一种蚀刻液反应釜的制作方法

1.本实用新型属于蚀刻液生产设备技术领域，尤其涉及一种蚀刻液反应釜。


背景技术：

2.蚀刻液被广泛应用于集成电路、半导体器件以及印制电路板的生产加工。在蚀刻液的生产过程中，需要利用反应釜对原料进行配制。而在反应釜内制备蚀刻液时需要时刻进行取样，以便于随时监控蚀刻液的制备状态。
3.现有的反应釜通常利用顶部设置的观察窗或是加料管的位置机型取样，但是此种方式通常需要将手伸入反应釜中进行取样。由于蚀刻液的原料具有腐蚀性，而且酸性蚀刻液还具有挥发性，此种取样方式容易导致人体直接或间接的接触蚀刻液或其挥发的气体，存在严重的安全隐患，并且长期处于这样的工作环境中也容易损害人体健康。


技术实现要素：

4.为解决现有技术不足，本实用新型提供一种蚀刻液反应釜，便于取样，避免人体肢体伸入反应釜内，减小气体挥发通道，减少人体与蚀刻液的接触几率。
5.为了实现本实用新型的目的，拟采用以下方案：
6.一种蚀刻液反应釜，包括：罐体，罐体下段的侧壁设有取样管，取样管呈水平设置，取样管的后端具有端盖。
7.取样管前端管口处设有阀门，阀门位于罐体内。
8.取样管内部沿轴线方向滑动设有活塞，活塞的外壁与取样管的内壁之间具有密封结构，当活塞移动至取样管的前端时，活塞的前端面与阀门的后端面贴合。
9.取样管的侧壁连通有旁通管，旁通管位于取样管的上侧面，旁通管位于取样管的中段，旁通管设有密封盖。
10.进一步的，阀门的后端与取样管的前端为圆锥面密封结构。
11.进一步的，阀门的周侧设有橡胶密封圈，橡胶密封圈用于密封罐体侧壁安装取样管的通孔。
12.进一步的，阀门的后端设有延长杆，延长杆同轴穿过活塞以及端盖，延长杆外壁与活塞之间具有密封结构。
13.进一步的，延长杆的末端与端盖的外壁之间设有弹簧，弹簧向延长杆施加向后端的弹力，使阀门时刻处于关闭状态，弹簧套设于延长杆的外侧。
14.进一步的，活塞的后端设有至少一根导杆，导杆与取样管平行。
15.进一步的，导杆平行设有两根，其末端同时连接于一弧形板，两根导杆对称设于延长杆的两侧，且导杆与延长杆之间具有间隔，弧形板的内弧侧具有半圆槽，用于避让延长杆。
16.进一步的，端盖的后端设有限位杆，限位杆的末端设有挡板，当阀门打开时，挡板用于阻挡弧形板，当弧形板的后端面与挡板的前端面接触时，活塞位于旁通管与取样管的
前端之间。
17.进一步的，挡板为圆盘结构，且同轴转动设于限位杆，挡板的一侧开设有弧形缺口，用于避让弧形板。
18.本实用新型的有益效果在于：设置有专用的取样管，减小气体挥发通道，便于取样，防止人体肢体伸入反应釜内；并且在取样时利用活塞及阀门交替隔绝反应釜内的蚀刻液，减少人体与蚀刻液的接触几率，提高取样时的安全性。
附图说明
19.本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本实用新型的范围。
20.图1示出了本技术的整体构造图。
21.图2示出了蚀刻液从罐体进入取样管时取样管内部结构示意图。
22.图3示出了从取样管内取出蚀刻液时取样管内部结构示意图。
23.图4示出了图3中a处的放大图。
24.图5示出了取样管的结构爆炸图
25.图6示出了蚀刻液从罐体进入取样管时取样管的后端视图。
26.图7示出了挡板避让弧形板时的结构示意图。
27.图中标记：罐体-10、取样管-20、旁通管-201、阀门-21、橡胶密封圈-211、延长杆-212、活塞-22、导杆-221、弧形板-222、半圆槽-223、密封盖-23、端盖-24、限位杆-241、弹簧-25、挡板-26、弧形缺口-261。
具体实施方式
28.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型的实施方式进行详细说明，但本实用新型所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
