净化系统的制作方法

1.本发明涉及在隔离器、rabs、无菌室等、附随于它们的通行间、通行厢等室内产生净化用雾来进行净化的净化系统。


背景技术：

2.在制造药品或食品等的制造现场或者手术室等医疗现场，维持室内的无菌状态是重要的。尤其在药品制造的作业室即无菌室的净化中，需要完成符合gmp(good manufacturing practice：生产质量管理规范)的高度的净化验证。
3.近年来，要求无菌环境的作业室(以下称为净化对象室)的净化中广泛采用过氧化氢气体。该过氧化氢气体具有高效的灭菌效果，便宜且容易获得，并且作为最终分解成氧和水的环保的净化气体是有效的。但是，过氧化氢气体以往一直使用于各个净化对象室例如无菌室、隔离器、手套箱等小空间的净化。另一方面，为了在大空间的净化对象室、多个净化对象室的净化中使用过氧化氢气体，存在必须大量地稳定供给预定浓度的过氧化氢气体这样的问题。
4.如此，为了将大量的过氧化氢气体从净化气体产生装置向净化对象室供给，存在需要大口径且大规模的管道施工、对管道进行保温的加热器设备和耐腐蚀的材质的管道这样的问题。
5.尤其，在药品制造现场，净化对象室不限于一室的情况较多，需要同时对多个净化对象室进行净化。在该情况下，针对每个净化对象室来设置净化液供给装置、净化气体产生装置并针对每个净化气体产生装置来进行管道施工是低效率的。因此，从一台净化气体产生装置对于多个净化对象室配置较长的距离的管道，从该管道向各净化对象室配置分支管道来同时进行净化。在该情况下，在管道的分支部分处容易发生冷凝，并且从净化气体产生装置到各净化对象室的距离不同，因此存在无法分别准确地掌握供给了多少量的过氧化氢气体这样的问题。
6.另一方面，下述专利文献1中示出了过氧化氢气体的净化效果基于在净化对象部位的表面上冷凝的过氧化氢液的冷凝膜。因此，本发明者们发现了通过取代过氧化氢气体并将过氧化氢液的细微的雾(以下称为“过氧化氢雾”)向净化对象室供给而能够以更少的量的净化剂来进行高效的净化，提出了下述专利文献2等。
7.因此，认为通过向一室或多个净化对象室供给过氧化氢雾而高精度且高效地对各室进行净化。但是，在该情况下，针对每个净化对象室来设置净化液供给装置和雾产生装置(超声波雾化装置等)并针对各室来对净化液的供给量、净化条件进行管理也是低效率的。因此，考虑从一台净化液供给装置对于多个净化对象室配置较长的距离的供给配管，从该供给配管向在各净化对象室中分别设置的雾产生装置(能够将小型高性能的超声波雾化装置设置于各室)供给净化液，针对各净化对象室来产生过氧化氢雾并同时进行净化。
8.在先技术文献
9.专利文献
10.专利文献1：日本特公昭61-4543号公报
11.专利文献2：日本特愿2019-62333号


技术实现要素：

12.发明要解决的课题
13.在该情况下，在欲向各室的超声波雾化装置供给充分的净化液时，产生在长距离的供给配管中净化液作为死液残留而低效率并且不容易进行各室的供液量的管理这样的问题。另一方面，在考虑到净化液的高效的利用而欲向超声波雾化装置供给必要最小限度的净化液时，产生在净化液的供给不完善的情况下净化液缺乏而直接导致超声波雾化装置的核心部即超声波振动器的故障这样的问题。
14.因此，针对上述的诸多问题，本发明的目的在于提供一种净化系统，不需要大口径的管道、防止冷凝的加热器等大规模的设备，对于多个净化对象室，能够针对各室来进行长距离的配管，在供给配管中净化液不作为死液残留，且能够针对各室来供给必要的适量的净化液而超声波振动器不会发生故障，因此能够实现净化液的高效利用。
15.用于解决课题的手段
16.在解决上述课题时，本发明者们将利用小口径的供给配管向压缩空气中混合了过氧化氢液的一次雾用该供给配管向各净化对象室供给，在各净化对象室的附近或室内对该一次雾进行气液分离，用超声波雾化装置使分离的过氧化氢液成为细微的二次雾，从而完成了本发明。
17.即，根据技术方案1的记载，本发明的净化系统是对一个或两个以上的净化对象室(r1～rn)而使用净化用雾来对各净化对象室的内部进行净化的净化系统(100)，其特征在于，所述净化系统具备产生压缩空气的压缩空气产生单元(10)和供给构成净化用雾的净化液的净化液供给单元(20)，并且，所述净化系统对于各净化对象室而分别具备：将所述压缩空气与所述净化液气液混合并产生一次雾的一次雾产生单元(e1～en)、将从该一次雾气液分离的净化液转换成细微的二次雾的二次雾产生单元(m1～mn、mx、my)、将从所述压缩空气产生单元到所述一次雾产生单元之间连通的空气供给配管(al1～aln)、将从所述净化液供给单元到所述一次雾产生单元之间连通的净化液供给配管(ll1～lln)及将从所述一次雾产生单元到所述二次雾产生单元之间连通的一次雾供给配管(ml1～mln、mlx、mly)，所述二次雾产生单元具有一次雾接受器(r1～rn、rx、ry)和超声波雾化装置(a1～an、ax、ay)，所述一次雾接受器具备将从经由所述一次雾供给配管供给的一次雾气液分离的空气向外部放出的空气排出口(rx2、ry2)，所述超声波雾化装置具备压电振动器(ax2、ay2)和多孔振动板(ax1、ay1)，该多孔振动板(ax1、ay1)以贯通表面和背面的方式设置有使通过该压电振动器的振动而气液分离的净化液雾化的多个细微孔。
