调焦调平测量装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻领域，特别涉及一种调焦调平测量装置。


背景技术：

2.在投影光刻装置中，通常使用调焦调平测量装置来实现对硅片特定区域进行高度和倾斜度等参数的测量。但是，在光刻工作中，光刻胶的挥发会污染靠近硅片的反射镜，导致测量重复性下降。
3.因此，如何保护反射镜不被光刻胶污染，以避免测量重复性下降成为亟须解决的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种调焦调平测量装置，使得能够避免反射镜被光刻胶污染，进而避免测量重复性下降。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种调焦调平测量装置，包括投影单元和探测单元，所述投影单元和所述探测单元均包括反射镜以及用于安装所述反射镜的第一安装座，所述第一安装座设置于所述反射镜的边缘；所述调焦调平测量装置还包括：
6.保护单元，包括玻璃窗片以及用于安装所述玻璃窗片的第二安装座，所述第二安装座设置于所述玻璃窗片的边缘，所述第二安装座安装于所述第一安装座上，且所述玻璃窗片与所述反射镜贴合。
7.可选地，所述保护单元还包括紧固组件，所述紧固组件用于将所述玻璃窗片安装于所述第二安装座上。
8.可选地，所述第二安装座上设置有多个螺孔；
9.所述紧固组件包括至少两个第一塑料顶丝和至少两个挡片，至少两个所述第一塑料顶丝拧入位于所述第二安装座两端的螺孔后抵住所述玻璃窗片的第一面，至少两个所述挡片通过螺钉拧入位于所述第二安装座两端的螺孔后抵住所述玻璃窗片的第二面；
10.其中，所述第一面与所述第二面为相对的面，所述第二面与所述反射镜贴合。
11.可选地，所述紧固组件还包括至少一个第二塑料顶丝，至少一个所述第二塑料顶丝拧入位于所述第二安装座侧面的螺孔后抵住所述玻璃窗片的侧面。
12.可选地，所述玻璃窗片的形状为t形。
13.可选地，所述第一塑料顶丝和所述挡片分别抵住t形的“—”部位的所述第一面和所述第二面，所述第二塑料顶丝抵住t形的“|”部位的侧面。
14.可选地，所述第一安装座和所述第二安装座上均设置有至少两个定位孔，所述定位孔中穿入定位销。
15.可选地，所述第二安装座通过至少两个固定螺钉安装于所述第一安装座上。
16.可选地，所述调焦调平测量装置还包括第一密封盖，用于密封所述第一安装座与所述投影单元和探测单元中的主体部件之间的间隙。
17.可选地，所述调焦调平测量装置还包括第二密封盖，用于密封所述第二安装座与所述投影单元和探测单元中的主体部件之间的间隙。
18.可选地，所述保护单元设置于所述投影单元的出光口和所述探测单元的入光口。
19.与现有技术相比，本实用新型的调焦调平测量装置，包括：投影单元和探测单元，所述投影单元和所述探测单元均包括反射镜以及用于安装所述反射镜的第一安装座，所述第一安装座设置于所述反射镜的边缘；保护单元，包括玻璃窗片以及用于安装所述玻璃窗片的第二安装座，所述第二安装座设置于所述玻璃窗片的边缘，所述第二安装座安装于所述第一安装座上，且所述玻璃窗片与所述反射镜贴合，使得能够避免反射镜被光刻胶污染，进而避免测量重复性下降。
附图说明
20.图1a～图1b是本实用新型一实施例的保护单元的结构示意图；
21.图2是本实用新型一实施例的玻璃窗片的结构示意图；
22.图3是本实用新型一实施例的保护单元与反射镜安装示意图；
23.图4是本实用新型一实施例的保护单元和反射镜与主体部件的安装示意图。
24.其中，附图1a～图4的附图标记说明如下：
25.11-反射镜；12-第一安装座；21-玻璃窗片；211
‑“
—”部位；212
‑“
|”部位；22-第二安装座；23-第一塑料顶丝；24-挡片；241-螺钉；25-第二塑料顶丝；31-定位销；32-固定螺钉；33-第一密封盖；331-第一间隙；34-第二密封盖；341-第二间隙。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下对本实用新型提出的调焦调平测量装置作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
