一种硅片剥离用全自动清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及硅片处理技术领域，具体为一种硅片剥离用全自动清洗机。


背景技术：

2.随着科学技术的不断发展的同时也不断推动着半导体的发展，同时自动化和计算机等技术的发展也为硅片的广泛使用奠定了基础，硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，是现代化的微型知识库，在硅片剥离中，需要对硅片进行清洗，现有的部分清洗装置自动化程度较低，效率较低；并且清洗不够彻底，为此，我们提出一种硅片剥离用全自动清洗机。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硅片剥离用全自动清洗机，可实现硅片的自动清洗，提高了清洗效率，同时清洗更加彻底，实用性较强，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片剥离用全自动清洗机，包括底座和传送组件；
5.底座：表面设有支架，所述支架的内侧面的上下两侧对应设有固定杆，所述支架的顶部设有驱动组件，所述驱动组件上设有合拢组件，所述合拢组件上设有清洗组件；
6.传送组件：包括条形框、转辊、传送带和条形槽，所述条形框上下对应设有两个，且两个条形框分别与上下两侧的固定杆的端部固定连接，所述转辊均匀转动连接在条形框内，且首尾两侧的转辊之间通过传送带传动连接，所述条形槽开设于传送带的表面中部；
7.其中：还包括plc控制器，所述plc控制器设于底座的表面，所述plc 控制器的输入端与外部电源的输出端电连接。
8.进一步的，还包括第一电机，所述第一电机设于条形框的侧面，所述第一电机的输出轴与位于端部的转辊的一端固定连接，所述第一电机的输入端与plc控制器的输出端电连接，通过将硅片的上下两侧分别与上下两侧的条形槽对应配合，可利用第一电机的转动带动底侧一端的转辊转动，进而可利用传送带实现各个转辊的同步转动，通过与上侧的传送带的配合，即可实现硅片的竖直传送。
9.进一步的，所述驱动组件包括方杆、支板、曲杆、连接座和第二电机，所述方杆贯穿支架的顶面中部，所述支板设于支架的顶面，所述曲杆的端部转动连接在支板上，所述连接座的一端活动套接在曲杆中部的凸起处，且连接座的另一端与方杆的顶端铰接，所述第二电机设于支板的侧面，所述第二电机的输出轴与曲杆的端部固定连接，且第二电机的输入端与plc控制器的输出端电连接，驱动组件可利用第二电机的转动带动曲杆转动，进而可通过连接座实现方杆的快速往复升降，即可实现清洁刷的高频往复升降，使清洗更加彻底。
10.进一步的，所述合拢组件包括滑轨、双向螺杆、滑座、第三电机和安装板，所述滑轨设于方杆的底端，所述双向螺杆转动连接在滑轨内，且双向螺杆的两侧对称设有螺旋方向相反的螺纹，所述滑座对称设有两个，且两个滑座分别通过中部的螺孔螺纹连接在双向螺
杆的两侧，所述第三电机设于滑轨的端面，且第三电机的输出轴与双向螺杆的端部固定连接，所述安装板对称设于两侧的滑座的底面，所述第三电机的输入端与plc控制器的输出端电连接，合拢组件可利用第三电机的转动带动双向螺杆转动，进而可实现两侧滑座的相互合拢，即可使两侧的清洁刷与硅片的两侧紧密贴合，同时提高清洁效果。
11.进一步的，所述清洗组件包括第一固定杆和清洁刷，所述第一固定杆对称设于两侧的安装板的侧面底部，所述清洁刷对称设于两侧第一固定杆的相对一端。
12.进一步的，所述清洗组件还包括喷嘴和供水管，所述喷嘴对称设于两侧的安装板的侧面，所述供水管设于喷嘴的外部一端，且供水管的端部与外部的供水系统连接，清洁刷在与硅片侧面贴合后，利用驱动组件带动清洁刷高频升降，实现清洁，同时，利用外部的供水系统将经过加压后的清洗液送入喷嘴，即可对硅片的侧面进行冲洗。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本硅片剥离用全自动清洗机，具有以下好处：
14.1、本硅片剥离用全自动清洗机的可利用第一电机的转动带动底侧一端的转辊转动，进而可利用传送带实现各个转辊的同步转动，通过与上侧的传送带的配合，即可实现硅片的自动竖直传送。
15.2、本硅片剥离用全自动清洗机的驱动组件可利用第二电机的转动带动曲杆转动，进而可通过连接座实现方杆的快速往复升降，即可实现清洁刷的高频往复升降，使清洗更加彻底。
