一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及OLED器件的制作方法

一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及oled器件
技术领域
1.本实用新型涉及蒸镀制程技术领域，尤其涉及一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及oled器件。


背景技术：

2.oled，即有机发光二极管，oled是继lcd后新一代的显示器，具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点。目前oled器件在制作过程中，oled器件上的玻璃基板需要在真空环境下采用蒸镀成膜的工艺，通过蒸镀机将待蒸镀物蒸镀到玻璃基板上形成有机薄膜，用于实现oled器件的发光。
3.在现有技术中，蒸镀机通常选用点蒸发源坩埚进行蒸镀，点蒸发源坩埚将待蒸镀物从喷嘴中喷出，oled器件的玻璃基板在喷嘴的上方水平设置，并且玻璃基板能够随着其几何中心水平旋转，喷嘴能够喷射玻璃基板从几何中心延伸至边缘的区域，当玻璃基板旋转一周后，喷嘴便可以实现对整个玻璃基板的镀膜，但是由于喷嘴喷射的区域呈圆形，当玻璃基板旋转一周后，玻璃基板的中心区域存在重复蒸镀情况，使得玻璃基板蒸镀的膜层存在中间厚，四周逐渐变薄趋势，膜厚均一性较差，导致oled器件色坐标偏差较大，良率损失较大，降低了oled器件的质量。
4.因此，亟需发明一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及oled器件，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的第一个目的在于提供一种点蒸发源坩埚，以提高点蒸发源蒸镀的均一性，改善基板上膜层厚度的一致性。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.一种点蒸发源坩埚，包括：
8.坩埚，被配置为盛放待蒸镀物；
9.第一喷嘴，设置在所述坩埚上，所述第一喷嘴的内腔与所述坩埚相连通，所述第一喷嘴被配置为蒸镀基板的第一区域，所述第一区域由所述基板的几何中心延伸至外边缘，所述基板围绕其几何中心水平旋转；以及
10.第二喷嘴，设置在所述坩埚上，所述第二喷嘴的内腔与所述坩埚相连通，所述第二喷嘴被配置为蒸镀所述基板的第二区域，所述第二区域为所述第一区域的边缘部。
11.作为优选方案，所述基板位于所述第一喷嘴和所述第二喷嘴的上方，并且所述第二喷嘴位于所述第一喷嘴远离所述基板的一侧。
12.作为优选方案，所述第二喷嘴在所述坩埚上倾斜设置。
13.作为优选方案，所述第二喷嘴蒸镀的区域占所述第一喷嘴蒸镀区域的1/3～ 1/5。
14.作为优选方案，所述坩埚包括：
15.坩埚本体，被配置为盛放所述待蒸镀物；以及
16.上盖，盖设在所述坩埚本体的开口上，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴均设置在所
述上盖上。
17.作为优选方案，所述点蒸发源坩埚还包括：
18.加热装置，被配置加热所述坩埚。
19.作为优选方案，所述加热装置上开设有放置槽，所述坩埚放置在所述放置槽中。
20.作为优选方案，所述加热装置为电阻加热源、电子束加热源、激光加热源或高频感应加热源。
21.本实用新型的第二个目的在于提供一种蒸镀机，以提高点蒸发源蒸镀的均一性，改善基板上膜层厚度的一致性。
22.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
23.一种蒸镀机，包括如上所述的点蒸发源坩埚。
24.本实用新型的第三个目的在于提供一种oled器件，以提高oled器件色坐标良率，提高oled器件的质量。
25.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
26.一种oled器件，应用如上所述的蒸镀机对所述oled器件上的基板进行蒸镀。
27.本实用新型的有益效果：
28.本实用新型提供了一种点蒸发源坩埚，其包括坩埚、第一喷嘴以及第二喷嘴，坩埚用于盛放待蒸镀物，第一喷嘴设置在坩埚上，第一喷嘴的内腔与坩埚相连通，第一喷嘴用于蒸镀基板的第一区域，第一区域由基板的几何中心延伸至外边缘，第二喷嘴设置在坩埚上，第二喷嘴的内腔与坩埚相连通，第二喷嘴用于蒸镀基板的第二区域，第二区域为第一区域的边缘部，基板围绕其几何中心水平旋转，使得第一喷嘴和第二喷嘴实现对整个基板的蒸镀。由于第一喷嘴和第二喷嘴在第二区域重叠蒸镀，弥补了仅用第一喷嘴蒸镀使得基板中心区域膜层过厚的现象，提高了点蒸发源蒸镀的均一性，改善了基板上膜层厚度的一致性。
29.本实用新型还提供了一种蒸镀机，通过应用上述点蒸发源坩埚，提高了点蒸发源蒸镀的均一性，改善了基板上膜层厚度的一致性。
30.本实用新型还提供了一种oled器件，通过应用上述蒸镀机对oled器件上的基板进行蒸镀，提高了oled器件色坐标良率，提高了oled器件的质量。
附图说明
