一种用于抛光头刷洗装置的制作方法

1.本技术涉及研磨抛光的技术领域，尤其是涉及一种用于抛光头刷洗装置。


背景技术：

2.硅片研磨抛光过程，主要是利用抛光头下方的硅片和抛光大盘之间存在的线速度差，通过线速度差达到硅片表面去除材质目的。抛光头和硅片之间既有通过陶瓷盘贴付硅片的间接接触方式，又有抛光头直接吸附硅片的直接接触方式。无论是哪种接触方式存在，由于硅片品质的高要求性，对抛光头的洁净性都体提出了很高的要求，尤其是当抛光头和硅片直接接触。
3.现有技术中，在抛光时抛光头是长期接触抛光液的，而抛光液结晶在抛光过程中是非常常见的，如果抛光液在抛光头上形成结晶，掉落到抛光盘上导致硅片划伤。
4.因此，现有技术的技术问题在于：抛光头上形成结晶而划伤硅片。


技术实现要素：

5.本技术提供一种用于抛光头刷洗装置，解决了现有技术中抛光头上形成结晶而划伤硅片的技术问题；达到刷洗抛光头减少结晶从而减小硅片被结晶划伤的可能的技术效果。
6.本技术提供的一种用于抛光头刷洗装置，采用如下的技术方案：
7.一种用于抛光头刷洗装置，包括：机架；刷臂，所述刷臂转动连接于所述机架；驱动机构，所述驱动机构连接所述刷臂，所述驱动机构作用于所述刷臂上并驱动所述刷臂移动；以及刷洗机构，所述刷洗机构包括：第一刷头组件，所述第一刷头组件包括第一刷头，所述第一刷头连接于所述刷臂上；第二刷头组件，所述第二刷头组件包括第二刷头，所述第二刷头连接于所述刷臂上；所述第一刷头与所述第二刷头之间形成用于容置抛光头的容置空间，所述第一刷头位于所述容置空间下方，所述第一刷头作用于抛光头的底面；所述第二抛头位于所述容置空间的侧面，所述第二刷头作用于抛光头侧面。
8.作为优选，所述第一刷头组件还包括：第一座，所述第一座转动连接于所述刷臂上，所述第一刷头位于所述第一座上；调高块，所述调高块位于所述第一座与所述第一刷头之间，所述调高块分别与所述第一座、第一刷头固定连接。
9.作为优选，所述第二刷头组件还包括第二座，所述第二座可调式连接于所述刷臂上，所述第二刷头可调试连接于所述第二座。
10.作为优选，所述第一座上设置有第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述第一刷头旋转，所述第一驱动组件包括：第一电机，所述第一电机固定于所述机架；第一传动件，所述第一传动件连接于所述第一电机与所述第一刷头之间。
11.作为优选，所述驱动机构包括：转轴，所述转轴设置于所述机架与所述刷臂之间，所述转轴与所述机架转动连接，使得所述转轴可绕轴自转，所述转轴与所述刷臂固定连接；第二电机，所述第二电机固定于所述机架；以及第二传动件，所述第二传动件连接于所述第
二电机与所述转轴之间。
12.作为优选，所述第一传动件包括：传动轴，所述转动轴连接于所述第一电机的输出轴；同步带，所述同步带连接于所述传动轴于所述第一刷头之间。
13.作为优选，所述第二传动件包括：第一齿轮，所述第一齿轮连接于所述第二电机的输出轴；第二齿轮，所述第二齿轮套设于所述转轴外圈，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合。
14.作为优选，所述传动轴位于所述转轴内；所述同步带位于所述刷臂内。
15.作为优选，所述第一齿轮与所述机架之间设置有限位组件，所述限位组件包括：第一挡块，所述第一挡块固定于所述第一齿轮上；第二挡块，所述第二挡块固定于所述机架上，所述第二挡块用于所述第一挡块抵触使得所述第一齿轮的转动角度被限定。
16.作为优选，所述同步带上设置有调整组件，所述调整组件包括：调节导轮，所述调节导轮可移动，所述调节导轮与所述同步带传动配合；限位件，所述限位件连接于所述调节导轮，用于对所述调节导轮进行限位。
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术通过在可旋转的刷臂设置第一刷头与第二刷头，第一刷头方向朝上，用于刷洗抛头的正下方，第二刷头用于刷洗抛头侧面，从而提高对抛头的刷洗清洁效果。解决了现有技术中抛光头上形成结晶而划伤硅片的技术问题；达到刷洗抛光头减少结晶从而减小硅片被结晶划伤的可能的技术效果。
19.2、第二刷头可调式的连接在第二座上，通过调节第二刷头位置，增大第二刷头在抛光头上的可刷洗面积，进一步提高对抛光头的刷洗清洁效果。
