，形成薄膜。为了镀膜更加均匀，镀锅一般是旋转的，例如公转或者行星转，而镀锅旋转由镀锅传动结构提供旋转的动能。例如中国专利cn214193431u，公开了一种真空蒸镀机的伞架行星转结构，连接电机的转轴与固定件1连接，固定件1的两个l型杆12(又称摇杆)再依次将旋转的动能传递到中空板2和侧连接件3，使得镀锅进行行星转。其中，测量镀锅上的基片的镀膜膜层厚度的晶振探头，设置在两个摇杆的上方，镀锅每旋转一周，摇杆会遮挡晶振探头的信号两次，并且随着时间的推移，摇杆遮挡晶振探头信号的次数越多，导致晶振探头测量基片上的镀膜膜厚不准确，由于镀膜材料、基片形状或转速等等的不同，差数补偿也难以调整，很难从根本上解决摇杆遮挡晶振探头带来的问题。
3.为了解决上述问题，如中国专利cn213084836u，其晶振探头105设置在回转密封件/磁封轴的中心通孔内，回转密封件要比现有的设计的大很多，因为要容纳晶振探头以及给晶振探头降温的两个水管，成本很高。晶振探头105 通过回转密封件下端的中空圆柱体进行测量膜厚，而与镀锅相连的摇杆与中空圆柱体的外围连接固定，使得中空圆柱体和镀锅旋转时，不会遮挡晶振探头，但是，中空圆柱体的中空通孔和回转密封件的中间通孔，都暴露在膜料粒子向上蒸发的范围内，中空圆柱体和回转密封件内部，都会被镀膜；一方面，会影响机械性能，实用性差；另一方面，镀膜积累过多时，该镀膜材料会脱离形成颗粒释放到主腔体中，从而污染被镀膜工件产品。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的镀锅传动结构，摇杆不遮挡晶振探头，并且，磁封轴体积小，传动结构的部件都不会被膜料镀膜。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的镀锅传动结构，摇杆不遮挡晶振探头，并且，传动结构的部件都不会被膜料镀膜。
6.本技术的镀锅传动结构，第一方面，磁封轴1的下端不是直接与摇杆或者带有摇杆的部件连接，而是通过两个水平设置的齿轮进行传动，从齿轮的下方与中空轴承的上端固定，中空轴承的下端与摇杆固定带动摇杆旋转，而晶振水管穿过从齿轮和中空轴承，与晶振水管的下端连接的晶振探头设置在中空轴承的轴承主体下方，晶振探头的直径小于等于轴承主体的直径，使得摇杆在晶振探头的外围旋转从而不遮挡晶振探头。与现有技术相比，磁封轴的体积不用增加，设计两个水平设置的齿轮完成中空轴承位置的转移，设计更合理。第
二方面，设计的固定板使得两个水平齿轮、中空轴承上部和主腔体上面板的通孔内部件都不被镀膜，而晶振探头遮挡了中空轴承底端的中空部，使得中空轴承内部也不被镀膜。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种真空蒸镀机的镀锅传动结构，所述镀锅传动结构设置在真空蒸镀机的主腔体的上部，电机或马达与磁封轴1连接，磁封轴1贯穿主腔体的上面板并与其固定，磁封轴1用于为摇杆提供旋转的动能，所述磁封轴1的下端与水平设置的齿轮2固定、带动齿轮2旋转，齿轮2与水平设置的从齿轮3 啮合，从齿轮3与中空轴承4的上端固定，中空轴承4的下端边沿处与摇杆 5固定，使得从齿轮3带动中空轴承4和摇杆5同步旋转，晶振水管6贯穿从齿轮3和中空轴承4的中空部41，晶振水管6的下端与晶振探头7连接，晶振探头7设置在所述中空部41的下方、并且晶振探头7的直径小于等于所述中空部41的直径，使得摇杆5旋转时不遮挡晶振探头7。
8.在一些实施方式中，所述电机或马达设置在主腔体的上面板上，通过马达支架进行固定，磁封轴1垂直设置并穿过上面板，电机或马达与磁封轴1 通过锥齿轮实现垂直传动。
9.进一步的，磁封轴1的旋转轴11的上端与所述锥齿轮固定，使得电机或马达带动磁封轴1的旋转轴11旋转。
10.进一步的，所述马达支架与顶部法兰8固定，顶部法兰8与主腔体的上面板密封固定，所述上面板具有通孔，该通孔用于供磁封轴1和晶振水管6 穿过，磁封轴1和晶振水管6垂直穿过顶部法兰8和上面板的所述通孔、并且与顶部法兰8密封固定。
11.在一些实施方式中，所述磁封轴1的内部为旋转轴11、外部为套设在旋转轴11外部的磁流体密封件12，磁流体密封件12用于能够在旋转轴11旋转的同时起到密封作用，旋转轴11的下端与齿轮2的中心固定，使得齿轮2 与旋转轴11同步旋转。
12.在一些实施方式中，所述从齿轮3与齿轮2的齿数和模数相同，实现1:1 的水平传动，从齿轮3与齿轮2的旋转速度相同，中空轴承4设置在从齿轮 3的下方，从齿轮3通过螺钉与中空轴承4的上端固定。
13.在一些实施方式中，所述中空轴承4的轴承主体42的上端与齿轮3固定、下端边沿处与摇杆5固定，轴承主体42的上端和下端的直径大于中部的直径，摇杆5与轴承主体42下端的下表面实体边沿固定。
