一种用于抛光头的清洗装置及抛光设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于抛光头的清洗装置，其特征在于，包括：清洗基座(1)，一端适于固定，所述清洗基座(1)具有轴向贯通的第一流道(4)；第一清洗臂(2)，成型于所述清洗基座(1)上，所述第一清洗臂(2)具有轴向贯通的第二流道(5)，所述第二流道(5)与所述第一流道(4)垂直且连通；所述第一清洗臂(2)的两轴端处均成型有第二清洗臂(3)，所述第二清洗臂(3)具有轴向设置的第三流道(6)；所述第三流道(6)的一端与所述第二流道(5)连通，所述第三流道(6)的另一端封堵；所述第三流道(6)与所述第二流道(5)的夹角不小于90
°
，所述第三流道(6)朝向背离所述清洗基座(1)的方向向上延伸；所述第一清洗臂(2)的背离所述清洗基座(1)的一侧上设有与所述第二流道(5)垂直连通的第一喷洗头(8)，所述第二清洗臂(3)的背离所述清洗基座(1)的一侧上设有与所述第三流道(6)垂直连通的第二喷洗头(9)。2.根据权利要求1所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述第二流道(5)的轴线以及两个第三流道(6)的轴线均位于同一个平面内。3.根据权利要求2所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述第二流道(5)的轴线、两个第三流道(6)的轴线以及第一流道(4)的轴线位于同一个平面内。4.根据权利要求1所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述第三流道(6)的背离所述第二流道(5)的一端处通过堵头(10)进行可拆卸封堵。5.根据权利要求1所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述第一清洗臂(2)与所述第二清洗臂(3)之间进行平滑过渡。6.根据权利要求1所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述第三流道(6)与所述第二流道(5)的夹角为钝角。7.根据权利要求1所述的用于抛光头的清洗装置，其特征在于，所述清洗基座(1)上具有一体成型的法兰(7)，所述清洗基座(1)适于通过所述法兰(7)进行固定。8.一种抛光设备，其特征在于，具有权利要求1-7中任一项所述的用于抛光头的清洗装置。

技术总结
本发明提供的一种用于抛光头的清洗装置，包括：清洗基座具有轴向贯通的第一流道；第一清洗臂成型于清洗基座上，第一清洗臂具有轴向贯通的第二流道，第二流道与第一流道垂直且连通；第一清洗臂的两轴端处均成型有第二清洗臂，第二清洗臂具有轴向设置的第三流道；第三流道的一端与第二流道连通，第三流道的另一端封堵；第三流道与第二流道的夹角不小于90


技术研发人员：于静 张敏杰 王嘉琪 李伟 尹影
受保护的技术使用者：北京烁科精微电子装备有限公司
技术研发日：2022.02.28
技术公布日：2022/5/30