20.3、第一刷头与第一座之间设置调高块，通过不同高度的调高块可以调整第一刷头的高度，从而适用于对不同高度的抛头刷洗。
21.4、传动杆内置于转轴中，同步带内置于刷臂中，减小结构占用的空间，提高空间利用率。
附图说明
22.图1是本技术所述一种用于抛光头刷洗装置的示意图；
23.图2是本技术所述一种用于抛光头刷洗装置的俯视图；
24.图3是图1中k-k剖视图；
25.图4是本技术所述一种用于抛光头刷洗装置的第一刷头组件的放大图。
26.附图标记说明：1、检测片；2、传感器；3、固定住；5、主架台；6、引水护罩；7、轴承；8、第一同步轮；9、刷臂；10、转轴；13、第二座；14、第二刷头；15、第一刷头；16、调高块；17、法兰；18、第二同步轮；19、第一座；21、第二架；22、第二电机；23、第一齿轮；24、第二齿轮；25、传动轴；26、第一电机；27、联轴器；28、第一架；30、调节导轮；31、喷水管；32、第二挡块；33、第一挡块；34、腰型孔；35、固定孔位。
具体实施方式
27.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和
间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
28.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
29.本技术实施例提供了一种用于抛光头刷洗装置，通过在可旋转的刷臂9设置第一刷头15与第二刷头14解决了现有技术中抛光头上形成结晶而划伤硅片的技术问题；达到刷洗抛光头减少结晶从而减小硅片被结晶划伤的可能的技术效果。
30.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
31.如图1所示，一种用于抛光头刷洗装置，包括机架、刷臂9、驱动机构以及刷洗机构。
32.机架包括主架台5、第一架28以及第二架21，第一架28和第二架21均固定于主架台5下方，主架台5上罩设有引水护罩6。
33.刷臂9转动连接在主架台5上，刷臂9呈水平设置，使得刷臂9可相对于主架台5水平转动，刷臂9与主架台5之间通过转轴10连接，具体的，转轴10顶部与刷臂9的一端固定连接，且转轴10与刷臂9底面之间设置有阻水盖，放置液体进入转轴10或刷臂9中，转轴10的底部通过轴承7与主架台5转动连接，使得转轴10可在主架台5上自转，从而带动刷臂9在主架台5上水平转动；其中，刷臂9和转轴10内部中空，刷臂9远离转轴10的一端的侧面固定有喷水管31，喷水管31用于湿润第一刷头15。
34.驱动机构包括转轴10、第二电机22以及第二传动件，转轴10通过轴承7转动连接于主架台5上，第二电机22固定于第二架21上；第二传动件包括第一齿轮23和第二齿轮24，第一齿轮23固定在第二电机22的输出轴上，第二齿轮24套设于转轴10外侧，第二电机22工作时带动第一齿轮23转动，通过第一齿轮23和第二齿轮24配合，从而带动转轴10和刷臂9发生转动。
35.如图3所示，在机架与第一齿轮23之间设置限位组件，限位组件包括第一挡块33和第二挡块32，第一挡块33数量为一个，固定于第一齿轮23的上表面，第二挡块32数量为两个，固定在主架台5下方，第一挡块33位于两第二挡块32之间，第一齿轮23在转动时，第一挡块33可与第二挡块32发生抵触，从而使得第一齿轮23的转动角度被限定，从而限定了刷臂9的转动角度，防止刷臂9撞机。
36.如图1、2以及4所示，刷洗结构包括第一刷头组件和第二刷头组件。第一刷头组件包括第一刷头15，第二刷头组件包括第二刷头14，第一刷头15和第二刷头14分别设置于刷臂9上，在第一刷头15和第二刷头14之间形成有容置空间，容置空间用于向上容置抛光头，第一刷头15位于容置空间下方，作用于抛光头的底部；第二刷头14位于容置空间侧面，作用
于抛光头的侧面。具体的，第一刷头组件设置于刷臂9远离转轴10的一端上，第一刷头组件包括第一刷头15、第一座19以及调高块16，在刷臂9端部的上表面开设有开口，开口用于容置第一刷头组件，具体的，第一座19固定在刷臂9内底部上，第一座19位于开口正下方，第一座19通过法兰17转动连接调高块16底部，第一刷头15固定于调高块16顶部，第一刷头15的刷毛方向朝上。
