一种MOCVD过滤器及尾气处理系统的制作方法

一种mocvd过滤器及尾气处理系统
技术领域
1.本实用新型涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种mocvd过滤器及尾气处理系统。


背景技术：

2.mocvd是指金属有机化学气相沉积工艺(metal-organic chemical vapordeposition),以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
ⅲ‑
v主族、
ⅱ‑ⅵ
副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶或者多晶材料。通常mocvd工艺大部分都涉及到使用有毒材料、易燃易爆材料或腐蚀性原材料，有些物质分解后会在mocvd的真空反应腔室内或真空排气管道内产生大量沉积，因此，对mocvd工艺反应的尾气进行过滤尤为重要。
3.目前比较常见的mocvd工艺反应的尾气过滤器为多根小滤芯并联，尾气由滤芯外部向内部流动，副产物残留在滤芯外部，但是，过滤滤芯由于滤芯匝数少导致过滤面积小，寿命短；其次，过滤滤芯侧边无支撑拆装时易变形，导致密封效果差，过滤效果差，最后，过滤滤芯外壁会残留副产物，副产物一般为有毒材料、易燃易爆材料或腐蚀性原材料，更换过程中易产生安全隐患。
4.因此，现有的mocvd过滤器普遍存在滤芯匝数少、易变形以及外壁会残留副产物，导致滤芯寿命短、密封效果差及存在安全隐患的技术问题。


