一种溅射与蒸镀混合镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种溅射与蒸镀混合镀膜设备。


背景技术：

2.镀膜的型态有许多种类，应用在光学聚酯材料之卷式镀膜,大多采用的方法是溅镀与蒸镀，溅镀采用高电压低电流，而蒸镀一般都是高电流低电压设计，前者由惰性气体原子撞击靶材产生原子或合金团镀著于被镀物pet上，后者以蒸发的方式将原子镀著于pet上，两者机制不同，镀膜速度也差异相当大，因此仅有纯元素或是溶点接近的非金属材料有其镀膜需求，一般商业采用蒸镀居多，如包装应用镀铝膜，显示屏应用之oled等，在光学膜上蒸镀应用非常普遍，而溅镀则是具有精密厚度需求，其特色除了纯元素金属材料外，在靶材材料中能放置合金材料，非金属材料等，产业应用上如导电玻璃ito，多层堆积的光学截止膜等领域。
3.在背光模组上使用银膜具有高反射率的优点，但相对环境而言，银是非常受环境影响容易产生氧化，多数商业模式采用的是蒸镀机镀膜方式，在聚酯膜上镀银的效率比起溅镀速度高达数倍至10数倍，并且设备较便宜，在成本考量下，蒸镀机就成了大部分光学聚酯镀膜的选择，为了避免银的氧化，在文献常见银合金的研究，其中最具代表性的银河金apc就经常被提及，精工爱普生株式会社在cn1499249a中提到apc合金(ag-pd-cu)有助于提高反射并且耐氧化，在lee,w.h.,cho,b.s.,&kang,b.j.(n.d.).enhancedpropertiesofagalloyfilmsforadvancedtft-lcd’s.journalofthekoreanphysicalsociety,40(1),110
–
114中提到在银中渗杂0.9at％pd与1.7at％cu能具有很高的耐候特性。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种溅射与蒸镀混合镀膜设备，在两个蒸发镀膜机组之间添加一个溅射镀膜机，可在蒸镀同时，将pd-cu合金材料打入蒸镀银上。
5.本实用新型的技术方案如下：
6.一种溅射与蒸镀混合镀膜设备，包括：
7.传送机构，用于传送基膜；
8.冷却辊筒，位于基膜传送路径上，基膜传送经过该冷却辊筒，用于冷却镀膜后的基膜；
9.镀膜机构，对应所述冷却辊筒设置，用于在基膜上镀ag-pd-cu膜，基膜在冷却辊筒与镀膜机构之间进行传送；
10.所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜机组、溅射镀膜机和第二蒸发镀膜机组，所述第一蒸发镀膜机组、溅射镀膜机、第二蒸发镀膜机组沿着基膜传送路径依次分布，所述第一蒸发镀膜机组、第二发镀膜机组用于蒸镀银，所述溅射镀膜机用于在第一蒸发镀膜机组和第二发镀膜机组蒸镀的同时将pd-cu合金材料打入蒸镀银上。
11.其中，所述溅射镀膜机的镀膜端口为长度800mm、宽度48mm的矩形端口。
12.其中，所述第一蒸发镀膜机组由两个沿着所述溅射镀膜机的长度方向间隔分布的蒸发镀膜机组成，所述第二蒸发镀膜机组由三个沿着所述溅射镀膜机的长度方向间隔分布的蒸发镀膜机组成，所述蒸发镀膜机的镀膜端口为直径110mm的圆形端口。
13.其中，所述蒸发镀膜机的蒸镀电压电流为38v/400a，机速为18m/m，所述溅射镀膜机的溅镀电压电流为800v/0.64a。
14.其中，所述传送机构包括：
15.放卷辊筒，用于放送基膜；
16.放卷辊组，设置在所述放卷辊筒与冷却辊筒之间，用于传送基膜；
17.收卷辊筒，用于收卷镀膜后的基膜；
18.收卷辊组，设置在所述冷却滚筒与收卷辊筒之间，用于传送基膜。
19.其中，所述放卷辊组和收卷辊组均由两个沿着基膜传送路径间隔分布的传送辊组成。
20.相对于现有技术，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的镀膜机构由第一蒸发镀膜机组、溅射镀膜机和第二蒸发镀膜机组依次组成，溅射镀膜机可在第一蒸发镀膜机组和第二发镀膜机组蒸镀的同时将pd-cu合金材料打入蒸镀银上，所形成的ag-pd-cu膜能支撑长时间不氧化，耐候特性佳。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型提供的一种溅射与蒸镀混合镀膜设备的结构示意图；
