MLCC高速精密全自动薄膜流延机的制作方法

mlcc高速精密全自动薄膜流延机
技术领域
1.本发明涉及全自动薄膜流延机技术领域，尤其是涉及一种mlcc高速精密 全自动薄膜流延机。


背景技术：

2.多层片式陶瓷电容器(multi-layer ceramic capacitor，mlcc)，简称片式电 容器，是由印好电极(内电极)的陶瓷介质膜片以错位的方式叠合起来，经过 一次性高温烧结形成陶瓷芯片，再在芯片的两端封上金属层(外电极)，从而 形成一个类似独石的结构体，故也叫独石电容器。
3.随着多层片式陶瓷电容产品可靠性和集成度的提高，其使用的范围越来越 广，广泛地应用于各种军民用电子整机和电子设备，如程控交换机、it产品(手 机、个人电脑、数字电视等)、存储器模块、调谐器、军事用设备、医疗设备、 航空器、汽车、精密的测试仪器、雷达通信等。
4.近年来，为了智能手机等便携式通信设备、平板电脑、笔记本电脑、智能 电视等的小型化以及电子设备的高性能而将形成mlcc的薄膜片的厚度制作至 超薄膜即1.5μm以下而进行层叠。不同的产品对mlcc薄膜片的厚度要求不同。
5.然而，现有mlcc薄膜流延机很难精确控制mlcc薄膜的厚度。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种mlcc高速精密全自动薄膜流延机，旨在解决 现有的mlcc薄膜流延机难以精确控制mlcc薄膜厚度的技术问题。
7.为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种mlcc高速精密全自动 薄膜流延机，用于在基材的表面涂布浆料，包括导料装置、以及沿所述基材的 前进方向依次设置的送料装置、涂布装置、烘干装置和集料装置；
8.所述导料装置分别设于所述送料装置和所述涂布装置之间、所述涂布装置 和所述烘干装置之间、以及所述烘干装置和所述集料装置之间；
9.所述送料装置用于放置待加工料卷并将待加工料卷中的待加工基材释放；
10.所述涂布装置包括涂布支架、厚度调节机构和涂布模头，所述厚度调节机 构包括安装于所述涂布支架的间隙调节驱动件和可转动安装于所述涂布支架、 且平行设置的两个涂布辊，所述间隙调节驱动件与所述涂布辊连接、以调节两 个所述涂布辊之间的间隙，所述涂布模头安装于所述涂布支架，所述涂布模头 用于对所述涂布辊输送的所述基材进行涂覆浆料；
11.所述烘干装置用于将涂覆有浆料的所述基材烘干；
12.所述集料装置用于将烘干后的所述基材卷绕成成品料卷。
13.本发明提供的mlcc高速精密全自动薄膜流延机的有益效果是：导料装置 用于引导基材依次经过送料装置、涂布装置、烘干装置和集料装置，涂布装置 的间隙调节驱动件
能够调节两个涂布辊之间的间隙，精确控制基材的厚度，涂 布模头对经过涂布辊的基材进行涂覆浆料，烘干装置对涂覆有浆料的基材进行 烘干，集料装置将烘干后的基材卷绕成卷，解决了现有的mlcc薄膜流延机难 以精确控制mlcc薄膜厚度的技术问题，从而提高了基材厚度的精度，能够适 用于厚度为1μm至12μm之间的基材流延生产。
附图说明
14.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技 术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅 仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳 动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本技术实施例提供的mlcc高速精密全自动薄膜流延机的主视示意 图；
16.图2为图1中的隔尘箱的箱门打开后的局部放大示意图；
17.图3为本技术实施例中的流延机的涂布装置的结构示意图；
18.图4为图3中的涂布装置的侧向内部结构示意图；
19.图5为本技术实施例提供的集料装置的立体示意图；
20.图6为本技术实施例提供的集料装置的压紧机构的立体示意图；
21.图7为本技术实施例提供的第一导向机构的立体示意图；
22.图8为本技术实施例提供的托辊烘箱去掉箱门后的立体示意图；
23.图9为本技术实施例提供的托辊烘箱的第一烘腔的纵剖面示意图；
24.图10为本技术实施例提供的第一风室的立体示意图；
25.图11为本技术实施例提供的悬浮烘箱去掉箱门后的立体示意图；
26.图12为本技术实施例提供的悬浮烘箱的第二烘腔的纵剖面示意图；
27.图13为本技术实施例提供的裁切装置的立体示意图；
28.图14为图13中的裁切装置的剖视图；
29.图15为本实施例中的流延机的浆料供料装置的结构示意图。
30.其中，图中各附图标记：
31.1、待加工料卷；2、成品料卷；x、基材的前进方向；
32.10、送料装置；
