对接装置及半导体设备的制作方法

1.本技术涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种对接装置及半导体设备。


背景技术：

2.转轴对接定位是指通过一个转轴，实现两个组件的连接与高精度定位，从而保证转轴附属的旋转摆臂及其末端的控制器，在绕转轴中心旋转不同的固定角度时，能够分别与两个组件上的执行器建立定位关系。同时在对接过程中，保证转轴相对两个组件的垂直度以及自身转动过程的同轴度，确保摆臂末端控制器，与位于两各组件上的两个执行器对接时，分别实现三个方向高精度定位。一般情况下，第一组件质量较大，靠人力推动底部滚轮实现对接，而第二组件内存在精密器件，在第一组件与第二组件对接时，常因第一组件对第二组件产生较大冲击导致第二组件内器件损坏。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于针对在第一组件与第二组件对接时，常因第一组件对第二组件产生较大冲击导致第二组件内器件损坏，提供一种对接装置及半导体设备。
4.为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
5.本技术的一个方面提供一种对接装置，包括主轴、减速杆和第一缓冲轴承，在所述主轴上形成有第一组件安装部和减速杆安装槽，所述减速杆安装槽在所述主轴的径向上贯穿所述主轴，所述减速杆的一端为位于所述减速杆安装槽内的连接端，所述连接端与所述减速杆安装槽的内壁枢接以使所述减速杆能够在所述主轴的径向上枢转，所述减速杆的另一端为导向端，所述第一缓冲轴承安装于所述导向端，所述第一缓冲轴承包括第一轴承部和包覆于所述第一轴承部之外的第一缓冲层。
6.可选地，还包括与所述主轴同轴设置的第二缓冲轴承，所述第二缓冲轴承包括第二轴承部和包覆于所述第二轴承部之外的第二缓冲层，所述第二轴承部安装于所述主轴，所述第二缓冲轴承的直径与所述主轴的直径相等。
7.该技术方案的有益效果在于：本技术实施例所提供的对接装置，第二缓冲轴承和减速杆均逐渐伸入第二组件内直至第二缓冲轴承与第二组件接触，由于第二缓冲组件具有第二缓冲层，使本技术实施例所提供的对接装置与第二组件碰撞时能够对振动进行缓冲，减小该碰撞对第二组件内器件损坏的可能。
8.可选地，还包括第一顶丝和第一缓冲弹簧，所述轴承部通过所述第一顶丝与所述主轴连接，所述第一缓冲弹簧的一端固定于所述第一顶丝，所述第一缓冲弹簧的另一端固定于所述减速杆。
9.该技术方案的有益效果在于：通过第一缓冲弹簧可以对减速杆的移动产生一定缓冲，使减速杆不易与主轴刚性碰撞产生损坏，通过调整第一顶丝的位置可以调整第一缓冲弹簧对减速杆的作用力及减速杆的位置，进而使第一缓冲轴承和减速杆能够较好的与第二组件配合。
10.可选地，还包括第二缓冲弹簧，所述第二缓冲弹簧位于所述减速杆背离所述第一缓冲弹簧的一侧，所述第二缓冲弹簧的一端固定于所述减速杆，所述第二缓冲弹簧的另一端固定于所述减速杆安装槽的内壁。
11.该技术方案的有益效果在于：通过第二缓冲弹簧与第一缓冲弹簧配合实现对减速杆移动的缓冲，进一步较小减速杆与主轴碰撞的可能。
12.可选地，所述第一组件安装部为形成于所述主轴的轴孔，所述轴孔与所述主轴同轴设置。
13.该技术方案的有益效果在于：在使用时，第一组件的对接固定轴插入所述轴孔，实现第一组件与主轴在主轴的径向上的限位。
14.可选地，还包括摆臂固定座和摆臂轴承，所述摆臂轴承套装于所述主轴，所述摆臂固定座套装于所述摆臂轴承。
15.该技术方案的有益效果在于：摆臂轴承座与摆臂固定连接，进而实现摆臂以主轴为轴枢转。本技术实施例中，优选的，摆臂轴承有至少两个，在主轴的周向上从内向外主轴、摆臂轴承和摆臂轴承座依次固定连接，在主轴的轴向上摆臂轴承座的两端优选的均安装有摆臂轴承压盖。
16.本技术的另一个方面提供一种半导体设备，包括第一组件、第二组件和本技术所提供的对接装置，所述第一组件和所述第二组件均与所述对接装置可拆卸的连接。
17.可选地，所述第二组件包括固定板，在所述固定板上形成有导向槽，所述第一缓冲轴承位于所述导向槽内，所述第一缓冲轴承与所述导向槽滑动配合。
18.该技术方案的有益效果在于：在本技术实施例所提供的对接装置与第二组件配合时，第一缓冲轴承与导向槽配合对对接装置与第二组件的相对移动进行导向，进而提高配合的精确度。
