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一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置的制作方法

2022-07-23 23:50:22 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及碳化硅晶体制备技术领域,具体为一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置。


背景技术:

2.碳化硅晶体是碳和硅的稳定化合物,碳化硅的特性使它成为高频、大功率、耐高温、抗辐射的半导体器材的优选材料,碳化硅的晶体工厂采用物理气象法进行生产,但是这种方法会使碳化硅的晶体边缘出现环形形貌,容易产生数量较多且较为集中的缺陷,所以现阶段开始逐渐使用特定的保温装置进行消除碳化硅晶体边缘环形形貌,但是现存的碳化硅保温装置存在着以下的问题:
3.1.现存的碳化硅保温装置不方便在保温过程中进行完善的密封措施,导致气密性差容易产生较多缺陷;
4.2.现存的碳化硅保温装置不方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施,导致使用具有局限性。
5.针对上述问题,急需在原有用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置的基础上进行创新设计。


技术实现要素:

6.本实用新型的目的在于提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,以解决上述背景技术中提出现有的用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,不方便在保温过程中进行完善的密封措施,不方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施的问题。
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,包括外壳、螺纹杆、盖板、手摇杆、导向杆、密封活塞和保温筒,所述外壳外侧设置有外螺纹,所述外螺纹外侧螺纹连接有与盖板固定连接的内螺纹,所述盖板下端固定连接有密封圈,所述盖板上端固定连接有与手摇杆转动连接的第一限位块,以使得手摇杆可通过在第一限位块内侧转动来带动手摇杆下方固定连接的螺纹杆转动。
8.优选的,所述螺纹杆外侧固定连接有第二限位块,所述螺纹杆外侧螺纹连接有与导向杆可滑动连接的伸缩导杆,以使得伸缩导杆可通过螺纹杆的转动带动密封活塞竖直下移,所述导向杆与盖板为固定连接。
9.优选的,所述外壳与盖板采用紧密贴合设置,并且盖板与密封圈采用胶水连接设置。
10.优选的,所述手摇杆与第一限位块采用相互垂直设置,且第一限位块与盖板采用焊接连接设置,并且手摇杆与螺纹杆采用固定连接设置。
11.优选的,所述螺纹杆与伸缩导杆采用同一直线上设置,且伸缩导杆与导向杆采用套设连接设置,并且导向杆与第三限位块采用焊接连接设置。
12.优选的,所述密封活塞与保温筒采用紧密贴合设置,且保温筒与外壳采用嵌套连接设置。
13.优选的,所述所述密封活塞中心处设置有透视薄板,所述盖板中心处设置有透视薄板。
14.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,方便在保温过程中进行完善的密封措施,方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施;
15.1.在使用该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置时,首先将加热后的碳化硅籽料和碳化硅粉料放置在保温筒内,随后利用盖板通过内侧的内螺纹旋入外壳外侧设置的外螺纹后拧紧时,密封圈可对外壳与盖板的连接缝处进行气密性保护;
16.2.在使用该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置时,用手拧动手摇杆转动,手摇杆转动时带动下方固定连接的螺纹杆转动,螺纹杆转动时,其螺纹连接的伸缩导杆沿套设螺纹杆的槽口竖直上下移动,在伸缩导杆移动的过程中,导向杆可限制伸缩导杆的移动方向,并且可防止其移动过程中发生转动现象,伸缩导杆在向下移动时受到第三限位块的位置限制,防止其脱落出螺纹杆,伸缩导杆下移过程中带着下方固定连接的密封活塞在保温筒内向下移动压缩空气,使内部空气体积压缩,导致内部短暂升温且在高压的环境下可持续保温,加强保温筒的密封性和保温作用。
附图说明
17.图1为本实用新型主视结构示意图;
18.图2为本实用新型正视剖面结构示意图;
19.图3为本实用新型俯视结构示意图;
20.图4为本实用新型俯视剖面结构示意图