33.20、导料装置；21、第一导料组件；22、第二导料组件；23、第三导料组 件；24、第四导料组件；211、导向支架；212、导向辊；213、导向辊驱动机构； 2121、辊筒部；2122、转轴部；
34.30、涂布装置；31、涂布支架；32、厚度调节机构；321、间隙调节驱动件； 322、涂布辊；323、位置传感器；33、涂布模头；34、集料盘；35、浆料供料 装置；351、料箱；352、齿轮泵；353、推车；354、出料管；
35.40、烘干装置；41、托辊烘箱；42、悬浮烘箱；43、加热器；44、风机； 411、第一箱体；412、第一烘道；414、第一风室；4101、第一烘腔；4111、第 一隔板；4131、第一风罩；4132、第二风罩；4133、第三风罩；4134、第四风 罩；4141、第一风嘴；4142/4232、风室外壳；4143、导风板；4111a、第一出风 口；4111b、第一回风口；4111c、第二出风口；4111d、第二回风口；41410、 第三出风口；4141a、风嘴外壳；4141b、托辊；41420、进风口；421、第二箱 体；422、第二烘道；423、第二风室；4201、第二烘腔；4211、第二隔板；4231、 第二风嘴；4211a、第四出风
口；4211b、第三回风口；
36.50、集料装置；52、气胀辊；54、门组件；55、压紧机构；56、第一自转 驱动机构；57、转向辊；511、转盘；512、支撑板；513、支撑座；531、第一 转轴；551、压紧辊；552、第二转轴；553、连接臂；554、连接臂驱动件；
37.60、防尘装置；61、隔尘箱；62、增压机构；
38.70、控制装置；
39.81、第一裁切装置；82、第二裁切装置；811、切刀；812、张紧辊；813、 摆臂；814、定位辊；815、摆臂驱动机构；816、切刀驱动机构；817、定位辊 驱动机构；818、第三自转驱动机构；
40.90、检测装置。
具体实施方式
41.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自 始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元 件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不 能理解为对本发明的限制。
42.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、
ꢀ“
下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
ꢀ“
底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置 关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或 元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发 明的限制。
43.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗 示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、
ꢀ“
第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
44.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连 接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆 卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也 可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作 用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在 本发明中的具体含义。
45.请参考图1和图2，本实施例提供的mlcc高速精密全自动薄膜流延机， 用于在基材的表面涂布浆料，包括导料装置20、以及沿基材的前进方向依次设 置的送料装置10、涂布装置30、烘干装置40和集料装置50。
46.送料装置10用于放置待加工料卷1并将待加工料卷1中的待加工基材释放。
47.请参考图3和图4，涂布装置30包括涂布支架31、厚度调节机构32和涂 布模头33，厚度调节机构32包括安装于涂布支架31的间隙调节驱动件321和 可转动安装于涂布支架31、且平行设置的两个涂布辊322，间隙调节驱动件321 与涂布辊322连接、以调节两个涂布辊322之间的间隙，涂布模头33安装于涂 布支架31，涂布模头33用于对涂布辊322输送的基材进行涂覆浆料。