18.并且，根据技术方案2的记载，在技术方案1所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述压缩空气产生单元、所述净化液供给单元和各所述一次雾产生单元经由所述一次雾供给配管而配置于与各净化对象室分隔的位置，各所述二次雾产生单元经由所述一次雾供给配管而配置于各对应的净化对象室的附近或室内，从而对于各净化对象室，所述一次雾供给配管的输送距离比各对应的所述净化液供给配管的输送距离长。
19.并且，根据技术方案3的记载，在技术方案1或2所述的净化系统的基础上，本发明
的特征在于，所述超声波雾化装置将所述多孔振动板的表面朝向所述净化对象室的内部配置，将背面朝向所述一次雾接受器的内部配置，供给到所述一次雾接受器的一次雾从所述一次雾供给配管朝向所述多孔振动板的背面喷出并气液分离，分离的净化液在从该多孔振动板的背面向表面移动时雾化并从该表面向所述净化对象室的内部放出。
20.并且，根据技术方案4的记载，在技术方案1或2所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述超声波雾化装置将所述多孔振动板的表面朝向所述净化对象室的内部配置，将背面朝向在所述一次雾接受器的内部下端部设置的存液处配置，供给到所述一次雾接受器的一次雾从所述一次雾供给配管向所述一次雾接受器的内部放出并气液分离，分离的净化液在回收到该一次雾接受器的所述存液处之后，在从所述多孔振动板的背面向表面移动时雾化并从该表面向所述净化对象室的内部放出。
21.并且，根据技术方案5的记载，在技术方案4所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述一次雾接受器呈下端部收敛的纺锤形或半纺锤形，或者呈下端部收敛的具有纺锤形截面或半纺锤形截面的形状，使供给的一次雾气液分离，将分离的净化液回收到在下端部设置的所述存液处，将分离的空气从在上端部设置的所述空气排出口向外部放出。
22.并且，根据技术方案6的记载，在技术方案4所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述一次雾接受器通过旋风器机构使供给的一次雾气液分离，将分离的净化液回收到在下端部设置的所述存液处，将分离的空气从在上端部设置的所述空气排出口向外部放出。
23.并且，根据技术方案7的记载，在技术方案1～6中任一项所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述净化系统具备使所述二次雾分散/扩散的雾分散/扩散单元(v1～vn)，所述雾分散/扩散单元具备在所述净化对象室的内部壁面上配置的超声波振动盘，使该超声波振动盘进行超声波振动而从盘面产生基于超声波的声流，使由声辐射压对从所述二次雾产生单元放出的二次雾产生的按压稳定工作或间歇工作或强弱工作，从而使该二次雾分散/扩散。
24.并且，根据技术方案8的记载，在技术方案7所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，供给到所述净化对象室的内部的二次雾通过从所述超声波振动盘产生的超声波振动而进一步细微化。
25.并且，根据技术方案9的记载，在技术方案1～6中的任一个所述的净化系统的基础上，本发明的特征在于，所述净化系统具备使所述二次雾分散/扩散的雾扩散单元(w1～wn)，所述雾扩散单元具备在所述二次雾产生单元的附近配置的轴流风扇，通过该轴流风扇而使由空气流对从所述二次雾产生单元放出的二次雾产生的按压稳定工作或间歇工作或强弱工作，从而使该二次雾分散/扩散。
26.发明效果
27.根据上述结构，作为净化用雾的产生源的净化液通过一次雾产生单元而与压缩空气产生单元中产生的压缩空气混合并成为一次雾。该一次雾经由一次雾供给配管向二次雾产生单元供给，作为二次雾而成为细微的过氧化氢雾。在此，一次雾是压缩空气与净化液的混合雾，处于密度较高的状态，输送速度也较快，因此一次雾供给配管能够使用小口径的配管。因此，即使在净化对象室存在多个且一次雾供给配管相对于各净化对象室的配置距离不同的情况下，也能够针对每个净化对象室来配置适当的距离且较长的距离的供给配管。
由此，不需要大口径的管道等大规模的设备。
28.并且，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，因此不需要为了防止冷凝而对一次雾供给配管进行保温。因此，即使在净化对象室存在多个且针对每个净化对象室配置较长的距离的供给配管的情况下，也不需要防止冷凝的加热器等大规模的设备。
29.并且，根据上述结构，在净化对象室存在多个的情况下，使压缩空气产生单元和净化液供给单元在各净化对象室中共用，另一方面，一次雾产生单元、二次雾产生单元及将它们连结的一次雾供给配管(以下将这些称为“净化单元”)按照每个净化对象室来配置。由此，能够将压缩空气产生单元、净化液供给单元和各一次雾产生单元配置于与各净化对象室分隔的位置。另一方面，将各二次雾产生单元配置于各对应的净化对象室的附近或室内。如此，针对每个净化对象室来配置单独的净化单元，使净化液供给配管的输送距离变短，使混合气液供给配管的输送距离变长。由此，对于多个净化对象室，能够针对各室来进行较长的距离的配管。
