ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结紫外光电探测器及制备方法

技术特征：
1.zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用磁控溅射的方式在干净的玻璃片上沉积一层zno薄膜；多次旋涂，将zno量子点溶液旋涂在磁控溅射zno层上，生成样品；对样品进行退火；在退火后的样品上镀金电极。2.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射的方式将zno薄膜沉积在玻璃片上之前，先用洗洁精加清水冲洗，后用无水乙醇和丙酮超声清洗干净。3.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射zno薄膜的制备方法是：采用射频磁控溅射的方式在干净的玻璃片上沉积zno薄；将玻璃片放入磁控溅射镀膜机后，先抽气至2
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pa；在镀膜时的气压选择1-3pa，射频源功率选择140w-150w的条件下镀膜一段时间得到一定厚度zno薄膜。4.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，所述zno量子点溶液的制备方法是：分别以二水醋酸锌和氢氧化钾为溶质，甲醇为溶剂，得到醋酸锌溶液和氢氧化钾溶液，在持续搅拌的条件下将温度升高到50-70℃，接着将氢氧化钾溶液逐滴滴入醋酸锌溶液，二水醋酸锌和氢氧化钾的质量比为1：0.4-0.5，保温2-3个小时后自然冷却，并且在重力的作用下让zno量子点沉降下来，接着用甲醇溶液对zno量子点清洗2-3次，最后将zno量子点分散在氯仿与甲醇体积比为2：1-2的混合溶液中。5.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，将140μl-150μl的zno量子点溶液以2400-2600r/min的转速旋涂到玻璃片上，并通过多次旋涂的方式增加薄膜厚度。6.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，所述退火的温度为200-250℃，退火的时间为50-60min。7.根据权利要求1所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，所述zno量子点溶液的质量浓度为25-30mg/ml。8.一种使用如权利要求1-7中任一项所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的制备方法的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器，其特征在于，包括由下至上依次设置的玻璃基底、磁控溅射zno薄膜、zno量子点薄膜和金电极。9.根据权利要求8所述的zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器，其特征在于，所述zno量子点/磁控溅射zno同质结紫外光电探测器的总厚度控制在300-400nm。

技术总结
本发明公开了一种ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结紫外光电探测器及制备方法，包括以下步骤：采用磁控溅射的方式在干净的玻璃片上沉积一层ZnO薄膜；多次旋涂，将ZnO量子点溶液旋涂在磁控溅射ZnO层上，生成样品；对样品进行退火；在退火后的样品上镀金电极。本发明提供的ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结紫外光电探测器的制备方法具有操作简便、产品安全无毒的优点。本发明制备得到的ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结紫外光电探测器具有光吸收性好，载流子传输速率高的优点。传输速率高的优点。传输速率高的优点。


技术研发人员：李明钰 李泽平 吕海飞 文晓艳 刘思思 黎敏
受保护的技术使用者：武汉理工大学
技术研发日：2022.03.14
技术公布日：2022/6/28