技术实现要素：

5.针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于一种mocvd过滤器及尾气处理系统，旨在解决现有技术中滤芯匝数少、易变形以及外壁会残留副产物，导致滤芯寿命短、密封效果差及存在安全隐患的技术问题。
6.本实用新型的一方面在于提供一种mocvd过滤器，所述mocvd过滤器包括：
7.第一壳体、第二壳体以及设于所述第一壳体与所述第二壳体之间的滤芯；
8.所述滤芯包括金属网以及被所述金属网包裹的滤材，所述金属网和所述滤材均为折叠型结构；
9.所述第一壳体的边缘于靠近所述滤芯一侧设有第一凹槽，所述第一壳体中部贯穿设有通孔，所述第一壳体于所述通孔朝向远离所述滤芯的一侧延伸出一进气管，用于尾气通过所述进气管进气进行过滤；
10.所述第二壳体的边缘于靠近所述滤芯一侧设有第二凹槽，所述第一凹槽以及所述第二凹槽分别卡接所述滤芯的两端以固定所述滤芯。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型提供的 mocvd过滤器，通过金属网包裹滤材以固定滤材，装卸时不易变形，密封效果好，过滤效果好，同时，金属网和滤材均为折叠型结构，过滤面积增大，滤芯匝数多，延长mocvd过滤器的寿命，进气管将会收集副产物，减少副产物残留于滤芯中，增加滤芯的寿命，避免尾气由滤芯外部向内部流动，副产物残留在滤芯外部，导致更换时产生安全隐患。进气管卡接于mocvd设备内，密
封效果良好，避免尾气泄露，导致mocvd过滤器过滤效果差，从而解决了现有技术中滤芯匝数少、易变形以及外壁会残留副产物，导致滤芯寿命短、密封效果差及存在安全隐患的技术问题。
12.根据上述技术方案的一方面，所述滤芯呈筒状设置，所述金属网包括第一金属网以及第二金属网，所述第一金属网包裹所述滤材的内壁，所述第二金属网包裹所述滤材的外壁。
13.根据上述技术方案的一方面，所述进气管包括第一进气部及与所述第一进气部连接的第二进气部，所述第一进气部连接所述第一壳体，所述第二进气部的直径自靠近所述第一进气部的一侧至远离所述第一进气部的一侧逐渐变小。
14.根据上述技术方案的一方面，所述第二进气部上套设有一密封件。
15.根据上述技术方案的一方面，所述第二壳体朝向所述滤芯的一侧设有用于对所述滤芯进行定位的定位件，所述滤芯朝向所述第二壳体的一侧设有用于匹配所述定位件的定位凹槽。
16.根据上述技术方案的一方面，所述定位件包括第一定位部及与所述第一定位部交叉连接的第二定位部，所述第一定位部与所述第二定位部的两端分别卡入所述滤芯侧面的定位凹槽内。
17.根据上述技术方案的一方面，所述金属网与所述滤材形成折叠状的折数为 20-100。
18.根据上述技术方案的一方面，所述第二壳体于远离所述滤芯的一侧设有手持件。
19.根据上述技术方案的一方面，所述滤材的材质包括玻璃纤维、金属丝、pp 棉以及聚氯乙烯种的一种或任意组合。
20.本实用新型的另一方面在于提供一种尾气处理系统，该尾气处理系统包括上述技术方案中的mocvd过滤器。
附图说明
21.本实用新型的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：
22.图1为本实用新型第一实施例中mocvd过滤器第一视角的结构示意图；
23.图2为本实用新型第一实施例中mocvd过滤器第二视角的结构示意图；
24.图3为本实用新型第一实施例中第一壳体的结构示意图；
25.图4为本实用新型第一实施例中滤芯的结构示意图；
26.图5为本实用新型第一实施例中第二壳体的结构示意图；
27.附图元器件符号说明：
28.第一壳体10，第一凹槽11，通孔12，进气管13，滤芯20，金属网21，滤材22，定位凹槽23，第二壳体30，第二凹槽31，第一定位部32，第二定位部 33，手持件34，密封件40，第一进气部130，第二进气部131，第一金属网210，第二金属网211。
具体实施方式
29.为使本实用新型的目的、特征与优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用
新型的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
30.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造与操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
31.在本实用新型中，除非另有明确的规定与限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的与所有的组合。
32.请参阅图1-图4，所示为本实用新型第一实施例提供的一种mocvd过滤器，该mocvd过滤器包括第一壳体10、第二壳体30以及设于第一壳体10与第二壳体30之间的滤芯20，第一壳体10的边缘于靠近滤芯20一侧设有第一凹槽11，第一凹槽11卡接滤芯20的一端，以将滤芯20固定于第一壳体10上，对滤芯20以及第一壳体10限位。第一壳体10于远离滤芯20的一侧延伸出一进气管13，该进气管13位于第一壳体10的中部，第一壳体10中部贯穿设有通孔12，该通孔12的形状为圆形，第一壳体10于通孔12朝向远离滤芯20的一侧延伸出一进气管13，该进气管13用于尾气经过进气管13进气进行过滤；该进气管13与第一壳体10为一体成型，防止进气管13与第一壳体10组装成型，导致进气管13与第一壳体10之间存在间隙，密封性差。其次，mocvd过滤器通过进气管13插入mocvd设备中，通过该进气管13卡接于mocvd设备中，对mocvd过滤器有固定限位作用，最后，该进气管13可将副产物沉积于进气管13内壁处，减少副产物沉积于滤芯20中，增加滤芯20的寿命；同时避免尾气由滤芯20外部向内部流动，副产物残留在滤芯20外部，导致更换时产生安全隐患。该进气管13的材质为不锈钢材质，不锈钢材质耐热以及耐高温，能耐受mocvd高温反应，同时，不锈钢材质耐化学腐蚀和电化学腐蚀性能优异，能耐受mocvd各种化学物的反应。
33.需要说明的是，进气管13的长度为4.5-8cm，进气管13的长度过短，该进气管13卡接不牢固，mocvd过滤器不稳固，影响过滤效果，同时进气管13 过短，入口出将会沉积过多副产物，造成进气管13堵塞。当进气管13的长度过长，制作成本将会上升，增加mocvd工艺的成本。
34.其中，尾气从进气管13进入，经过滤芯20过滤出来，进气管13包括第一进气部130以及与第一进气部130连接的第二进气部131，第一进气部130的形状为圆环形，其与第一壳体10连接，第二进气部131的直径自靠近第一进气部 130的一侧至远离第一进气部130的一侧逐渐变小，有利于将mocvd过滤器顺利插入mocvd设备中，避免mocvd过滤器需要耗时对准插入mocvd设备中。第二进气部131上套设有一密封件40，以使进气管13与mocvd设备卡接时起到密封作用，防止尾气泄露，导致mocvd过滤器过滤效果差，该密封件40为一密封圈，材质为橡胶材质，其可耐高温，可耐受mocvd工艺的高温反应。
35.第一壳体10与第二壳体30之间设有滤芯20，该滤芯20呈筒状设置，其包括金属网21以及被金属网21包裹的滤材22，金属网21包括第一金属网210以及第二金属网211，第一金属网210包裹滤材22的内壁，第二金属网211包裹滤材22的外壁，以固定滤材22，以使滤材22不易变形，增加mocvd过滤器的寿命，避免滤材22无金属网21支撑，滤材22无法保持固定的形状，过滤效果差。该滤材22与金属网21均为折叠型结构，金属网21与滤材22形成折叠状的折数为20-100，以增大mocvd过滤器的过滤面积，提高mocvd过滤器的过滤效果。而且，副产物会少量残留至滤芯20内部，滤芯20外部不会有副产物残留，更换过程安全。滤材22的材质包括玻璃纤维、金属丝、pp棉以及聚氯乙烯中的一种或任意组合，能过滤mocvd工艺的尾气，该滤芯20于朝向第二壳体30的一侧设有用于匹配定位件的定位凹槽23，第二壳体30的定位件卡接于该定位凹槽23内，以进一步固定滤芯20。
36.其中，第二壳体30的边缘于靠近滤芯20的一侧设有第二凹槽31，第一壳体10的第一凹槽11以及第二壳体30的第二凹槽31分别卡接于滤芯20的两端，以固定滤芯20。第二壳体30的形状为圆形，第二壳体30朝向滤芯20的一侧设有用于对滤芯20进行定位的定位件，该定位件包括第一定位部32及与第一定位部32交叉连接的第二定位部33，以用于进一步固定滤芯20，第一定位部32 和第一定位部33的形状结构相同，都是长条形，第一定位部32与第二定位部 33相互垂直，以均匀固定滤芯20，滤芯20的定位凹槽23与第一定位部32及第二定位部33的两端一一对应，第一定位部32与第二定位部33的两端分别卡入滤芯20侧面的定位凹槽23内，以进一步固定限位滤芯20。
37.另外，第二壳体30于远离滤芯20的一侧设有一手持件34，以便于mocvd 过滤器的装卸与维修。
38.相比于现有技术，本实施例提供的mocvd过滤器，有益效果在于：通过本实用新型提供的mocvd过滤器，通过金属网包裹滤材以固定滤材，装卸时不易变形，密封效果好，过滤效果好，同时，金属网和滤材均为折叠型结构，过滤面积增大，滤芯匝数多，延长mocvd过滤器的寿命，进气管将会收集副产物，减少副产物残留于滤芯中，增加滤芯的寿命，避免尾气由滤芯外部向内部流动，副产物残留在滤芯外部，导致更换时产生安全隐患。进气管卡接于 mocvd设备内，密封效果良好，避免尾气泄露，导致mocvd过滤器过滤效果差，从而解决了现有技术中滤芯匝数少、易变形以及外壁会残留副产物，导致滤芯寿命短、密封效果差及存在安全隐患的技术问题。
39.本实用新型的第二实施例提供了一种尾气处理系统，该尾气处理系统包括上述实施例当中的mocvd过滤器。
40.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
41.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体与详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形与改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。