30.如此，通过使净化液供给配管的输送距离变短，能够准确地掌握向一次雾产生单元的净化液的供给量。由此，能够准确地掌握针对每个净化对象室而向二次雾产生单元供给的净化液的量，向该净化对象室放出的二次雾的量变明确。另一方面，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，不会冷凝，因此能够使一次雾供给配管的输送距离变长并将净化液准确地输送至远处。而且，能够通过压缩空气而将配管中的过氧化氢液完全输送，因此不会在配管中残留死液。并且，能够准确地掌握向二次雾产生单元作为一次雾供给的过氧化氢液的量，因此过氧化氢液不会缺乏，二次雾产生单元的超声波振动器不会发生故障。由此，能够实现净化液的高效利用。
31.并且，根据上述结构，可以的是，超声波雾化装置将多孔振动板的表面朝向净化对象室的内部配置，将背面朝向一次雾接受器的内部配置。在该状态下，供给到一次雾接受器的一次雾从一次雾供给配管朝向多孔振动板的背面直接喷出，在多孔振动板的背面气液分离。分离的净化液在从多孔振动板的背面向表面移动时雾化并从该表面向净化对象室的内部放出。
32.并且，根据上述结构，可以的是，超声波雾化装置将多孔振动板的表面朝向净化对象室的内部配置，将背面朝向在所述一次雾接受器的内部下端部设置的存液处配置。在该状态下，供给到一次雾接受器的一次雾向一次雾接受器的内部放出并气液分离。分离的净化液回收到一次雾接受器的存液处，然后从多孔振动板的背面向表面移动时雾化并从该表面向净化对象室的内部放出。
33.并且，根据上述结构，可以的是，一次雾接受器呈下端部收敛的纺锤形或半纺锤形。并且，也可以呈下端部收敛的具有纺锤形截面或半纺锤形截面的形状。由此，从供给的一次雾气液分离的净化液被回收到在一次雾接受器的下端部设置的存液处。另一方面，分离的空气从在一次雾接受器的上端部设置的空气排出口向外部放出。
34.并且，根据上述结构，可以的是，一次雾接受器具有旋风器机构。由此，从供给的一次雾气液分离的净化液被回收到在一次雾接受器的下端部设置的存液处。另一方面，分离的空气从在一次雾接受器的上端部设置的空气排出口向外部放出。
35.并且，根据上述结构，可以的是，净化系统具备使二次雾分散/扩散的雾分散/扩散单元。雾分散/扩散单元具备在净化对象室的内部壁面上配置的超声波振动盘，使该超声波
振动盘进行超声波振动而从盘面产生基于超声波的声流。由此，通过使由声辐射压对从二次雾产生单元放出的二次雾产生的按压稳定工作或间歇工作或强弱工作，能够使该二次雾分散/扩散。并且，根据上述结构，向净化对象室的内部供给的二次雾通过从超声波振动盘产生的超声波振动而进一步细微化。
36.并且，根据上述结构，可以的是，所述净化系统具备使二次雾分散/扩散的雾扩散单元。雾扩散单元具备在二次雾产生单元的附近配置的轴流风扇，通过该轴流风扇而使由空气流对从二次雾产生单元放出的二次雾产生的按压稳定工作或间歇工作或强弱工作，从而能够使该二次雾分散/扩散。
37.因此，根据本发明，能够提供一种净化系统，不需要大口径的管道、防止冷凝的加热器等大规模的设备，对于多个净化对象室，能够针对各室来进行长距离的配管，在供给配管中净化液不作为死液残留，且能够针对各室来供给必要的适量的净化液而超声波振动器不会发生故障，因此能够实现净化液的高效利用。
附图说明
38.图1是表示本发明的净化系统的第一实施方式的概略结构图。
39.图2是表示变更了图1的第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置的第二实施方式的概略结构图。
40.图3是表示变更了图1的第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置并且配置了雾分散/扩散装置的第三实施方式的概略结构图。
41.图4是表示变更了图1的第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置并且配置了雾扩散装置的第四实施方式的概略结构图。
42.图5示出了本发明的净化系统中使用的二次雾产生单元的一例，(a)是从净化对象室侧观察的主视图，(b)是侧视截面图。
43.图6示出了本发明的净化系统中使用的二次雾产生单元的另一例，(a)是侧视截面图，(b)是俯视截面图。
具体实施方式
44.以下，基于各实施方式来说明本发明的净化系统。需要说明的是，本发明并不限定于下述所示的各实施方式。
45.《第一实施方式》
46.按照附图来说明本发明的净化系统的第一实施方式。图1是本第一实施方式的净化系统100的概略结构图。在本第一实施方式中，如图1所示，将由宽敞程度不同的n个室(n为正的整数)构成的隔离器设为净化对象室r1～rn。各净化对象室分别具有独立的空间，在室内上部具备循环风扇f1～fn、hepa过滤器h1～hn及整流板b1～bn。
47.需要说明的是，在本第一实施方式中，将由n个室构成的隔离器设为净化对象室，不过并不限于此，也可以为rabs、无菌室、通行间、通行厢等，还可以为它们的组合。并且，净化对象室的数目也可以为一室～多室中的任意个室。
48.在图1中，净化系统100在净化对象室r1～rn的各室中具有共通的空气压缩机(ca)10和过氧化氢液罐(l)20。并且，净化对象室r1～rn分别具备与各室对应的产生一次雾的喷
射器e1～en和过氧化氢雾产生装置m1～mn。该过氧化氢雾产生装置m1～mn作为二次雾产生单元起作用。需要说明的是，在图1中，净化对象室r1具有两台喷射器e1(1)、e1(2)及两台过氧化氢雾产生装置m1(1)、m1(2)。另一方面，净化对象室rn具有一台喷射器en及一台过氧化氢雾产生装置mn。这与各净化对象室的内部容积对应。
