一种半导体清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体工艺技术领域，具体是指一种半导体清洗装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，而随着电子产品行业的快速发展，其控制设备都会使用到半导体结构，因此，半导体的质量显得尤为重要。
3.目前半导体清洗所采取的方式一般采用超声波加清洗剂的方式，所清洗的产品需要通过载具承载再放到清洗槽内，由于料框或者料盒的结构所致，导致了半导体元件与清洗剂不能充分接触，清洗效率低，且清洗液中清洗下来的杂质容易对半导体造成二次污染，从而降低了对半导体的清洗效果，为此，提出一种半导体清洗装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体清洗装置，包括筒体，所述筒体的内部设有相互对称的四个矩形框架，所述矩形框架的内部设有对称的两个挡板，两个所述挡板相斥的一侧均匀固定连接有若干个等距排列的弹簧，所述弹簧的一端固定连接于所述矩形框架的内侧壁，所述挡板远离所述弹簧的一侧开设有若干个等距排列的限位槽，所述筒体的上方设有电机，所述电机的输出轴固定连接有倒y型的搅拌杆，所述筒体的一侧设有水泵，所述筒体的外侧壁连通有第一管体，所述第一管体远离所述筒体的一端连通于所述水泵的进水口，所述水泵的出水口连通有第二管体，所述第二管体顶部的外侧壁固定连接于所述筒体的上表面，所述筒体的内侧壁可拆卸连接有过滤网桶，所述过滤网桶位于所述第二管体出水口的正下方。
6.作为本技术方案的进一步优选的：所述筒体的上表面固定连接有四杆支撑台，所述电机的上表面安装于所述四杆支撑台的上表面中部，且所述电机的输出轴贯穿所述四杆支撑台上表面开设的第一通孔。
7.作为本技术方案的进一步优选的：所述四杆支撑台的上表面开设有相互对称的四个通槽，所述矩形框架的顶端贯穿所述通槽，所述矩形框架的两侧均开设有对称的滑槽，所述滑槽的内侧壁滑动连接有滑块，所述滑块远离所述滑槽的一侧固定连接于所述通槽的内侧壁。
8.作为本技术方案的进一步优选的：所述水泵安装于所述筒体外侧壁固定连接的支撑板表面。
9.作为本技术方案的进一步优选的：两个所述挡板相斥的一侧均固定连接有对称的两个限位杆，所述限位杆贯穿所述矩形框架表面所开设的第二通孔。
10.作为本技术方案的进一步优选的：所述电机为减速电机。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型利用矩形框架配合筒体可以提高对半导体的容纳空间，利用弹簧配合挡板可以对半导体进行夹持固定，通过电机的输出轴带动搅拌杆缓慢转动，使得清洗液缓慢转动，依靠水流加速可以提高对半导体表面的清洗效果，可以使得半导体与清洗剂充分接触，清洗效率高，同时水泵抽取筒体内部的清洗液经第二管体排入到过滤网桶中，过滤网桶对清洗液中的杂质进行过滤，降低对半导体造成二次污染的概率发生，使得对半导体清洗的效果好。
附图说明
13.图1是本实用新型的立体图。
14.图2是本实用新型的主视图。
15.图3是本实用新型的俯视图。
16.图4是本实用新型的筒体和过滤网桶的俯视连接结构示意图。
17.如图所示：1、筒体；2、水泵；3、第一管体；4、第二管体；5、通槽；6、矩形框架； 7、弹簧；8、挡板；9、电机；10、搅拌杆；11、限位槽；12、四杆支撑台；13、限位杆； 14、滑槽；15、过滤网桶；16、滑块。
具体实施方式
18.在本实用新型的描述中，需要说明的是，在本文中术语“上”、“下”、“内”、“一端”、“另一端”、“两侧”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
19.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，还可以是机械连接，又或者是通过中间媒介间接相连。对于本领域的技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
20.下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
21.如图1-4所示，本实用新型在具体实施时，一种半导体清洗装置，包括筒体1，筒体1 的内部设有相互对称的四个矩形框架6，矩形框架6的内部设有对称的两个挡板8，两个挡板8相斥的一侧均匀固定连接有若干个等距排列的弹簧7，弹簧7的一端固定连接于矩形框架6的内侧壁，挡板8远离弹簧7的一侧开设有若干个等距排列的限位槽11；设置弹簧7 配合挡板8可以对半导体起到固定的作用，通过利用限位槽11可以提高对本导体固定时的稳定性；
22.筒体1的上方设有电机9，电机9的输出轴固定连接有倒y型的搅拌杆10；通过电机9 带动搅拌杆10转动，可以提高对半导体的清洗效果；
23.筒体1的一侧设有水泵2，筒体1的外侧壁连通有第一管体3，第一管体3远离筒体1 的一端连通于水泵2的进水口，水泵2的出水口连通有第二管体4，第二管体4顶部的外侧壁固定连接于筒体1的上表面，筒体1的内侧壁可拆卸连接有过滤网桶15，过滤网桶15位于第二管体4出水口的正下方。
24.本实施例中，具体的：筒体1的上表面固定连接有四杆支撑台12，电机9的上表面安
装于四杆支撑台12的上表面中部，且电机9的输出轴贯穿四杆支撑台12上表面开设的第一通孔；设置四杆支撑杆12对电机9起到支撑的作用。
25.本实施例中，具体的：四杆支撑台12的上表面开设有相互对称的四个通槽5，矩形框架6的顶端贯穿通槽5，矩形框架6的两侧均开设有对称的滑槽14，滑槽14的内侧壁滑动连接有滑块16，滑块16远离滑槽14的一侧固定连接于通槽5的内侧壁；设置滑块16配合滑槽14对矩形框架6起到限位的作用，从而可以提高矩形框架6上下移动时的稳定性。
26.本实施例中，具体的：水泵2安装于筒体1外侧壁固定连接的支撑板表面；通过以上设置对水泵2起到限位固定的作用。
27.本实施例中，具体的：两个挡板8相斥的一侧均固定连接有对称的两个限位杆13，限位杆13贯穿矩形框架6表面所开设的第二通孔；设置限位杆13不仅可以对挡板8起到限位的作用，同时还对框架6起到限位的作用，从而可以保证半导体清洗时的稳定性。
28.本实施例中，具体的：电机9为减速电机；通过设置为减速电机可以使得搅拌杆10缓慢转动，避免水流转速过大对半导体造成损坏影响。
29.本实施例中：筒体1的外侧壁安装有用于控制电机9和水泵2启动与关闭的开关组，开关组与外界市电连接，用以为电机9和水泵2供电。
30.本实用新型的工作原理：将矩形框架6向上抽出，向两侧推动挡板8，将多个半导体分别卡入到限位槽11中，弹簧7形变后所产生的弹性势能使得挡板8对半导体进行夹持固定，向筒体1内倒入清洗液和投入超声波清洗棒，通过电机9的输出轴带动搅拌杆10缓慢转动，带动清洗液缓慢转动，依靠水流加速可以提高对半导体表面的清洗效果，且缓慢转动，可以减少水流冲击力对半导体所造成的损坏，同时水泵2抽取筒体1内部的清洗液经第二管体4 排入到过滤网桶15中，过滤网桶15对清洗液中的杂质进行过滤，避免对半导体造成二次污染，从而可以提高对半导体清洗效果。
31.以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。