14.进一步的，轴承主体42的中部外侧套设有滚珠轴承43，轴承主体42能够相对于滚珠轴承43旋转，滚珠轴承43与套设在滚珠轴承43外的轴承固定法兰44连接，轴承固定法兰44与固定板9固定，固定板9设置在轴承主体 42下端的上方，固定板9通过多个支柱与主腔体的上面板固定。
15.进一步的，所述固定板9的直径大于齿轮2与从齿轮3的直径之和，使得齿轮2、从齿轮3和中空轴承4的外部不被镀膜。
16.在一些实施方式中，所述晶振探头7的直径与所述中空轴承4的中空部 41的直径相同，使得中空轴承4的内部不被镀膜。
17.进一步的，所述晶振探头7与晶振水管6的下端连接，晶振水管6有两根，其中一根是冷水进水管、另一根是出水管，晶振水管6用于给晶振探头 7降温，晶振探头7的下表面具有通孔71，设置在晶振探头7内的晶片72通过通孔71向下测量基片上的膜厚。
附图说明
18.图1为本技术的真空蒸镀机的镀锅传动结构的结构示意图。
19.图2为本技术的真空蒸镀机的镀锅传动结构的从齿轮、中空轴承、晶振水管和晶振探头的结构示意图。
20.图3为本技术的真空蒸镀机的镀锅传动结构的中空轴承、晶振水管和晶振探头的结构示意图。
21.图4为本技术的真空蒸镀机的镀锅传动结构的中空轴承的爆炸图。
22.主要元件符号说明：
23.磁封轴1、旋转轴11、磁流体密封件12、齿轮2、从齿轮3、中空轴承4、中空部41、轴承主体42、滚珠轴承43、轴承固定法兰44、摇杆5、晶振水管6、晶振探头7、通孔71、晶片72、顶部法兰8、固定板9。
具体实施方式
24.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
25.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
26.同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
27.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
28.实施例1：
29.参见图1，本技术的真空蒸镀机的镀锅传动结构，所述镀锅传动结构设置在真空蒸镀机的主腔体的上部，电机或马达与磁封轴1连接，磁封轴1贯穿主腔体的上面板并与其固定，磁封轴1用于为摇杆提供旋转的动能，所述磁封轴1的下端与水平设置的齿轮2固定、带动齿轮2旋转，齿轮2与水平设置的从齿轮3啮合，从齿轮3与中空轴承4的上端固定，中空轴承4的下端边沿处与摇杆5固定，使得从齿轮3带动中空轴承4和摇杆5同步旋转，晶振水管6贯穿从齿轮3和中空轴承4的中空部41，晶振水管6的下端与晶振探头7连接，晶振探头7设置在所述中空部41的下方、并且晶振探头7的直径小于等于所述中空部41的直径，使得摇杆5旋转时不遮挡晶振探头7。
30.其中，所述电机或马达设置在主腔体的上面板上，通过马达支架进行固定，磁封轴1垂直设置并穿过上面板，电机或马达与磁封轴1通过锥齿轮实现垂直传动。磁封轴1的旋转轴11的上端与所述锥齿轮固定，使得电机或马达带动磁封轴1的旋转轴11旋转。所述马达支架与顶部法兰8固定，顶部法兰8与主腔体的上面板密封固定，所述上面板具有通孔，该通孔用于供磁封轴1和晶振水管6穿过，磁封轴1和晶振水管6垂直穿过顶部法兰8和上面板的所述通孔、并且与顶部法兰8密封固定。所述磁封轴1的内部为旋转轴 11、外部为套设在旋转轴11外部的磁流体密封件12，磁流体密封件12用于能够在旋转轴1旋转的同时起到密封作用，旋转轴11的下端与齿轮2的中心固定，使得齿轮2与旋转轴11同步旋转。所述从齿轮3与齿轮2的齿数和模数相同，实现1:1的水平传动，从齿轮3与齿轮2的旋转速度相同，中空轴承4设置在从齿轮3的下方，从齿轮3通过螺钉与中空轴承4的上端固定。
31.参见图2，所述中空轴承4的轴承主体42的上端与齿轮3固定、下端边沿处与摇杆5固定，轴承主体42的上端和下端的直径大于中部的直径，摇杆 5与轴承主体42下端的下表面实体边沿固定。
32.参见图3，所述晶振探头7的直径与所述中空轴承4的中空部41的直径相同，使得中空轴承4的内部不被镀膜。所述晶振探头7与晶振水管6的下端连接，晶振水管6有两根，其中一根是冷水进水管、另一根是出水管，晶振水管6用于给晶振探头7降温，晶振探头7的下表面具有通孔71，设置在晶振探头7内的晶片72通过通孔71向下测量基片上的膜厚。
33.参见图4，轴承主体42的中部外侧套设有滚珠轴承43，轴承主体42能够相对于滚珠轴承43旋转，滚珠轴承43与套设在滚珠轴承43外的轴承固定法兰44连接，轴承固定法兰44与固定板9固定，固定板9设置在轴承主体42下端的上方，固定板9通过多个支柱与主腔体的上面板固定。所述固定板 9的直径大于齿轮2与从齿轮3的直径之和，使得齿轮2、从齿轮3和中空轴承4的外部不被镀膜。
34.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。