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一种硅片剥离用全自动清洗机的制作方法

2022-07-13 06:20:56 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:包括底座(1)和传送组件(2);底座(1):表面设有支架(12),所述支架(12)的内侧面的上下两侧对应设有固定杆(13),所述支架(12)的顶部设有驱动组件(4),所述驱动组件(4)上设有合拢组件(5),所述合拢组件(5)上设有清洗组件(6);传送组件(2):包括条形框(21)、转辊(22)、传送带(23)和条形槽(24),所述条形框(21)上下对应设有两个,且两个条形框(21)分别与上下两侧的固定杆(13)的端部固定连接,所述转辊(22)均匀转动连接在条形框(21)内,且首尾两侧的转辊(22)之间通过传送带(23)传动连接,所述条形槽(24)开设于传送带(23)的表面中部;其中:还包括plc控制器(11),所述plc控制器(11)设于底座(1)的表面,所述plc控制器(11)的输入端与外部电源的输出端电连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:还包括第一电机(3),所述第一电机(3)设于条形框(21)的侧面,所述第一电机(3)的输出轴与位于端部的转辊(22)的一端固定连接,所述第一电机(3)的输入端与plc控制器(11)的输出端电连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:所述驱动组件(4)包括方杆(41)、支板(42)、曲杆(43)、连接座(44)和第二电机(45),所述方杆(41)贯穿支架(12)的顶面中部,所述支板(42)设于支架(12)的顶面,所述曲杆(43)的端部转动连接在支板(42)上,所述连接座(44)的一端活动套接在曲杆(43)中部的凸起处,且连接座(44)的另一端与方杆(41)的顶端铰接,所述第二电机(45)设于支板(42)的侧面,所述第二电机(45)的输出轴与曲杆(43)的端部固定连接,且第二电机(45)的输入端与plc控制器(11)的输出端电连接。4.根据权利要求3所述的一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:所述合拢组件(5)包括滑轨(51)、双向螺杆(52)、滑座(53)、第三电机(54)和安装板(55),所述滑轨(51)设于方杆(41)的底端,所述双向螺杆(52)转动连接在滑轨(51)内,且双向螺杆(52)的两侧对称设有螺旋方向相反的螺纹,所述滑座(53)对称设有两个,且两个滑座(53)分别通过中部的螺孔螺纹连接在双向螺杆(52)的两侧,所述第三电机(54)设于滑轨(51)的端面,且第三电机(54)的输出轴与双向螺杆(52)的端部固定连接,所述安装板(55)对称设于两侧的滑座(53)的底面,所述第三电机(54)的输入端与plc控制器(11)的输出端电连接。5.根据权利要求4所述的一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:所述清洗组件(6)包括第一固定杆(61)和清洁刷(62),所述第一固定杆(61)对称设于两侧的安装板(55)的侧面底部,所述清洁刷(62)对称设于两侧第一固定杆(61)的相对一端。6.根据权利要求5所述的一种硅片剥离用全自动清洗机,其特征在于:所述清洗组件(6)还包括喷嘴(63)和供水管(64),所述喷嘴(63)对称设于两侧的安装板(55)的侧面,所述供水管(64)设于喷嘴(63)的外部一端,且供水管(64)的端部与外部的供水系统连接。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片剥离用全自动清洗机,涉及硅片处理技术领域,包括底座和传送组件;底座:表面设有支架,所述支架的内侧面的上下两侧对应设有固定杆,所述支架的顶部设有驱动组件,所述驱动组件上设有合拢组件,所述合拢组件上设有清洗组件;传送组件:包括条形框、转辊、传送带和条形槽,所述条形框上下对应设有两个,且两个条形框分别与上下两侧的固定杆的端部固定连接,所述转辊均匀转动连接在条形框内,且首尾两侧的转辊之间通过传送带传动连接,所述条形槽开设于传送带的表面中部,本硅片剥离用全自动清洗机,可实现硅片的自动清洗,提高了清洗效率,同时清洗更加彻底,实用性较强。性较强。性较强。


技术研发人员:周琛怿
受保护的技术使用者:江苏晋誉达半导体股份有限公司
技术研发日:2022.02.28
技术公布日:2022/7/12
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