49.空气压缩机10作为用于产生压缩空气的压缩空气产生单元起作用，该压缩空气作为用于输送过氧化氢液的载气。该空气压缩机10配置于从净化对象室r1～rn远离的位置。
50.过氧化氢液罐20作为用于贮存过氧化氢液的净化液供给单元起作用，该过氧化氢液是作为净化用雾的过氧化氢雾的产生源。该过氧化氢液罐20配置于从净化对象室r1～rn远离的位置且空气压缩机10的附近。在此，过氧化氢液罐20中贮存的过氧化氢液的浓度并未特别限定，不过一般考虑到危险物等的处理而优选使用30～35重量％的过氧化氢液。并且，过氧化氢液罐20具备对内部的过氧化氢液的剩余量进行检测的称重器(ws)21和对剩余量进行控制的控制装置(未图示)。
51.喷射器e1～en作为用于将过氧化氢液气液混合到压缩空气中并产生一次雾的一次雾产生单元起作用。该喷射器e1～en配置于从净化对象室r1～rn远离的位置且空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近。
52.过氧化氢雾产生装置m1～mn由雾接受器mr1～mrn和超声波雾化装置a1～an(均未示于图1，构造后文叙述)构成。雾接受器mr1～mrn作为接受从喷射器e1～en输送来的包含过氧化氢液的一次雾并进行气液分离的一次雾接受器起作用。并且，该雾接受器mr1～mrn将气液分离的过氧化氢液向超声波雾化装置a1～an供给，并且将气液分离的空气向外部放出。关于该雾接受器mr1～mrn的构造，后文叙述。
53.在本第一实施方式的图1中，过氧化氢雾产生装置m1～mn配置于hepa过滤器h1～hn的上部(循环风扇f1～fn的附近)。在该情况下，产生的雾在循环风扇f1～fn运转时扩散。并且，过氧化氢雾产生装置m1～mn的位置并不限于此，也可以配置于侧壁内侧或侧壁外侧等任一处。需要说明的是，即使在将过氧化氢雾产生装置m1～mn配置于净化对象室r1～rn的外部的情况下，过氧化氢雾的放出口也在净化对象室r1～rn的内部开口。
54.超声波雾化装置a1～an接受从雾接受器mr1～mrn气液分离的过氧化氢液，产生细微的二次雾并向净化对象室r1～rn的内部放出。该超声波雾化装置a1～an与雾接受器mr1～mrn成为一体来构成作为二次雾产生单元起作用的过氧化氢雾产生装置m1～mn。需要说明的是，关于该超声波雾化装置a1～an的构造，也后文叙述。
55.需要说明的是，在最宽敞的净化对象室r1中如上述那样配置了两组净化单元(两台喷射器e1(1)、e1(2)、两台过氧化氢雾产生装置m1(1)、m1(2)及两根一次雾供给配管ml1(1)、ml1(2))。这是因为净化对象室r1的容积较大，与仅从一组净化单元供给大量的过氧化氢雾相比，分成两组净化单元而从两处放出过氧化氢雾，由此净化效率变高。并且，根据净化对象室的宽敞程度，也可以在一室中设置比两组多的净化单元。需要说明的是，即使是如此在一室中设置多个净化单元的情况，一次雾供给配管也为小口径，在设备费用方面不成问题。
56.并且，在图1中，净化系统100具备将空气压缩机10与喷射器e1～en连通的空气供给配管al1～aln、将过氧化氢液罐20与喷射器e1～en连通的净化液供给配管ll1～lln、将喷射器e1～en与雾接受器mr1～mrn连通的一次雾供给配管ml1～mln。
57.空气供给配管al1～aln将空气压缩机10的喷出口与喷射器e1～en的驱动流路(未图示)连通。在空气供给配管al1～aln的管路中分别设置对压缩空气的供给进行控制的开闭阀(未图示)。在此，关于空气供给配管al1～aln的材质及管径，并未特别限定，不过一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。需要说明的是，虽然图1中没有示出，但是也可以在空气压缩机10与空气供给配管al1～aln之间的管路中设置空气干燥器、空气调节器、自动排水器、油雾分离器、其他的过滤器等。
58.净化液供给配管ll1～lln将过氧化氢液罐20的供给口与喷射器e1～en的吸入流路(未图示)连通。在净化液供给配管ll1～lln的管路中分别设置有对过氧化氢液的供给进行控制的管泵p1～pn。在此，关于净化液供给配管ll1～lln的材质及管径，只要能够使用于过氧化氢液即可，并未特别限定，不过一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。
59.一次雾供给配管ml1～mln将喷射器e1～en的喷出流路与构成超声波雾化装置a1～an的雾接受器mr1～mrn连通。一次雾供给配管ml1～mln从空气压缩机10及过氧化氢液罐20的附近到在净化对象室r1～rn的上壁内侧配置的过氧化氢雾产生装置m1～mn的位置为止配管较长的距离。在此，关于一次雾供给配管ml1～mln的材质及管径，优选能够长距离输送每单位时间所需要的量的过氧化氢雾，一般优选为内径1～10mm的不锈钢管。
60.如此，对于净化对象室r1～rn，分别配置空气供给配管al1～aln、净化液供给配管ll1～lln和一次雾供给配管ml1～mln，由此能够针对每个净化对象室来单独地放出过氧化氢雾，能够针对各室来进行准确的净化。