16.3、本硅片剥离用全自动清洗机的合拢组件可利用第三电机的转动带动双向螺杆转动，进而可实现两侧滑座的相互合拢，即可使两侧的清洁刷与硅片的两侧紧密贴合，同时提高清洁效果。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图。
18.图中：1底座、11plc控制器、12支架、13固定杆、2传送组件、21条形框、22转辊、23传送带、24条形槽、3第一电机、4驱动组件、41方杆、 42支板、43曲杆、44连接座、45第二电机、5合拢组件、51滑轨、52双向螺杆、53滑座、54第三电机、55安装板、6清洗组件、61第一固定杆、62 清洁刷、63喷嘴、64供水管。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1，本实施例提供一种技术方案：一种硅片剥离用全自动清洗机，包括底座1和传送组件2；
21.底座1：表面设有支架12，支架12的内侧面的上下两侧对应设有固定杆 13，支架12的顶部设有驱动组件4，驱动组件4包括方杆41、支板42、曲杆 43、连接座44和第二电机45，方杆41贯穿支架12的顶面中部，支板42设于支架12的顶面，曲杆43的端部转动连接在支板
42上，连接座44的一端活动套接在曲杆43中部的凸起处，且连接座44的另一端与方杆41的顶端铰接，第二电机45设于支板42的侧面，第二电机45的输出轴与曲杆43的端部固定连接，且第二电机45的输入端与plc控制器11的输出端电连接，驱动组件4上设有合拢组件5，合拢组件5包括滑轨51、双向螺杆52、滑座53、第三电机54和安装板55，滑轨51设于方杆41的底端，双向螺杆52转动连接在滑轨51内，且双向螺杆52的两侧对称设有螺旋方向相反的螺纹，滑座 53对称设有两个，且两个滑座53分别通过中部的螺孔螺纹连接在双向螺杆 52的两侧，第三电机54设于滑轨51的端面，且第三电机54的输出轴与双向螺杆52的端部固定连接，安装板55对称设于两侧的滑座53的底面，第三电机54的输入端与plc控制器11的输出端电连接，合拢组件5上设有清洗组件6，清洗组件6包括第一固定杆61和清洁刷62，第一固定杆61对称设于两侧的安装板55的侧面底部，清洁刷62对称设于两侧第一固定杆61的相对一端，清洗组件6还包括喷嘴63和供水管64，喷嘴63对称设于两侧的安装板55的侧面，供水管64设于喷嘴63的外部一端，且供水管64的端部与外部的供水系统连接；
22.传送组件2：包括条形框21、转辊22、传送带23和条形槽24，条形框 21上下对应设有两个，且两个条形框21分别与上下两侧的固定杆13的端部固定连接，转辊22均匀转动连接在条形框21内，且首尾两侧的转辊22之间通过传送带23传动连接，条形槽24开设于传送带23的表面中部；
23.其中：还包括plc控制器11，plc控制器11设于底座1的表面，plc控制器11的输入端与外部电源的输出端电连接。
24.其中：还包括第一电机3，第一电机3设于条形框21的侧面，第一电机 3的输出轴与位于端部的转辊22的一端固定连接，第一电机3的输入端与plc 控制器11的输出端电连接。
25.将硅片的上下两侧分别与上下两侧的条形槽24对应配合，利用第一电机 3的转动带动底侧一端的转辊22转动，进而可利用传送带23实现各个转辊 22的同步转动，通过与上侧的传送带23的配合，即可实现硅片的竖直传送。
26.本实用新型提供的一种硅片剥离用全自动清洗机的工作原理如下：首先，通过将硅片的上下两侧分别与上下两侧的条形槽24对应配合，利用第一电机 3的转动带动底侧一端的转辊22转动，进而可利用传送带23实现各个转辊 22的同步转动，通过与上侧的传送带23的配合，即可实现硅片的竖直传送，硅片传送至与清洁刷62对应时停下，利用第三电机54的转动带动双向螺杆 52转动，进而可实现两侧滑座53的相互合拢，即可使两侧的清洁刷62与硅片的两侧紧密贴合，然后利用第二电机45的转动带动曲杆43转动，进而可通过连接座44实现方杆41的快速往复升降，即可实现清洁刷62的高频往复升降，同时利用外部的供水系统将经过加压后的清洗液经过供水管64送入喷嘴63，即可对硅片的侧面进行冲洗，实现清洗。
27.值得注意的是，以上实施例中所公开的plc控制器11核心芯片具体型号为西门子s7-300，第一电机3、第二电机45和第三电机54则可根据实际应用场景自由配置，第一电机3、第二电机45和第三电机54可选用伺服电机。 plc控制器控制第一电机3、第二电机45和第三电机54工作采用现有技术中常用的方法。
28.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。