一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机的制作方法

技术特征：
1.一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，包括机箱、硅片研磨机构和硅片吸附固定机构，其特征在于：所述硅片研磨机构由硅片固定盘、研磨底座、研磨杆和研磨驱动组件构成，研磨杆固定连接在硅片固定盘底部的中心，硅片固定盘套接在研磨底座的内部，且研磨杆贯穿研磨底座的底部，研磨驱动组件与研磨杆之间进行活动连接，研磨杆的中部套接设有双动压轴承，双动压轴承位于硅片固定盘与研磨底座之间，使硅片固定盘通过双动压轴承可在研磨底座的内部进行转动，双动压轴承由外轴套、内轴套和若干个滚子构成，内轴套安装在研磨杆的中部，且跟随研磨杆进行转动，外轴套套接在内轴套的表面，外轴套和内轴套的之间的侧壁均设有沟槽，滚子均可转动地镶嵌在沟槽的内部，沟槽的内部注入润滑油液。2.根据权利要求1所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述研磨驱动组件包括研磨轮、研磨同步带、驱动轮和研磨电机，研磨轮套接在研磨杆的中部，驱动轮固定连接在研磨电机的一端，驱动轮与研磨轮之间通过研磨同步带进行传动连接。3.根据权利要求1所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述机箱的内部设有多工位切换机构，多工位切换机构包括多工位旋转盘、旋转盖板和切换传动组件，多工位旋转盘可转动地安装在机箱的内部，多工位旋转盘的中部设有若干个工位固定通孔，硅片研磨机构和硅片吸附固定机构均固定连接在工位固定通孔的中部，旋转盖板的表面设有与工位固定通孔数量一致的第一研磨通孔，旋转盖板罩盖在多工位旋转盘的顶端面，且第一研磨通孔位于硅片研磨机构的上方，多工位旋转盘可通过切换传动组件进行旋转，使硅片研磨机构进行工位切换。4.根据权利要求3所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述切换传动组件由工位切换伺服电机和工位切换同步带构成，工位切换同步带的一侧缠绕在工位切换伺服电机的一端，工位切换同步带的另一侧缠绕在多工位旋转盘的边缘，工位切换同步带的中部设有用于收紧同步带的张紧轮，多工位旋转盘通过工位切换伺服电机的转动进行工位切换。5.根据权利要求1所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述硅片吸附固定机构包括若干个吸气导管和真空导管，硅片固定盘的顶端面设有若干个固定吸气孔，研磨底座的内部为吸气腔室，吸气导管位于吸气腔室的内部，且吸气导管分别插接进入固定吸气孔的内部，使硅片固定盘的顶端面与吸气腔室进行导通，真空导管镶嵌在研磨杆的内部，且真空导管的一端延伸至吸气腔室的内部，真空导管的另一端用于接入外部真空设备。6.根据权利要求3所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述机箱的顶部设有研磨罩盖，研磨罩盖顶部的一侧设有若干个第二研磨通孔，第二研磨通孔位于第一研磨通孔的上方，研磨罩盖顶部的另一侧设有入料开口。7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，其特征在于：所述机箱的顶端面设有硅片待料槽，硅片待料槽的两端向内弯折呈“u”字形结构。

技术总结
本实用新型涉及电子及半导体抛光加工技术领域的一种采用双动压轴承的单面研磨抛光机，包括机箱、硅片研磨机构和硅片吸附固定机构，硅片研磨机构由硅片固定盘、研磨底座、研磨杆和研磨驱动组件构成，采用刚性更强，承载力度更大的双动压轴承作为硅片研磨机构的转体，提高了单面研磨抛光机的受力承载能力，同时在双动压轴承的内部采用双沟槽的结构，使双动压轴承在高速转动时，进一步保证了单面研磨抛光机对硅片研磨抛光的精准度，同时其结构简单，适合大范围推广。适合大范围推广。适合大范围推广。


技术研发人员：贺德荣
受保护的技术使用者：东莞市中研机械设备有限公司
技术研发日：2022.04.26
技术公布日：2022/8/15