一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法与流程

1.本发明涉及一种半导体废气冷却装置，特别是涉及一种半导体废气处理四方后段冷却装置，本发明还涉及一种半导体废气冷却装置的冷却方法，特别涉及一种半导体废气处理四方后段冷却装置的冷却方法，属于半导体废气冷却装置技术领域。


背景技术：

2.半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。
3.现有技术中的半导体废气冷却装置在使用的时候存在如下问题；
4.1、在进行废气处理的时候无法进行良好的废气能源回收的功能；
5.2、在进行连接固定的时候其固定不方便无法适应于不同尺寸的管道连接和固定；
6.3、在进行过滤的时候液化的液体和未液化的气体不能良好分开进行过滤或者进行选择性使用；
7.为此设计一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法来优化上述问题。


技术实现要素：

8.本发明的主要目的是为了提供一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法，依据需要连接的管道，启动旋转电机带动主动锥齿轮转动，通过主动锥齿轮调节从动锥齿轮的转动，使其从动锥齿轮调节调节螺杆旋转并调节连接罩的扩展或收缩，使其连接罩、端环和气囊套在管道的端部上然后启动气泵使其气囊膨胀进而连接管道，高温过滤后的气体通过中空方管，因为是高温气体进而会上流至顶盖内，并带动风扇旋转进行发电，通过顶降温板进行降温处理后液体和低温气体回流至中空方管内，然后液体落入至推拉网板进行聚集，对于温度比较低的气体则直接通过中空方管进而出现顶盖与中空方管的组合将不同温度的气体进行分流的结构，水聚集在推拉网板在压力下打开单向阀流出然后通过调节弹簧复位，依据需要进行降温处理的气体需求可启动升降电机调节螺杆转动，进而带动升降滑块运动调节降温过滤网的角度对气体进行不同的温度过滤冷却，低温气体可通过中空方管和过滤仓的内底部流出。
9.本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：
10.一种半导体废气处理四方后段冷却装置，包括中空方管，所述中空方管的内端中部处安装有横杆，且横杆的中部处安装有调节电机组件，该调节电机组件上设有固定架组件，并在固定架组件上设有与调节电机组件相互配合的调节螺杆组件，所述调节螺杆组件的外侧套设有调节气囊盘组件，所述中空方管的顶部开设有顶通口，所述中空方管的顶部
设有与顶通口连通的蒸汽导流发电罩组件，所述中空方管的底端部处安装有液体导出管，所述液体导出管的内侧插入有集液板组件，所述中空方管的底部设有调节集液板组件的调节盘组件，所述中空方管的另一端连通有过滤仓，所述过滤仓的顶中部处设有螺杆升降组件，所述过滤仓的顶部两侧设有滑轨，所述滑轨的外侧与所述螺杆升降组件之间设有可在过滤仓内折叠滑动的过滤降温板组件。
11.优选的，固定架组件包括中固定板和l型侧架，所述横杆的中部处安装有中固定板，所述中固定板的外侧等间距安装有l型侧架，且所述l型侧架和中固定板一体成型，所述中固定板上设有调节电机组件。
12.优选的，调节电机组件包括主动锥齿轮和旋转电机，所述中固定板的外侧中部处安装有旋转电机，所述旋转电机贯穿所述中固定板安装有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与所述调节螺杆组件相互配合。
13.优选的，调节螺杆组件包括从动锥齿轮、调节螺杆和限位滑杆，所述l型侧架的中部处贯穿设有调节螺杆，所述调节螺杆与所述l型侧架之间通过轴承连接，所述l型侧架的外侧安装有限位滑杆，所述调节螺杆的内端部安装有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮与所述主动锥齿轮相互啮合。