48.烘干装置40用于将涂覆有浆料的基材烘干。集料装置50用于将烘干后的 基材卷绕成成品料卷2。导料装置20分别设于送料装置10和涂布装置30之间、 涂布装置30和烘干
装置40之间、以及烘干装置40和集料装置50之间。
49.具体地，请参考图2，导料装置20包括第一导料组件21、第二导料组件22 和第三导料组件23。其中，第一导料组件21位于送料装置10和涂布装置30之 间，用于将从送料装置10牵出的待加工基材引导进涂布装置30，第二导料组件 22位于涂布装置30和烘干装置40之间，用于将从涂布装置30牵出的涂覆有浆 料的基材引导进烘干装置40，第三导料组件23位于烘干装置40和集料装置50 之间，用于将从烘干装置40牵出的成品引导进集料装置50。
50.本技术提供的mlcc高速精密全自动薄膜流延机，导料装置20用于引导基 材依次经过送料装置10、涂布装置30、烘干装置40和集料装置50，涂布装置 30的间隙调节驱动件321能够调节两个涂布辊322之间的间隙，精确控制基材 的厚度，涂布模头33对经过涂布辊322的基材进行涂覆浆料，烘干装置40对 涂覆有浆料的基材进行烘干，集料装置50将烘干后的基材卷绕成卷，解决了现 有的mlcc薄膜流延机难以精确控制mlcc薄膜厚度的技术问题，从而提高了 基材厚度的精度，能够适用于厚度为1μm至12μm之间的基材流延生产。
51.可选地，请参阅图5和图6，作为本技术提供的流延机的一个具体实施例， 送料装置10和集料装置50均包括转盘511、气胀辊52、转盘驱动机构和气胀 辊驱动机构，其中，在转盘511上设置有两个工位，每个工位上设置有一个气 胀辊52，气胀辊52垂直设置并且转动连接在转盘511上，转盘驱动机构与转盘 511驱动连接，用于驱使转盘511自转以实现两个工位的位置交换，气胀辊驱动 机构与气胀辊52驱动连接，用于驱使气胀辊52自转，从而使得流延机可以实 现不间断地生产，在送料装置10上其中一个工位在放料时，另外一个工位可以 进行上料(将新待加工料卷1安装到气胀辊52上)，在集料装置50上其中一 个工位在收料时，另外一个工位可以进行下料(将成品料卷2从气胀辊52上卸 下)。
52.可以理解的是，本技术中的术语“驱动机构”或“驱动件”为机械领域中 常用的驱动机构，其可以包括电机、同步轮和同步带，或者包括电机和齿轮组 等，各组件之间的连接关系也是现有可以实现驱动受驱件(转盘511、气胀辊 52等)的连接关系，此处不再赘述。
53.进一步地，请继续参阅图5和图6，送料装置10和集料装置50还包括支撑 板512、支撑座513和门组件54，其中，支撑座513与转盘511相对间隔设置， 支撑板512位于转盘511和支撑座513之间，用于支撑门组件54，转盘511的 中心穿设有第一转轴531，转盘驱动机构通过第一转轴531驱使转盘511自转， 第一转轴531的一端穿过支撑板512后与支撑座513转动连接，气胀辊52与第 一转轴531平行，门组件54的一侧部可转动连接在支撑板512上，门组件54 的另一侧部可抵接在气胀辊52靠近支撑座513的一端，用于防止待加工料卷1 或成品料卷2意外脱离气胀辊52，并且能够支撑气胀辊52，确保气胀辊52平 直。
54.而送料装置10和集料装置50的不同之处在于，集料装置50还包括两个压 紧机构55，压紧机构55与气胀辊52一一对应配合。压紧机构55都包括压紧辊 551、第二转轴552、连接臂553和连接臂驱动件554，其中，第二转轴552的 两端分别转动连接在转盘511和支撑板512上，连接臂553的一端固定连接在 第二转轴552上，连接臂553的另一端与压紧辊551的转轴转动连接，连接臂 驱动件554设置在转盘511或支撑板512上，并且与连接臂553驱动连接，用 于驱使连接臂553绕第二转轴552摆动，以带动压紧辊551靠近或远离气胀辊 52。具体地，第二转轴552的两端分别与转盘511和支撑板512转动连接，连 接臂553的数量为两个，两个连接臂553间隔设置，并且其中一端分别固定套 接在第二转轴552上，压紧辊551的两端分别与两个连接臂553远离第二转轴 552的端部转动连接，连接臂驱动件554为气缸或
电缸等，与其中一个连接臂 553驱动连接，若连接臂驱动件554安装在转盘511上，连接臂驱动件554与靠 近转盘511设置的连接臂553驱动连接，若连接臂驱动件554安装在支撑板512 上，连接臂驱动件554与靠近支撑板512设置的连接臂553驱动连接；当连接 臂驱动件554启动时，连接臂553带动压紧辊551绕第二转轴552摆动；在收 料的过程中，连接臂驱动件554通过连接臂553驱使压紧辊551始终抵靠在成 品料卷2上，并且随着成品料卷2的厚度增大，成品料卷2推顶压紧辊551朝 远离气胀辊52的方向位移，从而能够确保卷绕在气胀辊52上的物料在收料过 程中不会脱离成品料卷2。
