一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置的制作方法

1.本发明涉及微器件分割技术及微器件分析测试研究领域，具体为一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置。


背景技术：

2.目前，各种微电子器件和芯片由于其独特的功能性、强大的集成能力及低能耗友好性，其研究和应用近年发展迅速，尤其在航空航天、5g通信和大数据领域有广泛的应用前景。在实际生产中，整板排列集成的微型器件分割时，常采用模具机械定位切割，器件整体定位精度不够，导致切割精度低，一般不能满足微器件高精度尺寸的要求。此外，此种方式切割的器件后续整体转移和测试定位精度不足、稳定性差、效率低，不能满足现代企业生产要求，不具有普适性。


技术实现要素：

3.为解决以上技术不足，发明一种微器件整体切割定位，整体转移的装置尤为重要。
4.本实用新型一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，可以对毫米至亚微米尺寸的微器件进行精确定位、切割和无损转移。该装置具有简单、有效、易于推广等特点。
5.技术方案
6.为了实现上述目的，该一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，实用新型所采用的技术方案如下：
7.一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，包括真空泵，吸附管道、吸附管道接头、真空腔室、吸附模具定位槽、吸附模具，真空吸附系统用螺栓与吸附模具定位槽相连接，吸附模具安装在吸附模具定位槽内部，吸附模具上吸附和定位整板器件。
8.所述的真空吸附系统包括真空泵、吸附管道，开有真空池的真空腔室。
9.所述的吸附模具定位槽用螺栓与真空吸附腔室连接。
10.所述的吸附模具上开定位吸附孔、样件定位槽和样件取样槽，吸附模具上根据样件尺寸可开若干个样件取样槽。
11.本实用新型的优点及有益效果如下：
12.此外，本装置对各种尺寸的整板微器件和单个器件进行形状定位和真空吸附位置固定，切割效果好，切割精度高， 产品在切割过程中不会移动，并且真空释压后样品容易拿取，实际生产中可进行连续精准定位，显著提高了产品生产效率和质量品质。样品切割后所采用的蓝膜整体转移技术，利于样品的整体转移，方法独特，生产效率高，为后续样品的测试和批量供货提供了基础保障。
附图说明
13.图1为本实用新型的总体结构示意图；
14.图2为本实用新部件拆分示意图；
15.图3为本实用吸附模具结构图；
16.图中：1、真空泵；2、吸附管道；3、吸附管道接头；4、真空腔室；5、吸附模具定位槽；6、吸附模具；
17.其中，31、圆形管道；32、梯形底座；41、真空池；42、吸气通道；51、托底机构；52、模具取样槽；61、样件定位槽；62、样件取样槽；63、提取把手611、定位吸附孔。
具体实施方式
18.为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
20.如图1-3所示，一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，包括真空泵1、吸附管道2、吸附管道接头3、真空腔室4、吸附模具定位槽5、吸附模具6、
21.圆形管道31、梯形底座32、真空池41、吸气通道42、托底机构51、模具取样槽52、样件定位槽61、样件取样槽62、提取把手63、定位吸附孔611。
22.真空吸附系统用螺栓与吸附模具定位槽5相连接，吸附模具6安装在吸附模具定位槽5内部，吸附模具6上吸附和定位整板器件。
23.如图2和3所示，吸附管道接头3包括圆形管道31与梯形底座32，两者为一整体与真空腔室4连接。真空腔室4上表面开一组平行的真空池41，用于真空吸附，侧壁有一气体通道42，此通道与吸附管道接头3相连。吸附模具定位槽5中心为空心结构，四周带有托底机构51，左右两侧各带有一组模具取样槽52，吸附模具定位槽5与真空腔室4固定连接。吸附模具6包括样件定位槽61，槽中有定位吸附孔611，具有样件取样槽62，吸附模具6带有一组提取把手63，吸附模具6置于吸附模具定位槽5内部，提取把手63与吸附模具6固定连接。
24.以下通过实施例进一步解释或说明本

技术实现要素：
。
25.实施例1激光切割整板器件，蓝膜整体转移样品。
26.本实用新型在使用时，首先将将激光设备准备就绪，真空泵1开启，将整板样品放置于吸附模具6的样件定位槽61内部，保证样品完全进入定位槽61并吸附固定，开启激光设备进行切割，切割完成后，关闭真空泵1，将粘性蓝膜整体覆盖在整板样品上，用刮刀轻刮蓝膜，保证蓝膜粘起所有器件，提起后进行下一序操作。
27.以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，其特征在于，包括真空泵（1），吸附管道（2）、吸附管道接头（3）、真空腔室（4）、吸附模具定位槽（5）、吸附模具（6）；其真空泵（1）连接吸附管道（2），吸附管道（2）连接吸附管道接头（3），吸附管道接头（3）连接真空腔室（4），吸附模具定位槽（5）固定在真空腔室（4）上板，吸附模具（6）安装在吸附模具定位槽（5）内，样件放在吸附模具（6）的定位槽内。2.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，其特征在于，所述的吸附管道接头（3）包括圆形管道（31）与梯形底座（32）。3.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，其特征在于，所述的真空腔室（4）内部为空心，上表面开一组平行的真空池（41），用于真空吸附，侧壁有一吸气通道（42）。4.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，其特征在于，所述的吸附模具定位槽（5）底面中心为空心结构，四周带有托底机构（51），左右两侧各带有一组模具取样槽（52）。5.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，其特征在于，所述的吸附模具（6）包括样件定位槽（61），槽中有定位吸附孔（611），具有样件取样槽（62），吸附模具（6）带有一组提取把手（63）。

技术总结
本实用新型公开了一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置，包括真空泵，吸附管道、吸附管道接头、真空腔室、吸附模具定位槽、吸附模具。本实用新型的有益效果是：所采用的是形状定位和真空吸附固定样件技术方案，样件位置定位精准，产品在切割过程中不会移动，并且真空释压后样品容易拿取，实际生产中可进行连续精准定位，显著提高了产品生产效率和质量品质。样品切割后所采用的蓝膜整体转移技术，利于样品的整体转移，方法独特，生产效率高，为后续样品的测试和批量供货提供了基础保障。品的测试和批量供货提供了基础保障。品的测试和批量供货提供了基础保障。


技术研发人员：邰凯平 徐明 赵洋 孙东明 成会明
受保护的技术使用者：辽宁冷芯半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.28
技术公布日：2022/7/12