21.图5为本实用新型图2中a处放大结构示意图。
22.图中:1、外壳;2、外螺纹;3、内螺纹;4、盖板;5、密封圈;6、手摇杆;7、第一限位块;8、螺纹杆;9、第二限位块;10、伸缩导杆;11、导向杆;12、第三限位块;13、密封活塞;14、保温筒。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,包括外壳1、外螺纹2、内螺纹3、盖板4、密封圈5、手摇杆6、第一限位块7、螺纹杆8、第二限位块9、伸缩导杆10、导向杆11、第三限位块12、密封活塞13和保温筒14,外壳1外侧设置有外螺纹2,外螺纹2外侧螺纹连接有与盖板4固定连接的内螺纹3,盖板4下端固定连接有密封圈5,盖板4上端固定连接有与手摇杆6转动连接的第一限位块7,以使得手摇杆6可通过在第一限位块7内侧转动来带动手摇杆6下方固定连接的螺纹杆8转动;
25.进一步的,螺纹杆8外侧固定连接有第二限位块9,螺纹杆8外侧螺纹连接有与导向杆11可滑动连接的伸缩导杆10,以使得伸缩导杆10可通过螺纹杆8的转动带动密封活塞13竖直下移,导向杆11与盖板4为固定连接,螺纹杆8转动时带动与之螺纹连接的伸缩导杆10沿套设螺纹杆8的槽口处竖直下移,期间导向杆11可为伸缩导杆10结合使用进行导向作用,伸缩导杆10下移过程中带着下方固定连接的密封活塞13在保温筒14内向下移动压缩空气,加强保温筒14的密封性和保温作用;
26.进一步的,外壳1与盖板4采用紧密贴合设置,并且盖板4与密封圈5采用胶水连接设置,紧密贴合设置增加了外壳1与盖板4间的接触面积,增加了装置整体内部的气密性,胶水连接设置增加了盖板4与密封圈5间的牢固性,当盖板4通过内侧的内螺纹3旋入外壳1外侧设置的外螺纹2后拧紧时,密封圈5可对外壳1与盖板4的连接缝处进行气密性保护;
27.进一步的,手摇杆6与第一限位块7采用相互垂直设置,且第一限位块7与盖板4采用焊接连接设置,并且手摇杆6与螺纹杆8采用固定连接设置,相互垂直设置增加了手摇杆6与第一限位块7间的稳定性,焊接连接设置增加了第一限位块7与盖板4间的牢固性,手摇杆6与螺纹杆8固定连接使手摇杆6转动时可带动螺纹杆8转动;
28.进一步的,螺纹杆8与伸缩导杆10采用同一直线上设置,且伸缩导杆10与导向杆11采用套设连接设置,并且导向杆11与第三限位块12采用焊接连接设置,螺纹杆8转动时,其螺纹连接的伸缩导杆10沿套设螺纹杆8的槽口竖直上下移动,在伸缩导杆10移动的过程中,导向杆11可限制伸缩导杆10的移动方向,并且可防止其移动过程中发生转动现象,焊接连接设置增加了导向杆11与第三限位块12间的牢固性,使伸缩导杆10在向下移动时受到第三限位块12的位置限制,防止其脱落出螺纹杆8;
29.进一步的,密封活塞13与保温筒14采用紧密贴合设置,且保温筒14与外壳1采用嵌套连接设置,紧密贴合设置使密封活塞13在保温筒14内侧移动过程中气密性得到保障,嵌套连接设置增加了整体覆盖的均匀性;
30.进一步的,密封活塞13中心处设置有透视薄板,盖板4中心处设置有透视薄板,可通过盖板4和密封活塞13内侧设置的透视薄板观察装置内部碳化硅晶体的生长情况;密封活塞13可采用中心处为透视薄板设置,在透视薄板的外侧面开设有向其圆心方向凹陷的凹槽,凹槽内嵌套有密封圈,密封圈形成密封活塞13的外部区域;两个透视薄板上下对应。
31.工作原理:在使用该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置时,首先将加热后的碳化硅籽料和碳化硅粉料放置在保温筒14内,随后利用盖板4通过内侧的内螺纹3旋入外壳1外侧设置的外螺纹2后拧紧时,密封圈5可对外壳1与盖板4的连接缝处进行气密性保护,用手拧动手摇杆6转动,手摇杆6转动时带动下方固定连接的螺纹杆8转动,螺纹杆8转动时,其螺纹连接的伸缩导杆10沿套设螺纹杆8的槽口竖直向下移动,在伸缩导杆10移动的过程中,导向杆11可限制伸缩导杆10的移动方向,并且可防止其移动过程中发生转动现象,伸缩导杆10在向下移动时受到第三限位块12的位置限制,防止其脱落出螺纹杆8,伸缩导杆10下移过程中带着下方固定连接的密封活塞13在保温筒14内向下移动压缩空气,使内部空气体积压缩,导致内部短暂升温且在高压的环境下可持续保温,加强保温筒14的密封性和保温作用。
32.最后应当说明的是,以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对本实用新型保护范围的限制,本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或
者等同替换,均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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