55.进一步地，请参考图6，在压紧辊551的一端上设置有第一自转驱动机构56，第一自转驱动机构56包括吹气件和风轮，其中，风轮固定套接在压紧辊551 的转轴上，吹气件与风轮驱动连接，用于向风轮吹气以驱使压紧辊551的切向 速度与基材的前进速度一致，从而减小压紧辊551与基材之间的滚动摩擦，大 大地降低基材输送的阻力。
56.可选地，请返回参阅图2，作为本技术提供的流延机的一个具体实施例，由 于第一导料组件21、第二导料组件22和第三导料组件23在流延机中的位置不 同，导致第一导料组件21、第二导料组件22和第三导料组件23的结构略有差 异(各组件的形状和/或数量不同)。
57.在本实施例中，以第一导料组件21为例进行说明。请参考图7，第一导料 组件21包括导向支架211、导向辊212和导向辊驱动机构213，其中，导向辊 212包括辊筒部2121和转轴部2122，转轴部2122转动连接在导向支架211上， 辊筒部2121套接在转轴部2122上，并且辊筒部2121能够在基材的带动下绕转 轴部2122转动，导向辊驱动机构213与转轴部2122驱动连接，用于驱使转轴 部2122自转以带动辊筒部2121绕转轴部2122的轴线转动；当基材的输送速度 变快时，基材与辊筒部2121之间的摩擦力会带动辊筒部2121的转动速度加快， 使辊筒部2121的转动速度与转轴部2122的转动速度不同步，此时转轴部2122 与辊筒部2121之间的摩擦力会给予辊筒部2121一个反向作用力，使辊筒部2121 的速度降下来，从而促使基材的速度降下来，确保基材能够被匀速输送；而当 基材的输送速度变慢时，基材与辊筒部2121之间的摩擦力会带动辊筒部2121 的转动速度减低，使辊筒部2121的转动速度与转轴部2122的转动速度不同步， 此时转轴部2122与辊筒部2121之间的摩擦力会给予辊筒部2121一个正向作用 力，使辊筒部2121维持与转轴部2122同步转动，从而带动速度变慢的基材加 速，使基材始终保持匀速输送。可以理解的是，在导向辊驱动机构213的驱动 下，转轴部2122的转动速度与基材预设的输送速度一致。
58.下面介绍涂布装置30的具体结构。
59.在其中一个实施例中，请参考图3和图4，厚度调节机构32还包括安装于 涂布支架31的位置传感器323，位置传感器323用于检测两个涂布辊322之间 的间隙。借助位置传感器323能够更精准检测涂布辊322之间的间隙，更精准 地控制基材的厚度。
60.可选地，位置传感器323为接触式位置传感器。
61.具体地，每一涂布辊322的每一端部均对应有位置传感器323，位置传感器 323用于检测对应的涂布辊322的端部相对于涂布支架31的位置。换言之，位 置传感器323的数量为四个，每两个位置传感器323分别检测同一涂布辊322 的两端端部相对于涂布支架31的位置，由于涂布支架31的位置固定，以涂布 支架31作为测量物更加精准，进而换算得到两个涂布辊322之间的精准间隙。 并且，通过检测涂布辊322两端的位置，能够确保两个涂布
辊322之间保持精 准平行，两个涂布辊322之间的间隙处处相等，从而基材的涂覆厚度更加均匀。
62.具体地，每一涂布辊322的每一端部均对应有间隙调节驱动件321，间隙调 节驱动件321用于调节对应的涂布辊322的端部相对于涂布支架31的位置。换 言之，间隙调节驱动件321的数量为四个，每两个间隙调节驱动件321分别调 节同一涂布辊322的两端端部位置，从而能够精准地控制两个涂布辊322相互 平行，并且能够精准地控制两个涂布辊322之间的间隙。
63.可选地，两个涂布辊322上下设置，间隙调节驱动件321位于涂布辊322 的远离来料的一侧，四个间隙调节驱动件321中，其中两个间隙调节驱动件321 上下设置、且位于涂布辊322的一端。换言之，该两个间隙调节驱动件321分 别一一对应地调节两个涂布辊322的一端。另外两个间隙调节驱动件321上下 设置、且位于涂布辊322的另一端。每一间隙调节驱动件321通过传动机构调 节对应的涂布辊322的对应端部上下运动，从而精确调节各个涂布辊322的各 个端部，以使两个涂布辊322相互平行、且精准控制两个涂布辊322之间的间 隙。
64.可以理解，传动机构可选为齿轮齿条传动、连杆传动等。例如，间隙调节 驱动件321的输出轴连接有齿轮，涂布辊322的端部连接有竖直设置的齿条， 齿轮与齿条啮合，从而驱动齿条及涂布辊322的端部做上下运动。
65.可选地，涂布模头33与涂布辊322平行设置。涂布模头33位置两组间隙 调节驱动件321之间。
