一种气悬浮真空吸盘的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆抓取设备领域，特别地，是一种气悬浮真空吸盘。


背景技术：

2.现有的真空吸盘整体材质为氧化铝陶瓷，表面芯部为微孔陶瓷，利用微孔陶瓷的孔隙使吸盘抽真空获得负压，将晶圆片吸附在吸盘表面，随后用夹具将晶圆片夹持。现有缺点是将晶圆片转移的过程中，夹具容易在晶圆片边缘留下痕迹，划伤损坏晶圆片，同时由于吸盘在做吸附晶圆的瞬时，晶圆碰撞吸盘表面的动能过大，也会划伤晶圆。


技术实现要素：

3.为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种气悬浮真空吸盘，该气悬浮真空吸盘能够使晶圆片转移过程中防止划伤。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.该气悬浮真空吸盘包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀。
6.作为优选，所述基座上设置有感应晶圆片距离的距离感应器，所述距离感应器控制所述气流转换阀的工作模式。
7.本实用新型的优点在于：
8.在不影响吸盘基本吸附性能的同时，利用气压转换使晶圆片脱落，利用正压进气，通过微孔陶瓷内部的气孔，使晶圆片脱离吸附面，向上悬浮，有利于样品的转移，不需要额外的夹持设备。
9.同时脉冲工作的气流转换阀能够减缓降低晶圆片靠近微孔陶瓷的速度和动能，保护晶圆片。
附图说明
10.图1是本气悬浮真空吸盘的结构示意图。
具体实施方式
11.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：
12.在本实施例中，参阅图1，该气悬浮真空吸盘包括基座200和设置在基座顶部的微孔陶瓷100，所述基座200的底部设置有向所述微孔陶瓷100提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀300。
13.所述基座200上设置有感应晶圆片10距离的距离感应器，所述距离感应器控制所述气流转换阀的工作模式。
14.所述气流转换阀在吸附晶圆片前采用脉冲进气、吸气的方式吸附晶圆片，晶圆片在微孔陶瓷100的脉冲吹气吸气的工况下，晶圆片10在被吸附入微孔陶瓷100的过程中被不
断缓冲，降低晶圆片10靠近微孔陶瓷100的速度和动能。
15.在所述距离感应器监测到晶圆片10被吸附后，所述气流转换阀300进入恒压吸附模式，并在基座200翻转后，所述气流转换阀300提供正压将晶圆片10吹起悬浮。
16.所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种气悬浮真空吸盘，其特征在于：包括基座(200)和设置在基座顶部的微孔陶瓷(100)，所述基座(200)的底部设置有向所述微孔陶瓷(100)提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀(300)，所述基座(200)上设置有感应晶圆片(10)距离的距离感应器，所述距离感应器控制所述气流转换阀的工作模式。

技术总结
本实用新型提供一种气悬浮真空吸盘包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀，本实用新型有利于样品的转移，不需要额外的夹持设备，同时脉冲工作的气流转换阀能够减缓降低晶圆片靠近微孔陶瓷的速度和动能，保护晶圆片。保护晶圆片。保护晶圆片。


技术研发人员：李华 贝国平 樊舒凯
受保护的技术使用者：苏州赋金科技有限公司
技术研发日：2021.11.22
技术公布日：2022/6/14