19.可选地，所述第二组件包括平行于所述主轴的轴向设置的第二顶丝，在所述固定板上形成有与所述导向槽连通的螺纹孔，所述第二顶丝与所述螺纹孔配合，所述第二顶丝位于所述导向槽内的一端用于与所述减速杆抵接。
20.该技术方案的有益效果在于：通过调整第二顶丝相对螺纹孔的位置，实现顶丝对减速杆以及主轴在主轴的轴向上的位置的调整，进而适应连接于对接装置的摆臂的末端控制器与固定在第一组件上的执行器与第二组件的执行器在竖直方向的尺寸需求。
21.可选地，所述第一组件安装部为形成于所述主轴的轴孔，所述轴孔与所述主轴同轴设置；所述第一组件包括对接固定轴和平行于所述主轴的轴向设置的第三顶丝，所述对接固定轴与所述轴孔配合，在所述对接固定轴的外壁上形成有顶丝安装座，所述第三顶丝与所述顶丝安装座上的螺纹孔配合，且所述第三顶丝与所述主轴抵接，所述第三顶丝位于所述主轴远离所述第二顶丝的一端。
22.该技术方案的有益效果在于：这样，通过调整第三顶丝可以调整对接固定轴与主轴的相对位置，通过调整第二顶丝和第三顶丝，可以根据摆臂的需求调整主轴的位置。
23.本技术提供的技术方案可以达到以下有益效果：
24.本技术实施例所提供的对接装置及半导体设备，在使用时，首先将第一组件安装于第一组件安装部，使第一组件与本技术实施例所提供的对接装置能够一同移动，在移动至第二组件附近时，使第一缓冲轴承伸入到第二组件内，使第一缓冲轴承与第二组件内的
导向结构接触导向，进而使主轴与第二组件之间能够较精确的配合，由于第二缓冲组件具有第一缓冲层，第一缓冲轴承与第二组件之间冲击较小，不易使第二组件产生较大受迫振动，进而使第一缓冲轴承与第二组件接触时不易造成二者损坏，特别是不易造成第二组件内器件损坏。
25.本技术的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本技术的具体实践可以了解到。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本技术实施例提供的半导体设备的一种实施方式的内部结构示意图；
28.图2为图1的爆炸结构示意图；
29.图3为本技术实施例提供的半导体设备的一种实施方式的俯视爆炸结构示意图。
30.附图标记：
31.1-第二缓冲层；
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2-第二轴承部；
32.3-第一顶丝；
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4-第一缓冲弹簧；
33.5-第二顶丝；
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6-第一缓冲层；
34.7-第一轴承部；
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8-第二缓冲弹簧；
35.9-固定板；
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10-摆臂轴承；
36.11-摆臂固定座；
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12-摆臂轴承压盖；
37.13-主轴；
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14-第三顶丝；
38.15-对接固定轴；
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16-下部锁定板；
39.17-第一组件安装部；
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18-减速杆；
40.19-转轴；
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20-上部锁定板。
具体实施方式
41.下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
42.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
43.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