66.在其中一个实施例中，涂布模头33滑动地安装于涂布辊322的远离来料的 一侧，涂布模头33在位置传感器323检测到两个涂布辊322的间隙符合预设间 隙时朝靠近涂布辊322的方向滑动。换言之，当位置传感器323检测到涂布辊 322的间隙符合预设间隙时，涂布模头33滑动至涂布辊322旁，对经过涂布辊 322的基材进行涂覆。当涂布辊322的间隙调整不到位时，涂布模头33不靠近 涂布辊322，避免在基材厚度不达标的情况下进行涂覆，导致基材和浆料浪费。
67.可选地，涂布模头33通过驱动机构滑动地安装于涂布支架31。
68.具体地，涂布模头33由上模、下模以及设于上模和下模之间的垫片构成， 垫片的设置可在上模与下模之间形成一侧具有出料口的涂布狭缝，浆料通过涂 布狭缝向出料口挤出以进行涂覆作业。
69.在一实施例中，请参考图3，涂布装置30还包括安装于涂布支架31的集料 盘34，集料盘34位于涂布模头33的下方，用于承接和回收滴落的浆料。
70.在一实施例中，请参考图3和图15，该流延机还包括浆料供料装置35，浆 料供料装置35用于向涂布模头33供应浆料。浆料供料装置35包括料箱351和 齿轮泵352。料箱351用于存储浆料，料箱351连接有出料管354，出料管354 用于与涂布模头33连接，以向涂布模头33提供浆料。齿轮泵352用于驱动浆 料从料箱351流向涂布模头33。
71.具体地，齿轮泵352为高精度齿轮泵。高精度齿轮泵的出口配置压力传感 器，将动态测得的压力值转换成电信号传输给变频器，使泵始终按设定的压力 点工作，保证浆料供料稳定均匀。
72.可选地，齿轮泵352的数量为两个，其中一个齿轮泵352为6.25cc高精密 齿轮泵，
另一个齿轮泵352为10cc高精密齿轮泵。
73.具体地，浆料供料装置36可移动地设置，能够移动至涂布装置30旁，方 便地向涂布模头33提供浆料。例如，浆料供料装置36还包括推车353，料箱 351和齿轮泵352均安装于推车353上。
74.下面介绍烘干装置40的具体结构。
75.在其中一个实施例中，请参考图8和图11，烘干装置40包括托辊烘箱41 和悬浮烘箱42，托辊烘箱41用于对涂覆有浆料的基材进行预烘干，使浆料中的 部分水分蒸发，防止浆料在基材表面流动，悬浮烘箱42用于对基材进行快速烘 干，使浆料固化在基材的表面，托辊烘箱41和悬浮烘箱42沿基材的前进方向 依次设置，并相互连通。
76.具体地，请参考图8至图10，托辊烘箱41的数量为至少三个，悬浮烘箱 42的数量为至少两个，至少三个托辊烘箱41靠近第二导料组件22连续布置， 至少两个悬浮烘箱42靠近最后一个托辊烘箱41连续布置，从而既能够保证基 材的预烘干和快速烘干的行程，又有利于降低托辊烘箱41和悬浮烘箱42的生 产加工的难度。可以理解的是，烘箱的长度越长，生产加工的难度越大。
77.具体地，请参考图8至图10，托辊烘箱41包括第一箱体411、第一烘道412 和气流调节组件，第一箱体411包括能够将其内腔分割成第一烘腔4101和第一 热风循环腔的第一隔板4111，第一烘道412贯穿第一烘腔4101、用于供基材通 过，第一隔板4111开设有第一出风口4111a和第一回风口4111b，第一出风口 4111a靠近第一烘道412的出口的一侧设置，第一回风口4111b靠近第一烘道 412的入口的一侧设置，气流调节组件包括第一风罩4131、第二风罩4132和第 三风罩4133，第一风罩4131、第二风罩4132和第三风罩4133设于第一烘腔4101 内并位于第一烘道412的正上方，且第一风罩4131罩住第一出风口4111a，第 二风罩4132罩住第一回风口4111b，第三风罩4133设于第一风罩4131和第二 风罩4132之间，第一风罩4131朝向第三风罩4133的侧壁、第二风罩4132朝 向第三风罩4133的侧壁、第三风罩4133朝向第一风罩4131的侧壁、第三风罩 4133朝向第二风罩4132的侧壁、以及第三风罩4133远离第一烘道412的顶壁 分别开设有第一透风孔，第三风罩4133的底部具有开口。
78.具体地，第一烘道412是一条供基材通过并且水平贯穿第一烘腔4101的虚 拟过道，与包裹涂布装置30的隔尘箱61连通，第一烘道412的入口和出口开 设在第一箱体411的相对设置的两个侧壁上；第一隔板4111呈竖直设置，并且 与第一烘道412平行；第一透风孔分别呈矩阵排列在第一风罩4131朝向第三风 罩4133的侧壁、第二风罩4132朝向第三风罩4133的侧壁、第三风罩4133朝 向第一风罩4131的侧壁、第三风罩4133朝向第二风罩4132的侧壁、以及第三 风罩4133远离第一烘道412的顶壁上；在基材通过第一烘道412的过程中，第 一热风循环腔内会不断地产生热风，接着热风会先从第一出风口4111a吹出， 接着热风会经过第一风罩4131的第一透风孔进入第一烘腔4101内，接着进入 第一烘腔4101内的热风会通过第一透风孔经过第三风罩4133后，吹向基材的 顶面，接着经过基材顶面后的部分热风，再通过第一透风孔进入第二风罩4132 内，最后从第一回风口4111b返回第一热风循环腔内；从而使热风逆向(朝与 基材的前进方向x相反的方向)流动，有利于促使浆料中的水分蒸发，并且通 过第一风罩4131、第二风罩4132与第三风罩4133配合来调节热风的惯性和稳 定性，使得热风均匀地流过基材的顶面，有利于确保基材涂布的均匀性。