61.并且，如由图1可知的那样，一次雾供给配管ml1～mln的输送距离为比空气供给配管al1～aln的输送距离或净化液供给配管ll1～lln的输送距离长的距离。基于该一次雾供给配管ml1～mln的一次雾的输送距离并未特别限定，不过通常能够输送3～100m程度。另一方面，空气供给配管al1～aln的输送距离或净化液供给配管ll1～lln的输送距离能够变短。
62.在本第一实施方式中，一次雾是压缩空气与过氧化氢液的混合气液，处于密度较高的状态，输送速度也较快，因此一次雾供给配管ml1～mln能够使用小口径的配管。因此，能够针对每个净化对象室来配置较长的距离的一次雾供给配管ml1～mln。由此，不需要大口径的管道等大规模的设备。
63.并且，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，因此不需要为了防止冷凝而对一次雾供给配管ml1～mln进行保温。因此，即使是针对每个净化对象室来配置较长的距离的配管的情况，也不需要防止冷凝的加热器等大规模的设备。
64.如此，通过使净化液供给配管ll1～lln的输送距离变短，能够准确地掌握向喷射器e1～en的过氧化氢液的供给量。由此，能够准确地掌握针对每个净化对象室而向雾接受器mr1～mrn供给的过氧化氢液的量，向该净化对象室放出的过氧化氢雾的量变明确。另一方面，一次雾中的过氧化氢液处于液体的状态，不会冷凝，因此能够使一次雾供给配管ml1～mln的输送距离变长并将过氧化氢液准确地输送至远处。而且，能够通过压缩空气而将一次雾供给配管ml1～mln中的过氧化氢液完全输送，因此不会在配管中残留死液。
65.接着，说明使用本第一实施方式的净化系统100来对净化对象室r1～rn进行净化的净化方法。
66.在本第一实施方式中，将四个室的净化对象室r1～rn用相同的净化用雾产生时间
净化。由于各净化对象室的宽敞程度不同，所以针对每个净化对象室来算出每单位时间应放出的过氧化氢雾的量。根据这些净化用雾放出量来算出从过氧化氢液罐20经由净化液供给配管ll1～lln向与各净化对象室对应的喷射器e1～en供给的过氧化氢液的量。需要说明的是，净化前的各室优选使用温度调节器及湿度调节器来预先设定成预定的条件。
67.接着，开始净化操作。首先，打开空气供给配管al1～aln的开闭阀(未图示)，从空气压缩机10经由空气供给配管al1～aln向喷射器e1～en的驱动流路供给压缩空气。在此，向喷射器e1～en供给的压缩空气并未特别限定，不过分别优选喷出压力为0.05mpa以上，空气流量为0.5～20nl/min。该空气流量只要根据向各净化对象室供给的过氧化氢液的浓度和量及到各净化对象室的距离来适当设定即可。
68.接着，使净化液供给配管ll1～lln的管泵p1～pn工作，从过氧化氢液罐20经由净化液供给配管ll1～lln向喷射器e1～en的吸入流路供给过氧化氢液。需要说明的是，该过氧化氢液的供给量对应于针对喷射器e1～en如上述那样计算的量。在此，向喷射器e1～en供给的过氧化氢液的浓度并未特别限定，不过一般可以直接使用流通的30～35重量％的过氧化氢液，或者也可以将上述浓度的过氧化氢液浓缩或稀释来使用。并且，向喷射器e1～en供给的过氧化氢液也可以分别将流量调整成0.5～10g/min。
69.需要说明的是，通过过氧化氢液的量为上述范围，且通过压缩空气的量为上述范围，能够经由一次雾供给配管ml1～mln将混合了过氧化氢液的一次雾输送较长的距离。
70.通过上述的操作，在喷射器e1～en中过氧化氢液和压缩空气进行一次雾化，从喷射器e1～en的喷出流路经由一次雾供给配管ml1～mln向构成过氧化氢雾产生装置m1～mn的雾接受器mr1～mrn供给。
71.在雾接受器mr1～mrn中，一次雾气液分离而产生过氧化氢液和空气。在雾接受器mr1～mrn中气液分离的过氧化氢从雾接受器mr1～mrn向在净化对象室r1～rn内具有放出口的超声波雾化装置a1～an供给。在该阶段中，超声波雾化装置a1～an的超声波振动器(后述)开始工作。由此，超声波雾化装置a1～an中产生的细微的过氧化氢雾向各净化对象室内放出，将各净化对象室内均匀地净化。
72.在本发明中，“雾”在广义上进行解释，包括细微化并在空气中漂浮的净化剂的液滴的状态、净化剂的气体和液滴混合的状态、净化剂在气体与液滴之间反复进行冷凝和蒸发的相变的状态等。并且，关于粒径，也在广义上解释为包括根据情况细分的雾/烟雾/液滴等。
73.因此，在本发明的雾中，包括根据情况称为雾(也有时定义为10μm以下)或烟雾(也有时定义为5μm以下)的雾及具有超过以上的粒径的雾。需要说明的是，在本发明中，认为通过超声波雾化装置a1～an的作用，即使是雾/烟雾/液滴等3μm～10μm或超过以上的液滴，也均匀化成5μm以下或3μm以下的超细微粒子并发挥高度的净化效果。
74.如此，以预定的时间放出过氧化氢雾。在经过了预定的时间的阶段，使净化液供给配管ll1～lln的管泵p1～pn停止，停止过氧化氢液的供给。在该阶段中，处于经由空气供给配管al1～aln向喷射器e1～en供给压缩空气的状态，将一次雾供给配管ml1～mln中的剩余的过氧化氢液全部传送到雾接受器mr1～mrn。由此，对于净化对象室r1～rn，分别准确地放出预定量的过氧化氢雾。在向超声波雾化装置a1～an供给的过氧化氢液全部雾化的阶段，超声波雾化装置a1～an的超声波振动器(后述)停止工作。
75.接着，关闭空气供给配管al1～aln的开闭阀11a～15a，停止压缩空气的供给。然后，将室内的过氧化氢雾排出，对室内进行通风，结束净化操作。需要说明的是，上述各操作优选通过基于微型计算机的自动控制来进行。