23.图2为本实用新型所述镀膜机构的结构示意图；
24.图3为本实用新型所述蒸发镀膜机和溅射镀膜机的分布示意图。
具体实施方式
25.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.为了说明本实用新型所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
27.实施例
28.请参阅图1，本实施例提供一种溅射与蒸镀混合镀膜设备，包括传送机构、冷却辊筒2和镀膜机构。
29.所述传送机构用于传送基膜10，其包括放卷辊筒11、放卷辊组、收卷辊筒13和收卷辊组。放卷辊筒11用于放送基膜；放卷辊组设置在放卷辊筒11与冷却辊筒2之间，其由两个沿着基膜10传送路径间隔分布的传送辊12组成，用于传送基膜10；收卷辊筒13用于收卷镀膜后的基膜10；收卷辊组设置在冷却滚筒2与收卷辊筒之间，其由两个沿着基膜10传送路径
间隔分布的传送辊12组成，用于传送基膜10。
30.所述冷却辊筒2位于基膜10传送路径上，基膜10传送经过该冷却辊筒2，用于冷却镀膜后的基膜10。
31.所述镀膜机构对应冷却辊筒2设置，用于在基膜10上镀ag-pd-cu膜，基膜10在冷却辊筒2与镀膜机构之间进行传送，其包括第一蒸发镀膜机组 31、溅射镀膜机32和第二蒸发镀膜机组33，第一蒸发镀膜机组31、溅射镀膜机32、第二蒸发镀膜机组33沿着基膜10传送路径依次分布。第一蒸发镀膜机组31、第二发镀膜机组33用于蒸镀银，如图2所示，第一蒸发镀膜机组31由两个沿着溅射镀膜机32的长度方向间隔分布的蒸发镀膜机组成，第二蒸发镀膜机组33由三个沿着溅射镀膜机32的长度方向间隔分布的蒸发镀膜机组成；溅射镀膜机32用于在第一蒸发镀膜机组31和第二发镀膜机组33蒸镀的同时将pd-cu合金材料打入蒸镀银上。如图3所示，所述蒸发镀膜机的镀膜端口为直径110mm的圆形端口，所述溅射镀膜机32 的镀膜端口为长度800mm、宽度48mm的矩形端口。
32.实施时，所述蒸发镀膜机的蒸镀电压电流设置为38v/400a，机速设置为18m/m，所述溅射镀膜机32的溅镀电压电流设置为800v/0.64a，溅射镀膜机32的pd-cu合金材料中pd-cu比例为34.6:65.4at％，厚度3mm薄片与石墨片复合，所形成的ag-pd-cu膜经eds半定量分析，pd占有0.63wt％， cu占有0.8wt％，其余为ag，测试400-750nm可见光平均反射率为96.5％，在550nm位置为98.6％。
33.对比例1
34.所述溅射镀膜机为溅镀al，溅射镀膜机的溅镀电压电流设置为 640v/0.55a，蒸发镀膜机的蒸镀电压电流设置为38v/400a，机速设置为 18m/m，溅射镀膜机和蒸发镀膜机的功率分别为0.352kw及15.2kw，所形成的ag-al膜经eds半定量分析，al占有0.5wt％，测试400～750nm可见光平均反射率为89％，在550nm位置为92.5％。
35.对比例2
36.所述溅射镀膜机为溅镀cu，溅射镀膜机的溅镀电压电流设置为 560v/0.4a，蒸发镀膜机的蒸镀电压电流设置为38v/400a，机速设置为 25m/m，溅射镀膜机和蒸发镀膜机的功率分别为0.224kw及15.2kw，所形成的ag-cu膜经eds半定量分析，cu占有2.3wt％，测试400～750nm可见光平均反射率为94％,在550nm位置为94.2％。
37.将实施例所形成的ag-pd-cu膜与对比例1所形成ag-al膜和对比例2 所形成的ag-cu膜及蒸镀纯银膜进行对比。
38.实验表明：采用gb/t 37382-2019光学功能薄膜液晶显示背光模组用薄膜高温高湿老化性能测试方法，纯银膜不到30分钟即开始氧化，ag-al膜在1小时也发生氧化，ag-cu膜在1.5小时产生氧化，而ag-pd-cu膜能支撑4小时不氧化；采用聚氨酯1.5微米涂覆保护测试方法，并且在pet镀膜前采用sio2阻水膜测试确保pet测试不受影响，纯银膜可支撑120hr不氧化，ag-al膜和ag-cu膜分别为150hr及200hr不氧化，而ag-pd-cu膜则能支撑超过500hr不氧化。
39.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。