79.进一步地，第一隔板4111还开设有第二出风口4111c，第二出风口4111c 靠近第一
烘道412的出口的一侧设置；托辊烘箱41还包括第一风室414，第一 风室414设于第一烘腔4101内并位于第一烘道412的正下方，且第一风室414 罩住第二出风口4111c，第一风室414的顶壁上设有多个第一风嘴4141，多个 第一风嘴4141沿基材的前进方向间隔设置，第一风嘴4141包括风嘴外壳4141a 和转动连接于风嘴外壳4141a上的托辊4141b，风嘴外壳4141a的顶壁上设有两 个第三出风口41410，两个第三出风口41410位于托辊4141b的径向的相对两侧， 并分别朝向远离托辊4141b的方向吹风，托辊4141b的轴向与基材的前进方向 垂直。
80.具体地，第一风室414还包括风室外壳4142，风室外壳4142的侧壁开设有 进风口41420，进风口41420与第二出风口4111c相接，多个第一风嘴4141沿 基材的前进方向x间隔设置在风室外壳4142的顶壁上，并且风嘴外壳4141a与 风室外壳4142连通，而托辊4141b的最高处比风嘴外壳4141a的最高处高预设 距离。在基材通过第一烘道412的过程中，基材会依次经过多个第一风嘴4141， 而基材经过第一风嘴4141的过程中，基材与托辊4141b的顶部接触，托辊4141b 随着基材前进而自转，同时从第二出风口4111c进入风室外壳4142的热风会经 过第一风嘴4141的两个第三出风口41410不断地朝基材的前进方向x和与基材 的前进方向x相反的方向吹出，使得热风的流动方向与基材基本平行，并且使 得位于托辊4141b的径向两侧的基材局部与风嘴外壳4141a的顶壁之间形成气 垫，该气垫能够使基材悬浮在距离风嘴外壳4141a的顶壁的一定高度处，该高 度等于预设距离，从而使得基材经过第一风嘴4141时始终保持着水平状态，确 保了基材上的浆料不会因流动影响其厚度的均匀性，有利于确保基材涂布的均 匀性。
81.进一步地，第一风室414的风室外壳4142具有体积较大端和体积较小端， 体积较大端的侧壁开设有进风口41420，并且风室外壳4142内设置有多个导风 板4143，多个导风板4143共同形成至少一个导风通道，导风通道的一端朝向进 风口41420，导风通道的另一端朝向体积较小端。第一热风循环腔产生的热风会 从进风口41420进入风室外壳4142的内腔内，再经过导风通道和风室外壳4142 的内腔导向第一风嘴4141，最后从第一风嘴4141的第三出风口41410吹向经过 第一烘道412的基材上，从而通过将风室外壳4142的两端设计成体积较大端和 体积较小端，通过与多个导风板4143组成的导风通道配合，使得从开设在体积 较大端侧壁上的进风口41420进入风室外壳4142的热风均匀地流向各个第一风 嘴4141，有利于确保托辊烘箱41的烘干效果。
82.可以理解的是，所谓“体积较大端”是指与“体积较小端”相比较体积较 大的端部，所谓“体积较大端”是指与“体积较大端”相比较体积较小的端部。
83.进一步地，第一隔板4111还开设有第二回风口4111d，第二回风口4111d 靠近第一烘道412的入口的一侧设置；同时，气流调节组件还包括第四风罩4134， 第四风罩4134位于第一风室414的下方并且罩住第二回风口4111d，并且第四 风罩4134靠近第一烘道412入口的侧部和靠近第一烘道412出口的侧部分别具 有开口。即从第一风罩4131流出的部分热风和从第一风嘴4141流出的热风， 最终可以通过第四风罩4134靠近第一烘道412入口的侧部和靠近第一烘道412 出口的侧部的两个开口进入第四风罩4134内，再从第二回风口4111d返回第一 热风循环腔。由于第四风罩4134的两个开口朝向第一烘道412的入口的一侧和 第一烘道412的出口的一侧，并不是朝向上方，从而使热风的流动路径更长， 有利于减小第一烘腔4101内气流的波动，有效地提高了第一烘腔4101内气流 的稳定性。
84.在本实施例中，请参考图11和图12，悬浮烘箱42包括第二箱体421、第 二烘道422
和两个第二风室423，第二烘道422贯穿第二箱体421的内腔，用于 供基材通过，两个第二风室423容设在第二箱体421的内腔内，并且分别位于 第二烘道422的上下两侧，每个第二风室423朝向第二烘道422的壳壁上设置 有多个第二风嘴4231，多个第二风嘴4231沿基材的前进方向x间隔设置，第 二风室423还包括风室外壳4142。