14.优选的，调节气囊盘组件包括连接罩、端环、柔性橡胶连接件、气囊和气泵，所述调节螺杆和限位滑杆的外侧套设有连接罩，所述连接罩的外侧边部处一体成型有端环，所述端环的内侧端部处设有气囊，不同组的连接罩和端环之间通过柔性橡胶连接件连接，所述气囊连通有气泵。
15.优选的，蒸汽导流发电罩组件包括顶降温板、顶盖、风扇和隔板，所述中空方管的顶部安装有与顶通口连通的顶盖，所述顶盖的内中部处安装有隔板，所述顶盖的底部一端处设有风扇，且风扇的顶中部处安装有发电机，所述顶盖的内中部处设有顶降温板。
16.优选的，所述集液板组件包括推拉网板、单向阀、复位弹簧、调节弹簧和环型架，所述液体导出管的顶侧部插入有推拉网板，所述推拉网板的顶部等间距开设有复位弹簧，所述复位弹簧的内顶部处安装有环型架，所述环型架的底部安装有调节弹簧，所述调节弹簧的底部安装有单向阀，且单向阀塞入至复位弹簧的内部。
17.优选的，调节盘组件包括调节电机、转盘和铰接杆，所述中空方管的底端部处安装有调节电机，所述调节电机的输出端安装有转盘，所述转盘的底边部处铰接有铰接杆，所述铰接杆的另一端与所述推拉网板侧中部处铰接。
18.优选的，螺杆升降组件包括升降电机、螺杆和升降滑块，所述过滤仓的顶中部处安装有升降电机，所述升降电机的输出端贯穿过滤仓安装有螺杆，所述螺杆的外侧啮合有升降滑块，所述升降滑块与滑轨之间铰接有过滤降温板组件。
19.优选的，过滤降温板组件包括降温过滤网和调节滑块，所述滑轨的外侧两端处套设有调节滑块，且调节滑块的顶部铰接有降温过滤网，所述降温过滤网的另一端与升降滑块的外侧铰接。
20.一种半导体废气处理四方后段冷却装置的冷却方法，包括如下步骤：
21.步骤1：依据需要连接的管道，启动旋转电机带动主动锥齿轮转动；
22.步骤2：通过主动锥齿轮调节从动锥齿轮的转动，使其从动锥齿轮调节调节螺杆旋转并调节连接罩的扩展或收缩；
23.步骤3：使其连接罩、端环和气囊套在管道的端部上然后启动气泵使其气囊膨胀进而连接管道；
24.步骤4：高温过滤后的气体通过中空方管，因为是高温气体进而会上流至顶盖内，并带动风扇旋转进行发电；
25.步骤5：通过顶降温板进行降温处理后液体和低温气体回流至中空方管内，然后液体落入至推拉网板进行聚集；
26.步骤6：对于温度比较低的气体则直接通过中空方管进而出现顶盖与中空方管的组合将不同温度的气体进行分流的结构；
27.步骤7：水聚集在推拉网板在压力下打开单向阀流出然后通过调节弹簧复位；
28.步骤8：依据需要进行降温处理的气体需求可启动升降电机调节螺杆转动，进而带动升降滑块运动调节降温过滤网的角度对气体进行不同的温度过滤冷却，低温气体可通过中空方管和过滤仓的内底部流出。
29.本发明的有益技术效果：
30.本发明提供的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法，依据需要连接的管道，启动旋转电机带动主动锥齿轮转动，通过主动锥齿轮调节从动锥齿轮的转动，使其从动锥齿轮调节调节螺杆旋转并调节连接罩的扩展或收缩，使其连接罩、端环和气囊套在管道的端部上然后启动气泵使其气囊膨胀进而连接管道，高温过滤后的气体通过中空方管，因为是高温气体进而会上流至顶盖内，并带动风扇旋转进行发电，通过顶降温板进行降温处理后液体和低温气体回流至中空方管内，然后液体落入至推拉网板进行聚集，对于温度比较低的气体则直接通过中空方管进而出现顶盖与中空方管的组合将不同温度的气体进行分流的结构，水聚集在推拉网板在压力下打开单向阀流出然后通过调节弹簧复位，依据需要进行降温处理的气体需求可启动升降电机调节螺杆转动，进而带动升降滑块运动调节降温过滤网的角度对气体进行不同的温度过滤冷却，低温气体可通过中空方管和过滤仓的内底部流出。
附图说明
31.图1为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的装置整体第一视角立体结构示意图；
32.图2为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的装置整体第二视角立体结构示意图；