76.在此，说明本第一实施方式中使用的二次雾产生单元的一例。图5示出了二次雾产生单元的一例。在图5中，(a)是从净化对象室侧观察的主视图，(b)是侧视截面图。在图5中，作为二次雾产生单元的过氧化氢雾产生装置mx由雾接受器mrx和超声波雾化装置ax构成。
77.雾接受器mrx构成正面内部为半纺锤形的截面的空间，在半纺锤形的宽度收敛的正面下端部安装有超声波雾化装置ax。该内部空间的下端部为了具有气液分离的少量的净化液的存液处mrx1的功能而宽度收敛。并且，一次雾供给配管mlx的末端朝向雾接受器mrx的内部与雾接受器mrx的背面下端部(与超声波雾化装置ax相对的位置)连通。在雾接受器mrx的背面内部的上端部开口有空气排出口mrx2。需要说明的是，也可以在该空气排出口mrx2的路径上设置分解过氧化氢的过滤器mh。并且，在雾接受器mrx的内部中央的一次雾供给配管mlx的末端与空气排出口mrx2之间设有挡板mrx3。
78.超声波雾化装置ax由以贯通表面和背面的方式设置有使气液分离的净化液(过氧化氢液)雾化的多个细微孔(未图示)的大致圆板状的多孔振动板ax1、使该多孔振动板ax1进行膜振动的形成为大致圆环板状的压电振动器ax2、对该压电振动器ax2的振动进行控制的控制装置(未图示)构成。多孔振动板ax1以覆盖压电振动器ax2的内孔部的方式与压电振动器ax2贴合。并且，多孔振动板ax1将其表面朝向净化对象室的内部安装，将背面朝向雾接受器mrx的内部安装，多孔振动板ax1的多个细微孔使净化对象室的内部与雾接受器mrx的内部贯通。需要说明的是，在图5中，配置成从多孔振动板ax1的表面朝向水平方向放出过氧化氢雾，不过并不限于此，也可以朝向下方或者根据配置位置而朝向上方放出。
79.在该状态下，一次雾经由一次雾供给配管mlx向雾接受器mrx的内部放出。在雾接受器mrx的内部，多孔振动板ax1的背面和一次雾供给配管mlx的末端相对。由此，放出的一次雾直接向多孔振动板ax1的背面喷出并气液分离。该气液分离的净化液经过进行超声波振动的多孔振动板ax1的多个细微孔而成为细微的二次雾(过氧化氢雾)，向净化对象室的内部放出，发挥净化效果。需要说明的是，虽然有时在多孔振动板ax1的背面处气液分离的净化液的一部分保留在存液处mrx1，但是这些是极少量，经过多孔振动板ax1的多个细微孔而成为细微的二次雾，向净化对象室的内部放出。另一方面，气液分离的空气从空气排出口mrx2向外部放出。
80.如此，能够将向超声波雾化装置ax供给的净化液的量高精度地控制成必要最小限度，因此即使是对于多个净化对象室而针对各室来设置较长的距离的配管的情况，也能够避免净化液的残留并进行高效的净化。而且，如此能够针对各室来供给准确的量的过氧化氢雾，因此不会缺乏净化液而超声波雾化装置ax的核心部即超声波振动器发生故障。并且，能够以必要最小限度的净化液的量获得充分的净化效果，能够实现净化液的高效利用。
81.在此，多孔振动板ax1的细微孔的孔径及孔数并未特别限定，只要能够确保超声波雾化效果和过氧化氢雾的充分的供给量即可。需要说明的是，通常具有4～11μm程度的孔径，不过若选择比细菌的孢子的尺寸小(例如0.5～3μm程度)的孔径，则发挥过滤器效果而净化液不会因细菌而污染。
82.接着，说明本第一实施方式中使用的二次雾产生单元的另一例。图6示出了二次雾
产生单元的另一例。在图6中，(a)是侧视截面图，(b)是俯视截面图。在图6中，作为二次雾产生单元的过氧化氢雾产生装置my由雾接受器mry和超声波雾化装置ay构成。
83.雾接受器mry呈具有旋风器机构的形状，在雾接受器mry的下端部安装有超声波雾化装置ay。供该超声波雾化装置ay安装的内部空间的下端部具有气液分离的少量的净化液的存液处mry的功能。并且，在雾接受器mry的上部侧面，一次雾供给配管mly的末端朝向雾接受器mry的内部呈法线状连通(与旋风器的导入口对应)。在雾接受器mry的上端部中央，空气排出口mry2朝向上方开口。
84.超声波雾化装置ay由形成为大致圆板状并以贯通表面和背面的方式设置使气液分离的净化液(过氧化氢液)雾化的多个细微孔(未图示)的多孔振动板ay1、使该多孔振动板ay1进行膜振动的形成为大致圆环板状的压电振动器ay2、对该压电振动器ay2的振动进行控制的控制装置(未图示)构成。多孔振动板ay1以覆盖压电振动器ay2的内孔部的方式与压电振动器ay2贴合。并且，多孔振动板ay1将其表面朝向净化对象室的内部安装，将背面朝向雾接受器mry的内部安装，多孔振动板ay1的多个细微孔使净化对象室的内部与雾接受器mry的内部贯通。需要说明的是，在图6中，配置成从多孔振动板ay1的表面朝向下方放出过氧化氢雾，不过并不限于此，也可以朝向水平方向或者根据配置位置而朝向上方放出。
85.在该状态下，一次雾经由一次雾供给配管mly向雾接受器mry的内部放出。雾接受器mry的内部呈具有旋风器机构的形状，因此放出的一次雾在雾接受器mry的内部侧壁处气液分离。该气液分离的净化液集中到雾接受器mry的内部下端部的存液处mry1，经过进行超声波振动的多孔振动板ay1的多个细微孔而成为细微的二次雾(过氧化氢雾)，向净化对象室的内部放出，发挥净化效果。另一方面，气液分离的空气从空气排出口mry2向外部放出。