85.具体地，第二烘道422是一条供基材通过并水平贯穿第二箱体421内腔的 虚拟过道，第二烘道422的入口和出口开设在第二箱体421的相对设置的两个 侧壁上，并且与第一烘道412连通；第二风室423的风室外壳4142的结构与第 一风室414的风室外壳4142的结构相同；第二风嘴4231固定安装在风室外壳 4142朝向第二烘道422的壳壁上，并且第二风嘴4231朝向第二烘道422的端部 开设有第五出风口。由于第二风室423的风室外壳4142的结构与第一风室414 的风室外壳4142的结构相同，使得进入风室外壳4142的热风能够均匀地流向 各个第二风嘴4231，有利于确保悬浮烘箱42的烘干效果。
86.进一步地，其中一个第二风室423的第二风嘴4231与另一个第二风室423 的第二风嘴4231错位设置，即位于第二烘道422上方的第二风室423的多个第 二风嘴4231与位于第二烘道422下方的第二风室423的多个第二风嘴4231交 错布置，从而使得第二烘道422中的热风更加均匀，并且使从第二风嘴4231吹 出的热风与基材之间形成的气垫的支撑力均衡，使基材保持沿第二烘道422的 中线平稳地运行，防止了基材与第二风嘴4231发生刮擦导致损伤。
87.进一步地，第二箱体421包括第二隔板4211，第二隔板4211能够将第二箱 体421的内腔分割成第二烘腔4201和第二热风循环腔，第二烘道422贯穿第二 烘腔4201，两个第二风室423容设在第二烘腔4201内；第二隔板4211开设有 两个第四出风口4211a和两个第三回风口4211b，其中，两个第四出风口4211a 靠近第二烘道422的出口的一侧设置，并且分别位于第二烘道422的上下两侧， 与两个第二风室423的进风口41420相接，两个第三回风口4211b靠近第二烘 道422的入口的一侧设置，并且分别位于第二烘道422的上下两侧。在基材通 过第二烘道422的过程中，第二热风循环腔内会不断地产生热风，接着热风会 先从两个第四出风口4211a吹进两个第二风室423内，接着经过上下交错布置 的多个第二风嘴4231吹进第二烘道422内，然后经过基材的表面后，从两个第 三回风口4211b返回第二热风循环腔内，整个过程热风的流向与基材的前进方 向x相反，使得热风与基材能够充分接触，有利于提升基材的烘干效率。
88.可以理解的是，在本实施例中，第一热风循环腔的结构与第二热风循环腔 的结构相同，在第一热风循环腔和第二热风循环腔内分别设置有加热器43和风 机44，加热器43用于加热从第一烘腔4101和第二烘腔4201回流的热风和从外 部补充的空气，风机44用于引导第一热风循环腔和第二热风循环腔内的热风流 向。
89.下面介绍防尘装置60的具体结构。
90.请参考图1和图2，在其中一个实施例中，本技术提供的流延机还包括防尘 装置60，防尘装置60包括隔尘箱61和增压机构62，隔尘箱61将送料装置10、 导料装置20、涂布装置30和集料装置50包裹，并且与烘干装置40连通，增压 机构62设置在隔尘箱61上，用于增加隔尘箱61内的气压，使得送料装置10、 导料装置20、涂布装置30和集料装置50处于1000级以上无尘车间的环境中， 使得流延机即使安置在1000级以下的无尘车间内，也能够满足生产高品质薄膜 的要求，有利于提升流延机的适用性。
91.可选地，隔尘箱61的数量为至少两个，送料装置10、第一导料组件21、 涂布装置30和第二导料组件22可以容置在其中一个隔尘箱61内，第三导料组 件23和集料装置50可以容置在另一个隔尘箱61内，每个隔尘箱61配置一个 增压机构62，增压机构62可以包括风机44和过滤件等，与隔尘箱61连通，不 断地向隔尘箱61的内部吹入洁净的风，使隔尘箱61内部的气压升高，进而使 得气流从隔尘箱61的内部向外部流动，阻止外界环境中的灰尘进入隔尘箱61 内，从而使隔尘箱61内的环境达到1000级以上无尘车间的标准。
92.可以理解的是，烘干装置40的内部设置有过滤件和加热器43，使得烘干装 置40的内部的气压大于外部的气压，因此烘干装置40自身具有防尘功能。
93.下面介绍控制装置70的具体结构。
94.请参考图1和图2，在其中一个实施例中，流延机还包括用于控制流延机按 照预设程序运行的控制装置70，控制装置70、送料装置10和烘干装置40位于 涂布装置30和集料装置50之间，控制装置70靠近集料装置50设置，送料装 置10靠近涂布装置30设置，烘干装置40位于送料装置10和控制装置70的上 方。
95.具体地，控制装置70、送料装置10和烘干装置40三者呈品字形布置，其 中，烘干装置40在上，送料装置10在下并且靠左，控制装置70在下并且靠右， 从而有利于充分利用有限的空间，使得流延机的结构更加紧凑，占用场地更小。 控制装置70包括控制器、电箱等，用于控制送料装置10、导料装置20、涂布 装置30、烘干装置40、集料装置50和防尘装置60等按照技术人员预先设定的 计算机程序运行，从而使得流延机实现自动化。