33.图3为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的装置整体第三视角立体结构示意图；
34.图4为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的装置整体第四视角立体结构示意图；
35.图5为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的连接罩组件立体结构示意图；
36.图6为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的a处结构放大图；
37.图7为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选
实施例的可调节过滤网板组件立体结构示意图；
38.图8为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的蒸汽发电组件和降温组件组合立体结构分解图；
39.图9为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的液体导流组件和调节盘组件立体结构示意图；
40.图10为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的重力网板组件结构示意图；
41.图11为按照本发明的一种半导体废气处理四方后段冷却装置及冷却方法的一优选实施例的b处结构放大图。
42.图中：1-顶盖，2-顶降温板，3-风扇，4-连接罩，5-端环，6-气囊，7-中空方管，8-顶通口，9-转盘，10-铰接杆，11-液体导出管，12-推拉网板，13-调节电机，14-过滤仓，15-升降电机，16-降温过滤网，17-隔板，18-升降滑块，19-滑轨，20-螺杆，21-柔性橡胶连接件，22-复位弹簧，23-调节螺杆，24-限位滑杆，25-l型侧架，26-旋转电机，27-中固定板，28-从动锥齿轮，29-主动锥齿轮，30-调节滑块，31-单向阀，32-环型架，33-调节弹簧，34-横杆。
具体实施方式
43.为使本领域技术人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。
44.如图1-图11所示，本实施例提供的一种半导体废气处理四方后段冷却装置，包括中空方管7，中空方管7的内端中部处安装有横杆34，且横杆34的中部处安装有调节电机组件，该调节电机组件上设有固定架组件，并在固定架组件上设有与调节电机组件相互配合的调节螺杆组件，调节螺杆组件的外侧套设有调节气囊盘组件，中空方管7的顶部开设有顶通口8，中空方管7的顶部设有与顶通口8连通的蒸汽导流发电罩组件，中空方管7的底端部处安装有液体导出管11，液体导出管11的内侧插入有集液板组件，中空方管7的底部设有调节集液板组件的调节盘组件，中空方管7的另一端连通有过滤仓14，过滤仓14的顶中部处设有螺杆升降组件，过滤仓14的顶部两侧设有滑轨19，滑轨19的外侧与螺杆升降组件之间设有可在过滤仓14内折叠滑动的过滤降温板组件。
45.依据需要连接的管道，启动旋转电机26带动主动锥齿轮29转动，通过主动锥齿轮29调节从动锥齿轮28的转动，使其从动锥齿轮28调节调节螺杆23旋转并调节连接罩4的扩展或收缩，使其连接罩4、端环5和气囊6套在管道的端部上然后启动气泵使其气囊6膨胀进而连接管道，高温过滤后的气体通过中空方管7，因为是高温气体进而会上流至顶盖1内，并带动风扇3旋转进行发电，通过顶降温板2进行降温处理后液体和低温气体回流至中空方管7内，然后液体落入至推拉网板12进行聚集，对于温度比较低的气体则直接通过中空方管7进而出现顶盖1与中空方管7的组合将不同温度的气体进行分流的结构，水聚集在推拉网板12在压力下打开单向阀31流出然后通过调节弹簧33复位，依据需要进行降温处理的气体需求可启动升降电机15调节螺杆20转动，进而带动升降滑块18运动调节降温过滤网16的角度对气体进行不同的温度过滤冷却，低温气体可通过中空方管7和过滤仓14的内底部流出。
