一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，包括：内部中空的箱体，箱体呈长方体状，箱体顶部连通有上转换器，上转换器上连通气体出口，箱体底部连通有下转换器(1)，下转换器(1)上连通排渣口，箱体上靠前一侧开设检修口，检修口处通过铰链转动安装有箱门(2)；箱体内左右两侧均设置有多级伸缩滑轨(3)，多级伸缩滑轨(3)的伸缩端固定连接有驱动架(4)，驱动架(4)上通过平行四边形连杆机构安装有带有若干通孔的升降板(5)，每个升降孔处均安装有环体(6)，环体(6)上开设环形槽，环形槽处通过抱箍安装有除尘布袋(7)，升降板(5)远离箱门(2)一侧固定连接支架(8)，支架(8)上转动安装有滚轮(9)；箱体内部横向固定连接有连接板(10)，连接板(10)中部开设出气口，出气口内壁固定连接用于抵住升降板(5)的支撑环(11)；还包括驱动机构，所述驱动机构安装在箱体内部，用于箱门(2)开闭时，使驱动架(4)以及除尘布袋(7)进行横向移动。2.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述平行四边形连杆机构包括四根相互平行的驱动杆(12)，驱动杆(12)一端与驱动架(4)转动连接，驱动杆(12)另一端与升降板(5)转动连接。3.如权利要求2所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述驱动机构包括与箱门(2)固定连接的门型块(13)，门型块(13)固定安装在箱门(2)内侧靠近铰链一端，箱体内壁开设滑槽，滑槽内滑动安装有滑块(14)，滑块(14)上固定连接动力板(15)，动力板(15)一端固定连接驱动轴(16)，动力板(15)另一端转动连接有斜杆(17)，斜杆(17)另一端与门型块(13)转动连接；箱体内壁固定连接有支撑板(18)，支撑板(18)上转动安装有空心状的转轴(19)，转轴(19)上开设贯穿孔，贯穿孔包括位于两侧的第一水平段(20)和第二水平段(21)以及将第一水平段(20)和第二水平段(21)连接起来的螺旋段(22)，第一水平段(20)和第二水平段(21)均与转轴(19)轴线平行，螺旋段(22)呈螺旋状，所述驱动轴(16)穿过贯穿孔；转轴(19)上固定连接第一锥齿轮(23)，箱体内后侧壁固定连接有固定板(24)，固定板(24)上转动安装有连接轴(25)，连接轴(25)一端固定连接有与第一锥齿轮(23)啮合的第二锥齿轮(26)，连接轴(25)另一端固定连接有摆臂(27)；所述驱动架(4)底部靠近摆臂(27)一端固定连接有竖板(28)，竖板(28)上开设呈竖直状的长条孔，竖板(28)远离连接轴(25)的一端固定连接导向轴(29)，导向轴(29)上设置轴承，轴承外壁与长条孔内壁相切。4.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述升降板(5)的顶部安装有第一密封圈(30)，支撑环(11)的底部安装与第一密封圈(30)配合的第二密封圈(31)。5.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述驱动架(4)靠近滚轮(9)一侧固定连接有第一l型杆(32)，第一l型杆(32)上螺纹连接有螺栓，并在螺栓上安装有螺母。6.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述连接板(10)靠近箱门(2)一侧固定连接有第二l型杆(33)，第二l型杆(33)另一端与升降板(5)接触。
7.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述箱门(2)与检修口之间设置第三密封圈(34)，并在箱门(2)的外侧安装有呈u型的把手，同时在箱门(2)以及箱体上安装扣手。8.如权利要求3所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述连接轴(25)与摆臂(27)之间设置有用于防止两者发生相对旋转的键(35)。9.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，所述支架(8)以及滚轮(9)均设置为两组。10.如权利要求1所述的一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其特征在于，箱体上部连通反吹口(36)，反吹口(36)处于连接板(10)上方，箱体下部连通气体进口(37)。

技术总结
本发明涉及半导体加工车间附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于半导体加工的制造车间智能洁净除尘设备，其结构简单，在箱门打开过程中，可自动将除尘布袋移动至箱体外部，增加了操作者的操作空间，使拆装更加方便，效率更高；包括：内部中空的箱体，箱体呈长方体状，箱体顶部连通有上转换器，上转换器上连通气体出口，箱体底部连通有下转换器，下转换器上连通排渣口，箱体上靠前一侧开设检修口，检修口处通过铰链转动安装有箱门；箱体内左右两侧均设置有多级伸缩滑轨，多级伸缩滑轨的伸缩端固定连接有驱动架，驱动架上通过平行四边形连杆机构安装有带有若干通孔的升降板，每个升降孔处均安装有环体，环体上开设环形槽。环体上开设环形槽。环体上开设环形槽。


技术研发人员：张弘强
受保护的技术使用者：张弘强
技术研发日：2022.07.13
技术公布日：2022/11/29