27.本实用新型一实施例提供一种调焦调平测量装置，包括：投影单元和探测单元，所述投影单元和所述探测单元均包括反射镜以及用于安装所述反射镜的第一安装座，所述第一安装座设置于所述反射镜的边缘；保护单元，包括玻璃窗片以及用于安装所述玻璃窗片的第二安装座，所述第二安装座设置于所述玻璃窗片的边缘，所述第二安装座安装于所述第一安装座上，且所述玻璃窗片与所述反射镜贴合。
28.下面参阅图1a至图4对所述调焦调平测量装置进行详细说明。其中，图1a和图1b是保护单元的不同角度的视图，图2所示的为玻璃窗片的正视图(左图)和侧视图(右图)；图1a～图1b和图3中均建立坐标系，x轴方向和y轴方向构成水平面，且x轴方向平行于玻璃窗片21，y轴方向垂直于玻璃窗片21，z轴方向为竖直方向。
29.所述投影单元和所述探测单元设置于一投影物镜(未图示)的两侧，所述投影物镜下方设置有承载台(未图示)和设置于承载台上的待测量的基底(未图示)。
30.采用调焦调平测量装置对基底特定区域进行高度和倾斜度等参数进行测量时，光源出射的光经所述投影单元中的反射镜反射后投射至所述投影物镜下方的基底上，从所述基底反射的光入射至所述探测单元中的反射镜后，被反射至所述探测单元中的其他部件(例如探测狭缝)，以完成测量。
31.由于所述投影单元和所述探测单元所处的位置很靠近所述基底，当光刻机对所述基底执行光刻工艺时，光刻胶会挥发至所述投影单元和所述探测单元中的反射镜表面，导致反射镜被污染，从而导致照明均匀性和照明能量降低，且引入杂散光，进而导致对所述基底的参数的测量重复性下降。
32.目前，现有的调焦调平测量装置中，保护单元中的玻璃窗片与所述投影单元和所述探测单元中的反射镜之间存在间隙，导致无法保证反射镜不被光刻胶污染。
33.因此，本实施例对所述调焦调平测量装置进行改进。
34.所述投影单元和所述探测单元均包括反射镜11以及用于安装所述反射镜11的第一安装座12，所述第一安装座12设置于所述反射镜11的边缘，以减少对所述反射镜11的反射面的遮挡。
35.其中，所述反射镜11的边缘可以插入所述第一安装座12中，再采用塑料螺钉等部件将所述反射镜11固定于所述第一安装座12中。
36.所述投影单元的出光口和所述探测单元的入光口均设置所述保护单元，以使得所述投影单元和所述探测单元中的反射镜11均得到保护。
37.所述保护单元包括玻璃窗片21以及用于安装所述玻璃窗片21的第二安装座22，所述第二安装座22设置于所述玻璃窗片21的边缘，以减少对所述玻璃窗片21的透光面的遮挡。
38.所述第二安装座22为能够固定所述玻璃窗片21边缘的框架结构，且框架结构可以至少三面固定所述玻璃窗片21，图1a～图1b中所示的所述第二安装座22能够三面固定所述玻璃窗片21，即能够固定所述玻璃窗片21的顶面和两个侧面。
39.所述保护单元还包括紧固组件，所述紧固组件用于将所述玻璃窗片21安装于所述第二安装座22上。需要说明的是，所紧固组件在将所述玻璃窗片21固定于所述第二安装座22上时，需要不能损坏所述玻璃窗片21的表面，其中，可以通过选用合适材料的所述紧固组件以及合适的紧固程度来实现。
40.所述第二安装座22上设置有多个螺孔(未图示)，多个所述螺孔均匀设置于所述第二安装座22的两端。
41.所述紧固组件包括至少两个第一塑料顶丝23、至少两个挡片24和至少一个第二塑料顶丝25。
42.在将所述玻璃窗片21安装于所述第二安装座22中时，先将至少两个所述第一塑料顶丝23沿y轴的负方向拧入位于所述第二安装座22两端的螺孔中；然后，将所述玻璃窗片21沿y轴的正方向放入所述第二安装座22中，拧入螺孔中的所述第一塑料顶丝23抵住所述玻璃窗片21的第一面的边缘；然后，在所述玻璃窗片21的第二面的边缘放置至少两个所述挡片24，并采用螺钉241沿y轴的正方向拧入所述挡片24中的螺孔和位于所述第二安装座22两端的螺孔后，所述挡片24抵住所述玻璃窗片21的第二面，所述第一面与所述第二面为相对的面；然后，将至少一个所述第二塑料顶丝25拧入位于所述第二安装座22侧面的螺孔后抵住所述玻璃窗片21的侧面。