44.如图1至图3所示，本技术的一个方面提供一种对接装置，包括主轴13、减速杆18和第一缓冲轴承，在所述主轴13上形成有第一组件安装部17和减速杆安装槽，所述减速杆安装槽在所述主轴13的径向上贯穿所述主轴13，所述减速杆18的一端为位于所述减速杆安装槽内的连接端，所述连接端与所述减速杆安装槽的内壁枢接以使所述减速杆18能够在所述主轴13的径向上枢转，所述减速杆18的另一端为导向端，所述第一缓冲轴承安装于所述导向端，所述第一缓冲轴承包括第一轴承部7和包覆于所述第一轴承部7之外的第一缓冲层6。
45.本技术实施例所提供的对接装置，在使用时，首先将第一组件安装于第一组件安装部17，使第一组件与本技术实施例所提供的对接装置能够一同移动，在移动至第二组件附近时，使第一缓冲轴承伸入到第二组件内，使第一缓冲轴承与第二组件内的导向结构接触导向，进而使主轴13与第二组件之间能够较精确的配合，由于第二缓冲组件具有第一缓冲层6，第一缓冲轴承与第二组件之间冲击较小，不易使第二组件产生较大受迫振动，进而使第一缓冲轴承与第二组件接触时不易造成二者损坏，特别是不易造成第二组件内器件损坏；通过使所述连接端与所述减速杆安装槽的内壁枢接以使所述减速杆18能够在所述主轴13的径向上枢转，则在第一缓冲轴承与第二组件配合时，第一缓冲轴承能够根据第二组件的导向结构的位置做适当调整。
46.可选地，本技术实施例所提供的对接装置，还包括与所述主轴13同轴设置的第二缓冲轴承，所述第二缓冲轴承包括第二轴承部2和包覆于所述第二轴承部2之外的第二缓冲层1，所述第二轴承部2安装于所述主轴13，所述第二缓冲轴承的直径与所述主轴13的直径相等。本技术实施例所提供的对接装置，第二缓冲轴承和减速杆18均逐渐伸入第二组件内直至第二缓冲轴承与第二组件接触，由于第二缓冲组件具有第二缓冲层1，使本技术实施例所提供的对接装置与第二组件碰撞时能够对振动进行缓冲，减小该碰撞对第二组件内器件损坏的可能。
47.可选地，本技术实施例所提供的对接装置，还包括第一顶丝3和第一缓冲弹簧4，所述第二轴承部2通过所述第一顶丝3与所述主轴13连接，所述第一缓冲弹簧4的一端固定于所述第一顶丝3，所述第一缓冲弹簧4的另一端固定于所述减速杆18。通过第一缓冲弹簧4可以对减速杆18的移动产生一定缓冲，使减速杆18不易与主轴13刚性碰撞产生损坏，通过调整第一顶丝3的位置可以调整第一缓冲弹簧4对减速杆18的作用力及减速杆18的位置，进而使第一缓冲轴承和减速杆18能够较好的与第二组件配合。
48.可选地，本技术实施例所提供的对接装置，还包括第二缓冲弹簧8，所述第二缓冲弹簧8位于所述减速杆18背离所述第一缓冲弹簧4的一侧，所述第二缓冲弹簧8的一端固定于所述减速杆18，所述第二缓冲弹簧8的另一端固定于所述减速杆安装槽的内壁。通过第二缓冲弹簧8与第一缓冲弹簧4配合实现对减速杆18移动的缓冲，进一步较小减速杆18与主轴13碰撞的可能。
49.可选地，所述第一组件安装部17为形成于所述主轴13的轴孔，所述轴孔与所述主轴13同轴设置。在使用时，第一组件的对接固定轴15插入所述轴孔，实现第一组件与主轴13在主轴13的径向上的限位。
50.可选地，本技术实施例所提供的对接装置，还包括摆臂固定座11和摆臂轴承10，所
述摆臂轴承10套装于所述主轴13，所述摆臂固定座11套装于所述摆臂轴承10。摆臂轴承10座与摆臂固定连接，进而实现摆臂以主轴13为轴枢转。本技术实施例中，优选的，摆臂轴承10有至少两个，在主轴13的周向上从内向外主轴13、摆臂轴承10和摆臂轴承10座依次固定连接，在主轴13的轴向上摆臂轴承10座的两端优选的均安装有摆臂轴承压盖12。
51.本技术的另一个方面提供一种半导体设备，包括第一组件、第二组件和本技术实施例所提供的对接装置，所述第一组件和所述第二组件均与所述对接装置可拆卸的连接。
52.本技术实施例所提供的半导体设备，采用了本技术实施例所提供的对接装置，在使用时，首先将第一组件安装于第一组件安装部17，使第一组件与本技术实施例所提供的对接装置能够一同移动，在移动至第二组件附近时，使第一缓冲轴承伸入到第二组件内，使第一缓冲轴承与第二组件内的导向结构接触导向，进而使主轴13与第二组件之间能够较精确的配合，由于第二缓冲组件具有第一缓冲层6，第一缓冲轴承与第二组件之间冲击较小，不易使第二组件产生较大受迫振动，进而使第一缓冲轴承与第二组件接触时不易造成二者损坏，特别是不易造成第二组件内器件损坏；通过使所述连接端与所述减速杆安装槽的内壁枢接以使所述减速杆18能够在所述主轴13的径向上枢转，则在第一缓冲轴承与第二组件配合时，第一缓冲轴承能够根据第二组件的导向结构的位置做适当调整。