31.图1是本实用新型实施例提供的点蒸发源坩埚的结构示意图。
32.图中：
33.100、点蒸发源坩埚；200、基板；201、第一区域；202、第二区域；
34.1、坩埚；11、坩埚本体；12、上盖；2、第一喷嘴；3、第二喷嘴；4、加热装置；41、放置槽。
具体实施方式
35.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
36.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连
接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
39.如图1所示，本实施例提供了一种点蒸发源坩埚100，能够将待蒸镀物蒸镀到基板200上，使得待蒸镀物在基板200上沉积并覆盖整个基板200，在基板 200形成有机膜层。具体而言，基板200可以为玻璃基板，玻璃基板可以应用在 oled器件上，实现oled器件发光。
40.具体而言，如图1所示，点蒸发源坩埚100包括坩埚1以及第一喷嘴2，其中，坩埚1用于盛放待蒸镀物，第一喷嘴2设置在坩埚1上，第一喷嘴2的内腔与坩埚1相连通，第一喷嘴2的内腔用作坩埚1内待蒸镀物的喷出通道，第一喷嘴2用于蒸镀基板200的第一区域201，第一区域201由基板200的几何中心延伸至外边缘，基板200在坩埚1的上方水平设置，并且基板200围绕其自身的几何中心水平旋转，当基板200围绕其几何中心旋转一周后，第一喷嘴2 便可以将待蒸镀物完全覆盖基板200，使得待蒸镀物在基板200上沉积并形成有机膜层。
41.由于第一喷嘴2喷射的区域呈圆形，当基板200旋转一周后，基板200的中心区域存在重复蒸镀情况，使得基板200的膜层存在中间厚，四周逐渐变薄趋势，使得基板200上的膜厚均一性较差，导致oled器件色坐标偏差较大，良率损失较大，降低oled器件的质量，尤其是白光oled器件，白光oled 器件对膜厚差异性的容忍度较低，白光oled器件的色坐标偏差更大，导致光学性能较差。
42.为了解决上述问题，如图1所示，本实施例提供的点蒸发源坩埚100还包括第二喷嘴3，第二喷嘴3设置在坩埚1上，第二喷嘴3的内腔与坩埚1相连通，第二喷嘴3内腔用作坩埚1内待蒸镀物的喷出的另一条并行通道，第二喷嘴3 用于蒸镀基板200的第二区域202，第二区域202为第一区域201的边缘部。通过设置第二喷嘴3与第一喷嘴2同时对旋转的基板200进行蒸镀，使得第一喷嘴2和第二喷嘴3在第二区域202重叠蒸镀，弥补了仅用第一喷嘴2蒸镀使得基板200中心区域膜层过厚的现象，使得基板200上各个区域附着的待蒸镀物接近均衡，提高了点蒸发源蒸镀的均一性，改善了基板200上膜层厚度的一致性。oled器件，尤其是白光oled器件通过使用该方式蒸镀的基板200，提高了oled器件色坐标良率，也提高了oled器件的质量。
43.具体而言，如图1所示，基板200在第一喷嘴2和第二喷嘴3的上方水平设置，并且第二喷嘴3位于第一喷嘴2远离基板200的一侧，从而保证第二喷嘴3在基板200上喷射的第二区域202位于第一区域201的边缘部。
44.进一步地，如图1所示，第二喷嘴3在坩埚1上倾斜设置，从而保证第二喷嘴3喷射的区域位于第一区域201的边缘部。具体而言，第二喷嘴3在坩埚1 上的倾斜角度可根据边缘部的范围进行调节，只要能够保证第二喷嘴3喷射的区域为基板200的边缘部即可。
45.在本实施例中，第二喷嘴3蒸镀的区域占第一喷嘴2蒸镀区域的1/3～1/5，即第二区域202占第一区域201的1/3～1/5，进一步提高点蒸发源蒸镀的均一性。
46.结合图1对坩埚1的具体结构进行说明，如图1所示，坩埚1包括坩埚本体11以及上盖12，其中，坩埚本体11用于盛放待蒸镀物，坩埚本体11上设置有开口，上盖12盖设在坩埚本体11的开口上，第一喷嘴2和第二喷嘴3均设置在上盖12上。当需要往坩埚1内装入待蒸镀物时，可将上盖12打开，通过开口往坩埚本体11内注入待蒸镀物，然后再将上盖12扣合在坩埚本体11的开口上，便于操作。
47.此外，如图1所示，点蒸发源坩埚100还包括加热装置4，加热装置4用于加热坩埚1，从而使坩埚1内的待蒸镀物受热从第一喷嘴2和第二喷嘴3的通道中喷出。具体而言，加热装置4为蒸发源，蒸发源可以为电阻加热源、电子束加热源、激光加热源或高频感应加热源，本实施例对蒸发源的具体形式不做具体的限定，只要能够保证作为蒸发源的材料具有熔点高、蒸气压低，不易发生化学反应且具有一定的机械强度即可。
48.优选地，如图1所示，加热装置4上开设有放置槽41，坩埚1放置在放置槽41中，从而保证加热装置4对坩埚1加热效果，也实现了对坩埚1的稳固支撑。
49.本实施例还提供了一种蒸镀机，通过应用上述点蒸发源坩埚100，提高了点蒸发源蒸镀的均一性，改善了基板200上膜层厚度的一致性。
50.本实施例还提供了一种oled器件，通过应用上述蒸镀机对oled器件上的基板200进行蒸镀，提高了oled器件色坐标良率，提高了oled器件的质量。具体而言，oled器件可以为白光oled器件。
51.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。