46.在本实施例中，固定架组件包括中固定板27和l型侧架25，横杆34的中部处安装有中固定板27，中固定板27的外侧等间距安装有l型侧架25，且l型侧架25和中固定板27一体
成型，中固定板27上设有调节电机组件。
47.在本实施例中，调节电机组件包括主动锥齿轮29和旋转电机26，中固定板27的外侧中部处安装有旋转电机26，旋转电机26贯穿中固定板27安装有主动锥齿轮29，主动锥齿轮29与调节螺杆组件相互配合。
48.在本实施例中，调节螺杆组件包括从动锥齿轮28、调节螺杆23和限位滑杆24，l型侧架25的中部处贯穿设有调节螺杆23，调节螺杆23与l型侧架25之间通过轴承连接，l型侧架25的外侧安装有限位滑杆24，调节螺杆23的内端部安装有从动锥齿轮28，从动锥齿轮28与主动锥齿轮29相互啮合。
49.在本实施例中，调节气囊盘组件包括连接罩4、端环5、柔性橡胶连接件21、气囊6和气泵，调节螺杆23和限位滑杆24的外侧套设有连接罩4，连接罩4的外侧边部处一体成型有端环5，端环5的内侧端部处设有气囊6，不同组的连接罩4和端环5之间通过柔性橡胶连接件21连接，气囊6连通有气泵。
50.在本实施例中，蒸汽导流发电罩组件包括顶降温板2、顶盖1、风扇3和隔板17，中空方管7的顶部安装有与顶通口8连通的顶盖1，顶盖1的内中部处安装有隔板17，顶盖1的底部一端处设有风扇3，且风扇3的顶中部处安装有发电机，顶盖1的内中部处设有顶降温板2。
51.在本实施例中，集液板组件包括推拉网板12、单向阀31、复位弹簧22、调节弹簧33和环型架32，液体导出管11的顶侧部插入有推拉网板12，推拉网板12的顶部等间距开设有复位弹簧22，复位弹簧22的内顶部处安装有环型架32，环型架32的底部安装有调节弹簧33，调节弹簧33的底部安装有单向阀31，且单向阀31塞入至复位弹簧22的内部。
52.在本实施例中，调节盘组件包括调节电机13、转盘9和铰接杆10，中空方管7的底端部处安装有调节电机13，调节电机13的输出端安装有转盘9，转盘9的底边部处铰接有铰接杆10，铰接杆10的另一端与推拉网板12侧中部处铰接。
53.在本实施例中，螺杆升降组件包括升降电机15、螺杆20和升降滑块18，过滤仓14的顶中部处安装有升降电机15，升降电机15的输出端贯穿过滤仓14安装有螺杆20，螺杆20的外侧啮合有升降滑块18，升降滑块18与滑轨19之间铰接有过滤降温板组件。
54.在本实施例中，过滤降温板组件包括降温过滤网16和调节滑块30，滑轨19的外侧两端处套设有调节滑块30，且调节滑块30的顶部铰接有降温过滤网16，降温过滤网16的另一端与升降滑块18的外侧铰接。
55.一种半导体废气处理四方后段冷却装置的冷却方法，包括如下步骤：
56.步骤1：依据需要连接的管道，启动旋转电机26带动主动锥齿轮29转动；
57.步骤2：通过主动锥齿轮29调节从动锥齿轮28的转动，使其从动锥齿轮28调节调节螺杆23旋转并调节连接罩4的扩展或收缩；
58.步骤3：使其连接罩4、端环5和气囊6套在管道的端部上然后启动气泵使其气囊6膨胀进而连接管道；
59.步骤4：高温过滤后的气体通过中空方管7，因为是高温气体进而会上流至顶盖1内，并带动风扇3旋转进行发电；
60.步骤5：通过顶降温板2进行降温处理后液体和低温气体回流至中空方管7内，然后液体落入至推拉网板12进行聚集；
61.步骤6：对于温度比较低的气体则直接通过中空方管7进而出现顶盖1与中空方管7
的组合将不同温度的气体进行分流的结构；
62.步骤7：水聚集在推拉网板12在压力下打开单向阀31流出然后通过调节弹簧33复位；
63.步骤8：依据需要进行降温处理的气体需求可启动升降电机15调节螺杆20转动，进而带动升降滑块18运动调节降温过滤网16的角度对气体进行不同的温度过滤冷却，低温气体可通过中空方管7和过滤仓14的内底部流出。
64.以上，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。