一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备的制作方法

1.本发明涉及半导体加工车间附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件；无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
3.半导体加工车间为净化车间，内部净化级别可达100
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10万级，在净化过程中，多采用除尘布袋对粉尘进行过滤收集，现有技术中，除尘布袋在进行拆卸时，需要将箱门打开，然后上半身进入到过滤箱内部，将除尘布袋拆下来，上述方式既使操作者的身体安全得不到保障，并且拆卸安装效率不高，因此提出一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备来解决上述问题。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本发明提供一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其结构简单，在箱门打开过程中，可自动将除尘布袋移动至箱体外部，增加了操作者的操作空间，使拆装更加方便，效率更高。
5.本发明的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，包括：
6.内部中空的箱体，箱体呈长方体状，箱体顶部连通有上转换器，上转换器上连通气体出口，箱体底部连通有下转换器，下转换器上连通排渣口，箱体上靠前一侧开设检修口，检修口处通过铰链转动安装有箱门；
7.箱体内左右两侧均设置有多级伸缩滑轨，多级伸缩滑轨的伸缩端固定连接有驱动架，驱动架上通过平行四边形连杆机构安装有带有若干通孔的升降板，每个升降孔处均安装有环体，环体上开设环形槽，环形槽处通过抱箍安装有除尘布袋，升降板远离箱门一侧固定连接支架，支架上转动安装有滚轮；
8.箱体内部横向固定连接有连接板，连接板中部开设出气口，出气口内壁固定连接用于抵住升降板的支撑环；
9.还包括驱动机构，所述驱动机构安装在箱体内部，用于箱门开闭时，使驱动架以及除尘布袋进行横向移动。
10.进一步地，所述平行四边形连杆机构包括四根相互平行的驱动杆，驱动杆一端与驱动架转动连接，驱动杆另一端与升降板转动连接。
11.进一步地，所述驱动机构包括与箱门固定连接的门型块，门型块固定安装在箱门内侧靠近铰链一端，箱体内壁开设滑槽，滑槽内滑动安装有滑块，滑块上固定连接动力板，
动力板一端固定连接驱动轴，动力板另一端转动连接有斜杆，斜杆另一端与门型块转动连接；
12.箱体内壁固定连接有支撑板，支撑板上转动安装有空心状的转轴，转轴上开设贯穿孔，贯穿孔包括位于两侧的第一水平段和第二水平段以及将第一水平段和第二水平段连接起来的螺旋段，第一水平段和第二水平段均与转轴轴线平行，螺旋段呈螺旋状，所述驱动轴穿过贯穿孔；
13.转轴上固定连接第一锥齿轮，箱体内后侧壁固定连接有固定板，固定板上转动安装有连接轴，连接轴一端固定连接有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，连接轴另一端固定连接有摆臂；
14.所述驱动架底部靠近摆臂一端固定连接有竖板，竖板上开设呈竖直状的长条孔，竖板远离连接轴的一端固定连接导向轴，导向轴上设置轴承，轴承外壁与长条孔内壁相切。
15.进一步地，所述升降板的顶部安装有第一密封圈，支撑环的底部安装与第一密封圈配合的第二密封圈。
16.进一步地，所述驱动架靠近滚轮一侧固定连接有第一l型杆，第一l型杆上螺纹连接有螺栓，并在螺栓上安装有螺母。
17.进一步地，所述连接板靠近箱门一侧固定连接有第二l型杆，第二l型杆另一端与升降板接触。
18.进一步地，所述箱门与检修口之间设置第三密封圈，并在箱门的外侧安装有呈u型的把手，同时在箱门以及箱体上安装扣手。
19.进一步地，所述连接轴与摆臂之间设置有用于防止两者发生相对旋转的键。
20.进一步地，所述支架以及滚轮均设置为两组。
21.进一步地，箱体上部连通反吹口，反吹口处于连接板上方，箱体下部连通气体进口。