86.如此，能够将向超声波雾化装置ay供给的净化液的量高精度地控制成必要最小限度，因此即使是对于多个净化对象室而针对各室来设置较长的距离的配管的情况，也能够避免净化液的残留并进行高效的净化。而且，如此能够针对各室来供给准确的量的过氧化氢雾，因此不会缺乏净化液而超声波雾化装置ay的核心部即超声波振动器发生故障。并且，能够以必要最小限度的净化液的量获得充分的净化效果，能够实现净化液的高效利用。
87.如以上那样，由上述第一实施方式可知，在本发明中，能够提供一种净化系统，不需要大口径的管道、防止冷凝的加热器等大规模的设备，对于多个净化对象室，能够针对各室来进行长距离的配管，在供给配管中净化液不作为死液残留，且能够针对各室来供给必要的适量的净化液而超声波振动器不会发生故障，因此能够实现净化液的高效利用。
88.《第二实施方式》
89.在本第二实施方式中，说明变更了过氧化氢雾产生装置的位置的情况。在上述第一实施方式的图1中，过氧化氢雾产生装置m1～mn配置于hepa过滤器h1～hn的上部(循环风扇f1～fn的附近)。相对于此，图2是变更了上述第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置的概略结构图。
90.在本第二实施方式的图2中，过氧化氢雾产生装置m1～mn配置于作业区域上方的整流板b1～bn的正下方。具体而言，在净化对象室r1中，两台过氧化氢雾产生装置m1(1)、m1(2)配置于作业区域上方的整流板b1的正下方。
91.需要说明的是，在图2中，除过氧化氢雾产生装置m1～mn以外的位置与图1相同。在本第二实施方式中，仅过氧化氢雾产生装置的位置与上述第一实施方式不同，关于发明的
作用机构及效果，与上述第一实施方式相同。因此，在此省略说明。
92.《第三实施方式》
93.在本第三实施方式中，说明变更了过氧化氢雾产生装置的位置并且配置了使过氧化氢雾分散/扩散的雾分散/扩散装置的情况。图3是变更了上述第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置并且配置了雾分散/扩散装置的概略结构图。
94.在本第三实施方式的图3中，过氧化氢雾产生装置m1～mn与上述第二实施方式一样配置于作业区域上方的整流板b1～bn的正下方。而且，在图3中，在整流板b1～bn的上部(整流板b1～bn与hepa过滤器h1～hn之间)，与过氧化氢雾产生装置m1～mn一起配置了雾分散/扩散装置v1～vn。雾分散/扩散装置v1～vn分别具备超声波振动盘。
95.具体而言，在净化对象室r1中，两台过氧化氢雾产生装置m1(1)、m1(2)配置于作业区域上方的整流板b1的正下方。而且，一台过氧化氢雾产生装置m1(3)和雾分散/扩散装置v1(1)配置于整流板b1的上部(整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间)。需要说明的是，在图3中，除过氧化氢雾产生装置m1～mn和雾分散/扩散装置v1～vn以外的位置与图1相同。
96.在此，对雾分散/扩散装置v1～vn进行说明。在图3的净化对象室r1中，雾分散/扩散装置v1(1)配置成对从过氧化氢雾产生装置m1(3)沿水平且图示左方向放出的过氧化氢雾从放出方向的正面作用基于超声波振动的声辐射压。
97.在此，以雾分散/扩散装置v1(1)为例来说明构造和作用。雾分散/扩散装置v1(1)具备由基盘和多个送波器构成的超声波振动盘。在本第三实施方式中，作为送波器，使用超声波发送器。在本第三实施方式中，将多个超声波发送器以使它们的振动面的送波方向统一或沿多方向分散的方式配置在基盘的盘上。需要说明的是，超声波发送器的个数并未特别限定。
98.在本第三实施方式中，使用了发送频率40khz附近的超声波的频率调制方式的超声波发送器。需要说明的是，关于超声波发送器的种类、大小和构造、输出等，并未特别限定。并且，在本第三实施方式中，关于超声波振动盘，并不限于超声波发送器，关于超声波的产生机构、频率范围及输出等，并未特别限定。
99.需要说明的是，在本第三实施方式中，通过控制装置对超声波发送器的频率、输出、发送时间进行控制，并且使超声波的发送进行稳定工作或间歇工作或强弱工作，由此能够使作用于过氧化氢雾的基于声辐射压的按压变化。
100.在这种结构中，从过氧化氢雾产生装置m1(3)放出的过氧化氢雾(二次雾)通过雾分散/扩散装置v1(1)的工作而遍及整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间空间均匀地分散/扩散。并且，此时，过氧化氢雾通过声辐射压的作用而进一步细微化，能够可靠地对整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间的空间及hepa过滤器进行净化。
101.需要说明的是，在本第三实施方式中，认为过氧化氢雾通过超声波振动的作用而进一步细微化，粒径变小，表面积变大，因此雾的蒸发效率较高，反复进行蒸发和冷凝。并且，由于是高度细微化的雾，所以在净化对象室r1的内壁面上形成均匀且薄层的冷凝膜。由此，认为在净化对象室r1的内部，过氧化氢的3μm以下的超细微粒子和过氧化氢气体一边进行相变一边共存而出现高度的净化环境。
102.《第四实施方式》
103.在本第四实施方式中，说明变更了过氧化氢雾产生装置的位置并且配置了使过氧