96.下面介绍裁切装置的具体结构。
97.请参考图13和图14，作为本技术提供的流延机的一个具体实施例，流延机 还包括第一裁切装置81，第一裁切装置81设置在隔尘箱61内，并且位于烘干 装置40和集料装置50之间。
98.具体地，第一裁切装置81包括切刀811、张紧辊812、摆臂813、定位辊 814、摆臂驱动机构815、切刀驱动机构816和定位辊814驱动机构，其中，切 刀811、张紧辊812与定位辊814平行设置，张紧辊812转动连接在摆臂813的 端部，切刀811摆动连接在张紧辊812的转轴上，定位辊814摆动连接在摆臂 813的中部，切刀驱动机构816和定位辊814驱动机构安装在摆臂813上，切刀 驱动机构816与切刀811驱动连接，用于驱使切刀811绕张紧辊812的转轴摆 动，定位辊814驱动机构与定位辊814驱动连接，用于驱使定位辊814绕与摆 臂813连接的连接轴摆动，摆臂驱动机构815与摆臂813驱动连接，用于驱使 摆臂813摆动以驱使切刀811、张紧辊812和定位辊814靠近或远离集料装置 50，摆臂驱动机构815、切刀驱动机构816和定位辊814驱动机构分别包括气缸 或电缸等驱动件；同时，集料装置50还包括两个转向辊57，两个转向辊57位 于第一转轴531的相对两侧，并且位于两个气胀辊52之间。当其中一个气胀辊 52完成收料(将完成加工的基材收卷成成品料卷2)后，集料装置50的转盘驱 动机构会驱使转盘511自转，在转盘511的自转过程中，基材会经过其中一个 转向辊57，而第一裁切装置81的摆臂驱动机构815会驱使摆臂813摆动，以驱 使切刀811、张紧辊812和定位辊814靠近基材，直至张紧辊812压靠在基材上 使基材张紧，接着切刀驱动机构816会驱使切刀811摆动以将基材切断，同时 定位辊814驱动机构会驱使定位辊814摆动并将基材靠近烘干装置40一侧的断 头压靠在集料装置50的另一个气胀辊52上，气胀辊驱动机构会驱使该气胀辊 52自转，使基材卷绕在该气胀辊52上，从而在第一裁切装置81的配合下，集 料
装置50能够实现不间断地收料，有效地提高了流延机的生产效率。
99.张紧辊812压在基材上，张紧辊812沿基材的宽度方向布置，此时第一裁 切装置81用于裁切呈张紧状态的基材，即基材呈平整状态。基材的长度远大于 张紧辊812的径向长度，基材沿自身长度方向向前输送。张紧辊812压于基材 上，张紧辊812沿基材的宽度方向布置，此时基材的长度方向上的一小段覆盖 于张紧辊812的部分圆侧面上，由于张紧辊812压在基材上，因此位于张紧辊 812两侧的基材仍然保持张紧状态，并且基材位于张紧辊812两侧的部分平行张 紧辊812的圆侧面的切向，而切刀811的刀刃的凸出方向垂直于圆侧面的切向， 因此当摆臂813带动切刀811绕张紧辊812的轴线转动，切刀811的刀刃能够 以垂直基材表面的方向裁切基材。
100.当然，根据具体情况和需求，在送料装置10和第一导料组件21之间也可 以设置第二裁切装置82，通过第二裁切装置82来切断待加工基材，以控制放料 量。
101.进一步地，在转向辊57的一端上设置有第二自转驱动机构，同时在定位辊 814的一端上设置有第三自转驱动机构817，第二自转驱动机构结构、第三自转 驱动机构817的结构与第一自转驱动机构56的结构相同，通过第二自转驱动机 构结构和第三自转驱动机构817可以分别驱使转向辊57和定位辊814的切向速 度与基材的前进速度一致，从而减小转向辊57和定位辊814与基材之间的滚 动摩擦，大大地降低基材输送的阻力
102.下面介绍检测装置90的具体结构。
103.请参考图2，作为本技术提供的流延机的一个具体实施例，上述流延机还包 括检测装置90，检测装置90设置在隔尘箱61内，并且位于烘干装置40和第一 裁切装置81之间。具体地，检测装置90可以是红外线检测仪或超声波检测仪 等，用于检测基材表面涂覆的浆料是否均匀一致，从而确保集料装置50收卷的 基材均符合生产要求；第三导料组件23位于烘干装置40和检测装置90之间， 流延机还包括第四导料组件24，第四导料组件24位于检测装置90和第一裁切 装置81之间，从而通过第三导料组件23和第四导料组件24能够使基材在烘干 装置40和检测装置90之间以及检测装置90和第一裁切装置81之间平稳输送。
104.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本申 请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术 的保护范围之内。