22.与现有技术相比本发明的有益效果为：当需要对除尘布袋进行拆卸时，首先停机，随后打开箱门，在驱动机构的作用下，箱门在打开一定角度后，带动驱动架沿检修口向箱体外部移动，多级伸缩杆发生适应性伸展，驱动架向箱体外部移动过程中，在平行四边形连杆机构的作用下，首先使升降板以及其上的除尘布袋竖直向下移动，然后再随驱动架向箱体外侧移动，箱门打开一定角度使，除尘布袋完全移动至箱体外部，继续旋转箱门增加箱门开度，增大维修空间，相对于现有技术的方式来说，本装置在打开箱门过程中，即可实现将除尘布袋移动至箱体外部，起到方便对除尘布袋进行拆装的目的，同理，箱门在关闭过程中，驱动架带动升降板以及除尘布袋向箱体内侧移动，当滚轮与箱体内壁接触时，除尘布袋停止，继续向箱体内侧移动的驱动架使平行四边形连杆机构动作，使得升降板以及除尘布袋竖直向上移动至连接板的内侧，除尘布袋被固定。
附图说明
23.图1是本发明的结构示意图；
24.图2是本发明的右前侧俯视立体图；
25.图3是隐藏箱体、上转换器、下转换器后的左视图；
26.图4是图3右前侧俯视立体图；
27.图5是图3左前侧仰视立体图；
28.图6是图5中a部的局部放大图；
29.图7是环体和除尘布袋的爆炸图；
30.图8是连接轴、摆臂、导向轴、竖板和键的连接示意左视图；
31.图9是图3中驱动轴、转轴、第一水平段、第二水平段、螺旋段的右前侧仰视立体图；
32.附图中标记：1、下转换器；2、箱门；3、多级伸缩滑轨；4、驱动架；5、升降板；6、环体；7、除尘布袋；8、支架；9、滚轮；10、连接板；11、支撑环；12、驱动杆；13、门型块；14、滑块；15、动力板；16、驱动轴；17、斜杆；18、支撑板；19、转轴；20、第一水平段；21、第二水平段；22、螺旋段；23、第一锥齿轮；24、固定板；25、连接轴；26、第二锥齿轮；27、摆臂；28、竖板；29、导向轴；30、第一密封圈；31、第二密封圈；32、第一l型杆；33、第二l型杆；34、第三密封圈；35、键；36、反吹口；37、气体进口。
具体实施方式
33.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
34.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.如图1至图9所示，本发明的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，包括：
36.内部中空的箱体，箱体呈长方体状，箱体顶部连通有上转换器，上转换器上连通气体出口，箱体底部连通有下转换器1，下转换器1上连通排渣口，箱体上靠前一侧开设检修口，检修口处通过铰链转动安装有箱门2；
37.箱体内左右两侧均设置有多级伸缩滑轨3，多级伸缩滑轨3的伸缩端固定连接有驱动架4，驱动架4上通过平行四边形连杆机构安装有带有若干通孔的升降板5，每个升降孔处均安装有环体6，环体6上开设环形槽，环形槽处通过抱箍安装有除尘布袋7，升降板5远离箱门2一侧固定连接支架8，支架8上转动安装有滚轮9；
38.箱体内部横向固定连接有连接板10，连接板10中部开设出气口，出气口内壁固定连接用于抵住升降板5的支撑环11；
39.还包括驱动机构，所述驱动机构安装在箱体内部，用于箱门2开闭时，使驱动架4以及除尘布袋7进行横向移动。
40.在本实施例中，当需要对除尘布袋7进行拆卸时，首先停机，随后打开箱门2，在驱动机构的作用下，箱门2在打开一定角度后，带动驱动架4沿检修口向箱体外部移动，多级伸缩杆发生适应性伸展，驱动架4向箱体外部移动过程中，在平行四边形连杆机构的作用下，首先使升降板5以及其上的除尘布袋7竖直向下移动，然后再随驱动架4向箱体外侧移动，箱门2打开一定角度使，除尘布袋7完全移动至箱体外部，继续旋转箱门2增加箱门2开度，增大维修空间，相对于现有技术的方式来说，本装置在打开箱门2过程中，即可实现将除尘布袋7
移动至箱体外部，起到方便对除尘布袋7进行拆装的目的，同理，箱门2在关闭过程中，驱动架4带动升降板5以及除尘布袋7向箱体内侧移动，当滚轮9与箱体内壁接触时，除尘布袋7停止，继续向箱体内侧移动的驱动架4使平行四边形连杆机构动作，使得升降板5以及除尘布袋7竖直向上移动至连接板10的内侧，除尘布袋7被固定。
41.作为上述实施例的优选方案，如图3和5所示，所述平行四边形连杆机构包括四根相互平行的驱动杆12，驱动杆12一端与驱动架4转动连接，驱动杆12另一端与升降板5转动连接。
42.在本实施例中，在驱动架4向箱体内侧移动过程中，当滚轮9与箱体内壁接触时，升降板5不会继续横向移动，驱动架4继续向箱体内部移动过程中，由于驱动杆12的两端分别与升降板5和驱动架4转动连接，且四根驱动杆12相互平行，从而使得升降板5以及其上部件同时向上移动。