29.如图1、图2所示，一种蚀刻液反应釜，包括：罐体10，罐体10下段的侧壁设有取样管20，取样管20呈水平设置，取样管20的后端具有端盖24。
30.具体的，如图2、图3以及图5所示，取样管20前端管口处设有阀门21，阀门21位于罐体10内，当阀门21向取样管20的前方移动时，便可打卡取样管20的端口，此时罐体10内的蚀刻液便会自动流入取样管20内；向取样管20后端移动阀门21便可关闭取样管20的管口，将罐体10与取样管20之间的通断隔断。
31.具体的，如图2、图3以及图5所示，取样管20内部沿轴线方向滑动设有活塞22，活塞22的外壁与取样管20的内壁之间具有密封结构，可采用在活塞22的周侧设置密封圈的方式实现密封。控制活塞22在取样管20内的位置可以确定罐体10排入取样管20内的蚀刻液的多少。活塞22越靠近取样管20的前端，取样管20内的蚀刻液越少，活塞22越靠近取样管20的后端，取样管20内的蚀刻液越多；可根据取样多少的需求调节活塞22的位置。
32.当取样管20前端与活塞22之间的部位填充满蚀刻液之后便可关闭阀门21；然后向取样管20后端移动活塞22，使蚀刻液在取样管20内的液面降低，之后便可通过旁通管201取出样本。
33.当完成取样之后可将活塞22向取样管20的前端移动，并打开阀门，使活塞22的前端面与阀门21的后端面贴合，再将阀门21关闭，以保证将取样管20内的蚀刻液全部排回至罐体10中，避免蚀刻液浪费。
34.具体的，如图2、图3所示，取样管20的侧壁连通有旁通管201，旁通管201的内径小于15mm，以减小蚀刻液挥发通道。旁通管201位于取样管20的上侧面，旁通管201位于取样管20的中段，旁通管201设有密封盖23防止蚀刻液泄漏。当罐体10中的蚀刻液排出取样管20时，活塞22位于旁通管201与阀门21之间，利用活塞22封堵取样管20，防止蚀刻液从旁通管201处漏出。
35.优选的，阀门21与取样管20之间的密封结构如图4所示，阀门21的后端与取样管20的前端为圆锥面密封结构，可利用罐体10内蚀刻液的压力使阀门21紧贴取样管20的管口，实现密封。
36.优选的 ，如图4所示，阀门21的周侧设有橡胶密封圈211，橡胶密封圈211用于密封罐体10侧壁安装取样管20的通孔，以提高密封效果。
37.优选的，如图2、图3所示，阀门21的后端设有延长杆212，延长杆212同轴穿过活塞22以及端盖24，延长杆212外壁与活塞22之间具有密封结构，通过沿轴线移动延长杆212便可控制阀门21的开闭。
38.优选的，如图5至图7所示，延长杆212的末端与端盖24的外壁之间设有弹簧25，弹簧25向延长杆212施加向后端的弹力，使阀门21时刻处于关闭状态，弹簧25套设于延长杆212的外侧。需要打开阀门21时只需要按压延长杆212即可。当松开延长杆212，阀门21便可自动关闭。
39.优选的，活塞22的后端设有至少一根导杆221，导杆221与取样管20平行，通过拉动导杆221便可控制活塞22在取样管20内的位置。
40.优选的，如图5至图7所示，导杆221平行设有两根，其末端同时连接于一弧形板222，可利用弧形板222作为拉动导杆221的把手，两根导杆221对称设于延长杆212的两侧，且导杆221与延长杆212之间具有间隔，弧形板222的内弧侧具有半圆槽223，用于避让延长杆212。
41.优选的，如图5至图7所示，端盖24的后端设有限位杆241，限位杆241的末端设有挡板26，当阀门21打开时，挡板26用于阻挡弧形板222，当弧形板222的后端面与挡板26的前端面接触时，活塞22位于旁通管201与取样管20的前端之间。
42.优选的，如图6、图7所示，挡板26为圆盘结构，且同轴转动设于限位杆241，挡板26的一侧开设有弧形缺口261，用于避让弧形板222。
43.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本实用新型。本领域技术人员应理解，在不脱离本实用新型的范围情况下，对本实用新型进行的各种改变或同等替换，均属于本实用新型保护的范围。