53.可选地，所述第二组件包括固定板9，在所述固定板9上形成有导向槽，所述第一缓冲轴承位于所述导向槽内，所述第一缓冲轴承与所述导向槽滑动配合。在本技术实施例所提供的对接装置与第二组件配合时，第一缓冲轴承与导向槽配合对对接装置与第二组件的相对移动进行导向，进而提高配合的精确度。
54.可选地，所述第二组件包括平行于所述主轴13的轴向设置的第二顶丝5，在所述固定板9上形成有与所述导向槽连通的螺纹孔，所述第二顶丝5与所述螺纹孔配合，所述第二顶丝5位于所述导向槽内的一端用于与所述减速杆18抵接。通过调整第二顶丝5相对螺纹孔的位置，实现顶丝对减速杆18以及主轴13在主轴13的轴向上的位置的调整，进而适应连接于对接装置的摆臂的末端控制器与固定在第一组件上的执行器与第二组件的执行器在竖直方向的尺寸需求。
55.可选地，所述第一组件安装部17为形成于所述主轴13的轴孔，所述轴孔与所述主轴13同轴设置；所述第一组件包括对接固定轴15和平行于所述主轴13的轴向设置的第三顶丝14，所述对接固定轴15与所述轴孔配合，在所述对接固定轴15的外壁上形成有顶丝安装座，所述第三顶丝14与所述顶丝安装座上的螺纹孔配合，且所述第三顶丝14与所述主轴13抵接，所述第三顶丝14位于所述主轴13远离所述第二顶丝5的一端。这样，通过调整第三顶丝14可以调整对接固定轴15与主轴13的相对位置，通过调整第二顶丝5和第三顶丝14，可以根据摆臂的需求调整主轴13的位置。
56.本技术实施例所提供的半导体设备，优选的，还包括上部锁定板20和下部锁定板16，在进行第一组件、第二组件和对接装置对接的过程中，对接组件随第一组件逐渐向第二组件平移，平移过程靠人力推动实现，平移第一缓冲轴承与固定板9率先接触，降低一部分冲击振动后继续移动，在此过程中，第一缓冲轴承通过减速杆18与转轴19固定在主轴13上，上下依靠第一缓冲弹簧4和第二缓冲弹簧8调节限制，通过调节第二顶丝5实现平衡，在对接时，减速杆18可在一定角度内绕转轴19转动，使第一缓冲轴承在与固定板9接触时具有一定自适应性，避免由于竖直方向上产生偏差造成对接不成功或剧烈振动。
57.平移第一缓冲轴承进入固定板9上的导向槽后，对接装置随第一组件继续平移，第二缓冲轴承与固定板9上半部半圆形开槽对接，实现水平方向定位及缓冲功能。
58.完成对接后，将上部锁定板20、下部锁定板16与固定板9通过螺钉初步对接，对接后通过向下调整第二顶丝5和向上调整第一顶丝3将主轴13单元依据摆臂需求调节好高度，随后将上部锁定板20与下部锁定板16螺钉紧固。实现第一组件与第二组件通过对接装置实现柔性对接。
59.需指出的是本技术实施例所提供的半导体设备，摆臂固定座11通过摆臂轴承10和摆臂轴承压盖12实现与主轴13定位，此部分与主轴13部分集成于一体，在第一组件与第二组件分离合并过程中并不需要拆卸。摆臂固定座11连接摆臂及摆臂末端控制器与执行器本技术不做单独阐述，但向上调第二顶丝5与向下调整第一顶丝3对主轴13部分竖直方向调节时，须适应摆臂末端控制器与固定在第一组件与第二组件上执行器在竖直方向的尺寸需求。
60.本技术实施例所提供的对接装置及半导体设备，实现了第一组件与第二组件的柔性对接，没有传递较大冲击给第二组件，使第二组件不会产生较大受迫振动。并且，实现了对接装置相对与第一组件和第二组件的高精度定位。拆卸脱离过程中，只需要将上部锁定板20与下部锁定板16两个零件螺钉拆下即可实现脱离。满足了狭小空间内脱离与对接功能。通过第一缓冲轴承和第二缓冲轴承实现二级减小对接冲击力的目的，所述第一缓冲层6和第二缓冲层1可以是聚氨酯材料，也可以根据需求使用成品带第一缓冲层6或第二缓冲层1的轴承；第一缓冲轴承除减小冲击力外，与固定于第二组件上的固定座特定形状开槽实现一定的导向功能，便于第一组件与第二组件实现精准定位；主轴13在第一组件与第二组件对接前后虽然与第一张始终固联，但能够在初步对接后实现竖直方向微调与锁紧功能，适应末端控制器位置偏差；减速杆18前端的第一缓冲轴承通过转轴19与两个弹簧实现定位，可在收到冲击时在竖直方向上一定角度内摆动；且上方第一缓冲弹簧4可通过第一顶丝3调节压紧力，从而使第一缓冲轴承始终位于平衡位置。
61.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。