37.在第一刷头15上设置有第一驱动组件，第一驱动组件用于驱动第一刷头15转动，第一驱动组件包括第一电机26和第一传动件，第一电机26固定于第一架28上；第一传动件连接于第一电机26和第一刷头15之间，第一传动件包括传动轴25、同步带、第一同步轮8以及第二同步轮18，传动轴25内置于转轴10中，传动轴25的一端通过联轴器27与第一电机26的输出轴连接，另一端延伸至刷臂9内，传动轴25位于刷臂9内的一端上套设第一同步轮8，第二同步轮18则转动连接于第一座19上，第一刷头15通过调高块16、法兰17连接在第二同步轮18上，同步带传动连接在第一同步轮8和第二同步轮18之间，其中，第一同步轮8、第二同步轮18以及同步带均位于刷臂9内。
38.如图2所示，在同步带上还设置有调整组件，调整组件包括调节导轮30、限位件以及调节座，调节导轮与同步带贴合，通过改变调节导轮的位置从而来调节同步带的张紧程度。调节导轮30和限位件均设置于调节座上，具体的，调节导轮30的轴向垂直固定于调节座上，调节导轮30可绕轴向转动；在调节座上开设有限位槽，限位槽具体为腰型孔，限位槽的开设方向垂直于同步带，限位槽中设置限位件，限位件用于对限位槽和调节导轮进行限位，限位件具体可以为螺栓，限位件穿过限位槽与刷臂锁紧，将调节座与调节导轮30的位置固定，从而调节同步带的张紧程度。
39.第二刷头组件包括第二座13和第二刷头14，第二座13具体为l形板，第二座13可调式的连接于刷臂9上顶面，在刷臂9顶面上开设若干个固定孔位35，通过螺栓将第二座13固定在固定孔位35上，第二座13固定于不同固定孔位35上，则实现对第二座13的位置调节。第二刷头14可调式的设置在第二座13上，具体的，在第二刷头14上设置有纵向的腰型孔34，利用螺栓穿过腰型孔34将第二刷头14固定于第二座上，拧紧螺栓则能够固定第二刷头14，拧松螺栓则可将第二刷头14沿腰型孔34纵向调节位置，腰型孔34的数量可以为一个或多个。
40.其中，第二刷头14的数量为一个、两个或多个，第二刷头14并列设置于刷臂顶面上，在一个实施例中，第二刷头14的数量为两个，两个第二刷头14的结构相同，不同在于，两个第二刷头14的刷毛方向存在角度差，其中一个第二刷头14的刷毛水平设置，另一第二刷头14的刷毛倾斜向下，两个刷毛角度不同的第二刷头14能够提高对抛光头的刷洗效果。
41.在一个实施例中，抛光头刷洗装置还包括原点检测组件，原点检测组件包括固定柱、传感器2以及检测片1，固定柱固定在主架台5下方，传感器2固定于固定柱上，检测片1安装于第二齿轮24上，通过传感器2检测检测片1的位置来检测刷臂9是否位于原位，传感器2可采用红外传感器。
42.工作原理/步骤：
43.第一刷头组件和第二刷头组件配合作用下，第一刷头组件用于刷洗抛光头底面，第一电机26工作时驱动转动杆自转，通过同步带带动第一刷头15发生转动，提高刷洗效果；第二刷头组件用于刷洗抛光头侧面，第二刷头14设置于刷臂9的侧面，第二刷头用于刷洗抛光头的侧面，在第二电机22的驱动下，第一齿轮23和第二齿轮24配合，带动转轴10发生转
动，从而带动刷臂9发生水平转动，提高辐射范围，方便抛光头刷洗。
44.技术效果：
45.1、本技术通过在可旋转的刷臂9设置第一刷头15与第二刷头14，第一刷头15方向朝上，用于刷洗抛头的正下方，第二刷头14用于刷洗抛头侧面，从而提高对抛头的刷洗清洁效果。解决了现有技术中抛光头上形成结晶而划伤硅片的技术问题；达到刷洗抛光头减少结晶从而减小硅片被结晶划伤的可能的技术效果。
46.2、第二刷头14可调式的连接在第二座13上，通过调节第二刷头14位置，增大第二刷头14在抛光头上的可刷洗面积，进一步提高对抛光头的刷洗清洁效果。
47.3、第一刷头15与第一座19之间设置调高块16，通过不同高度的调高块16可以调整第一刷头15的高度，从而适用于对不同高度的抛头刷洗。
48.4、传动杆内置于转轴10中，同步带内置于刷臂9中，减小结构占用的空间，提高空间利用率。
49.尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。
50.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。