化氢雾分散/扩散的雾扩散装置的情况。图4是表示变更了上述第一实施方式中的二次雾产生单元的配置位置并且配置了雾扩散装置的第四实施方式的概略结构图。
104.在本第四实施方式的图4中，过氧化氢雾产生装置m1～mn与上述第二实施方式一样配置于作业区域上方的整流板b1～bn的正下方。而且，在图4中，在整流板b1～bn的上部(整流板b1～bn与hepa过滤器h1～hn之间)，与过氧化氢雾产生装置m1～mn一起配置了雾扩散装置w1～wn。雾扩散装置w1～wn分别具备轴流风扇，配置于过氧化氢雾产生装置m1～mn的附近。
105.具体而言，在净化对象室r1中，两台过氧化氢雾产生装置m1(1)、m1(2)配置于作业区域上方的整流板b1的正下方。而且，一台过氧化氢雾产生装置m1(3)和雾扩散装置w1(1)配置于过氧化氢雾产生装置m1(3)的附近的整流板b1的上部(整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间)。需要说明的是，在图4中，除过氧化氢雾产生装置m1～mn和雾扩散装置w1～wn以外的位置与图1相同。
106.在此，对雾扩散装置w1～wn进行说明。在图4的净化对象室r1中，雾扩散装置w1(1)配置成对从过氧化氢雾产生装置m1(3)沿水平且图示右方向放出的过氧化氢雾与放出方向大致并行地作用基于空气流的按压。
107.并且，也可以将雾扩散装置w1(1)的空气流放出方向设置成相对于从过氧化氢雾产生装置m1(3)沿水平且图示右方向放出的过氧化氢雾倾斜。空气流放出方向的倾斜相对于过氧化氢雾的放出方向优选为0
°
～45
°
，更优选为5
°
～30
°
。而且，在雾扩散装置w1(1)使用轴流风扇那样的产生旋涡状的空气流的风扇的情况下，相对于从雾产生装置m1(3)放出的过氧化氢雾，优选将雾扩散装置w1(1)配置成以旋涡状的空气流旋转切线方向朝上的方式使按压作用于雾。
108.在此，雾扩散装置w1(1)优选一般的轴流风扇，不过也能够使用西洛克风扇。还可以为放出压缩空气等的喷嘴，只要是为了使从过氧化氢雾产生装置产生的雾在整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间的狭小的空间内扩散到更远处而产生空气流的方法即可，并未特别限定。
109.需要说明的是，在本第四实施方式中，通过控制装置对轴流风扇的输出、动作时间进行控制，并且使轴流风扇进行稳定工作或间歇工作或强弱工作，由此能够使作用于过氧化氢雾的基于空气流的按压变化。
110.在这种结构中，从过氧化氢雾产生装置m1(3)放出的过氧化氢雾(二次雾)通过雾扩散装置w1(1)的工作而遍及整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间的空间均匀地扩散，由此能够可靠地对整流板b1与hepa过滤器h1(1)、h1(2)之间的空间及hepa过滤器进行净化。
111.如以上那样，由上述第二～第四实施方式也可知，在本发明中，能够提供一种净化系统，不需要大口径的管道、防止冷凝的加热器等大规模的设备，对于多个净化对象室，能够针对各室来进行长距离的配管，在供给配管中净化液不作为死液残留，且能够针对各室来供给必要的适量的净化液而超声波振动器不会发生故障，因此能够实现净化液的高效利用。
112.需要说明的是，在本发明的实施时，并不限于上述各实施方式，可列举如下那样的各种各样的变形例。
113.(1)在上述各实施方式中，作为压缩空气产生单元，采用空气压缩机，不过并不限定于此，也可以采用高压空气瓶等其他的单元。
114.(2)在上述各实施方式中，作为一次雾产生单元，采用喷射器，不过并不限定于此，也可以采用气液泵等其他的气液混合单元。
115.(3)在上述各实施方式中，在净化液供给配管的管路中采用管泵，不过并不限定于此，也可以采用其他的任何的泵或供液单元。
116.(4)在上述第三实施方式中，将用于使过氧化氢雾分散/扩散的雾/分散扩散装置(超声波振动盘)配置于整流板的上部(整流板与hepa过滤器h1～hn之间)，不过并不限定于此，也可以配置于作业区域上方的整流板的正下方或作业区域的任何位置。
117.(5)在上述第四实施方式中，将用于使过氧化氢雾分散/扩散的雾扩散装置(轴流风扇)配置于整流板的上部(整流板与hepa过滤器h1～hn之间)，不过并不限定于此，也可以配置于作业区域上方的整流板的正下方或作业区域的任何位置。
118.附图标记说明
119.100
…
净化系统、10
…
空气压缩机、al1～aln
…
空气供给配管、
120.20
…
过氧化氢液罐、21
…
称重器、ll1～lln
…
净化液供给配管、
121.p1～pn
…
管泵、e1～en
…
喷射器、
122.ml1～mln、mlx、mly
…
一次雾供给配管、
123.m1～mn、mx、my
…
过氧化氢雾产生装置、
124.mr1～mrn、mrx、mry
…
雾接受器、
125.mrx1、mry1
…
存液处、mrx2、mry2
…
空气排出口、mrx3
…
挡板、
126.a1～an、ax、ay
…
超声波雾化装置、
127.ax1、ay1
…
多孔振动板、ax2、ay2
…
压电振动器、
128.v1～vn
…
超声波振动盘、w1～wn
…
轴流风扇、r1～rn
…
净化对象室、
129.f1～fn
…
循环风扇、h1～hn
…
hepa过滤器、
130.mh
…
过氧化氢分解过滤器、b1～bn
…
整流板。