43.作为上述实施例的优选方案，如图3、4、5、6、8以及9所示，所述驱动机构包括与箱门2固定连接的门型块13，门型块13固定安装在箱门2内侧靠近铰链一端，箱体内壁开设滑槽，滑槽内滑动安装有滑块14，滑块14上固定连接动力板15，动力板15一端固定连接驱动轴16，动力板15另一端转动连接有斜杆17，斜杆17另一端与门型块13转动连接；
44.箱体内壁固定连接有支撑板18，支撑板18上转动安装有空心状的转轴19，转轴19上开设贯穿孔，贯穿孔包括位于两侧的第一水平段20和第二水平段21以及将第一水平段20和第二水平段21连接起来的螺旋段22，第一水平段20和第二水平段21均与转轴19轴线平行，螺旋段22呈螺旋状，所述驱动轴16穿过贯穿孔；
45.转轴19上固定连接第一锥齿轮23，箱体内后侧壁固定连接有固定板24，固定板24上转动安装有连接轴25，连接轴25一端固定连接有与第一锥齿轮23啮合的第二锥齿轮26，连接轴25另一端固定连接有摆臂27；
46.所述驱动架4底部靠近摆臂27一端固定连接有竖板28，竖板28上开设呈竖直状的长条孔，竖板28远离连接轴25的一端固定连接导向轴29，导向轴29上设置轴承，轴承外壁与长条孔内壁相切。
47.在本实施例中，当箱门2以铰链为轴进行打开时，带动门型块13同时进行移动，在斜杆17的拉拽下，使得滑块14以及与滑块14连接的动力板15和驱动轴16均沿滑槽向箱门2一侧进行移动，在支撑板18的支撑下，转轴19可自转，当驱动轴16经过贯穿孔的第一水平段20时，不对转轴19产生影响，当驱动轴16经过螺旋段22时，使转轴19以及第一锥齿轮23进行旋转，从而在固定板24和第二锥齿轮26的配合下，使摆臂27、导向轴29以及轴承均以连接轴25为轴进行旋转，又因为轴承与竖板28的长条孔内壁相切，从而以连接轴25为轴旋转的导向轴29使得竖板28、驱动架4等部件同时发生移动，从而实现驱动架4等部件的移动；当驱动轴16移动至第二水平段21时，横向移动的驱动轴16不对转轴19产生影响，在此过程中，箱门2开度增加。
48.作为上述实施例的优选方案，如图4所示，所述升降板5的顶部安装有第一密封圈30，支撑环11的底部安装与第一密封圈30配合的第二密封圈31。
49.在本实施例中，在箱门2关闭过程中，使得升降板5向上移动，从而使升降板5上的第一密封圈30与第二密封圈31发生紧贴，防止气体沿升降板5与支撑环11之间的缝隙流出，并且由于第一密封圈30是竖直向上移动与第二密封圈31贴紧的，使得第一密封圈30和第二
密封圈31之间的密封性更强。
50.作为上述实施例的优选方案，如图3、5、6所示，所述驱动架4靠近滚轮9一侧固定连接有第一l型杆32，第一l型杆32上螺纹连接有螺栓，并在螺栓上安装有螺母。
51.在本实施例中，通过调节螺栓穿过第一l型杆32的长度，来调节螺栓顶端与升降板5底部之间的距离，从而调节升降板5的下降高度，调节完毕后，旋紧螺母，防止螺栓位置变化。
52.作为上述实施例的优选方案，如图3所示，所述连接板10靠近箱门2一侧固定连接有第二l型杆33，第二l型杆33另一端与升降板5接触。
53.在本实施例中，当升降板5上升至最高处时，第二l型杆33将升降板5顶住，提高升降板5的稳定性。
54.作为上述实施例的优选方案，如图2所示，所述箱门2与检修口之间设置第三密封圈34，并在箱门2的外侧安装有呈u型的把手，同时在箱门2以及箱体上安装扣手。
55.在本实施例中，通过设置的第三密封圈34，在箱门2关闭后，防止气体沿箱门2与检修口之间的缝隙流出，箱门2关闭后，通过扣手将箱门2锁闭，提高密封性，握住把手来打开或者关闭箱门2，操作更加方便。
56.作为上述实施例的优选方案，如图8所示，所述连接轴25与摆臂27之间设置有用于防止两者发生相对旋转的键35。
57.在本实施例中，通过设置的键35，可防止连接轴25与摆臂27之间发生相对旋转。
58.作为上述实施例的优选方案，如图5所示，所述支架8以及滚轮9均设置为两组。
59.在本实施例中，支架8以及滚轮9均设置为两组，提高升降板5动作的流畅性。
60.作为上述实施例的优选方案，如图1所示，箱体上部连通反吹口36，反吹口36处于连接板10上方，箱体下部连通气体进口37。
61.在本实施例中，本装置正常使用时，将箱门2关闭，废气沿气体进口37进入到下转换器1内，随后向上流动穿过除尘布袋7，最后沿上转换器和气体出口流出，杂质被除尘布袋7拦截，需要清理时，气体进口37和气体出口关闭，通过反吹口36向箱体内部进气，使杂质脱离除尘布袋7沿排渣口流出。
62.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。