43.在图1a和图1b所示的实施例中，两个所述第一塑料顶丝23沿y轴的负方向分别拧入位于所述第二安装座22两端的螺孔中后抵住所述玻璃窗片21的第一面的边缘，所述玻璃窗片21的第二面的边缘两端分别放置一个所述挡片24，从所述第二安装座22的一个侧面沿
x轴的负方向拧入一个所述第二塑料顶丝25抵住所述玻璃窗片21的一个侧面，所述玻璃窗片21的另一个侧面抵住所述第二安装座22。
44.优选的，所述玻璃窗片21的形状为t形，如图2所示，t形的所述玻璃窗片21包含“—”部位211和“|”部位212。
45.所述第一塑料顶丝23和所述挡片24分别抵住t形的“—”部位211的所述第一面的边缘和所述第二面的边缘，所述第二塑料顶丝25抵住t形的“|”部位212的侧面。
46.因此，所述玻璃窗片21在y轴方向上受到所述第一塑料顶丝23和所述挡片24的限位，所述玻璃窗片21在x轴方向上受到所述第二塑料顶丝25和所述第二安装座22的限位，使得所述玻璃窗片21被牢固的安装于所述第二安装座22中，确保了所述保护单元在整体安装或者更换时的安全性与可靠性。
47.所述第二安装座22安装于所述第一安装座12上。
48.所述第一安装座12和所述第二安装座22上均设置有至少两个定位孔(未图示)，其中，至少两个所述定位孔可以均设置于所述第一安装座12和所述第二安装座22的两端。
49.在将所述第二安装座22安装于所述第一安装座12上时，先采用定位销31依次穿过所述第一安装座12上的定位孔和所述第二安装座22上的定位孔，以确定所述第一安装座12和所述第二安装座22之间的位置关系；然后，采用至少两个固定螺钉32拧入所述第一安装座12和所述第二安装座22中的螺孔，以将所述第二安装座22安装于所述第一安装座12上；然后，拧紧所有的所述第一塑料顶丝23，以使得所述玻璃窗片21与所述反射镜11完全贴合。其中，所述玻璃窗片21的第二面与所述反射镜11贴合。
50.如图4所示，由于所述玻璃窗片21与所述反射镜11完全贴合，所述玻璃窗片21与所述反射镜11之间不存在间隙，使得光刻胶无法挥发至所述反射镜11的表面造成污染(图4中的虚线箭头所指方向为光刻胶的挥发方向)，从而避免导致照明均匀性和照明能量降低以及避免引入杂散光，进而避免导致对所述基底的参数的测量重复性下降。
51.另外，所述调焦调平测量装置还包括第一密封盖33，用于密封所述第一安装座12与所述投影单元和探测单元中的主体部件之间的第一间隙331。
52.所述调焦调平测量装置还包括第二密封盖34，用于密封所述第二安装座22与所述投影单元和探测单元中的主体部件之间的第二间隙341(为了便于理解，图4中的第二间隙341采用虚线框标出)。
53.通过设置所述第一密封盖33和所述第二密封盖34，能够避免光刻胶通过所述第一间隙331和所述第二间隙341挥发至光路中，从而进一步避免导致对所述基底的参数的测量重复性下降。
54.其中，所述投影单元中的主体部件可以为镜头和透镜组件等，所述探测单元中的主体部件可以包括镜头和探测器等。
55.另外，当所述玻璃窗片21需要更换时，只需松开所述固定螺钉32，将所述保护单元整体从所述第一安装座12上移除，拆装过程简单，调焦调平分系统在整机中的工位无需改变，提升了运维的效率与工艺性。
56.综上所述，本实用新型提供的调焦调平测量装置，包括：投影单元和探测单元，所述投影单元和所述探测单元均包括反射镜以及用于安装所述反射镜的第一安装座，所述第一安装座设置于所述反射镜的边缘；保护单元，包括玻璃窗片以及用于安装所述玻璃窗片
的第二安装座，所述第二安装座设置于所述玻璃窗片的边缘，所述第二安装座安装于所述第一安装座上，且所述玻璃窗片与所述反射镜贴合，使得能够避免反射镜被光刻胶污染，进而避免测量重复性下降。
57.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。