一种光刻区的光罩盒信息显示装置的制作方法

1.本实用新型属于光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻区的光罩盒信息显示装置。


背景技术：

2.在半导体工厂的光刻区放置了许多光罩盒，为了查看光罩盒的信息，当前的解决方案是在半导体厂内的光刻区设置led显示屏，以便操作员查询光罩盒信息。但led显示屏需要手动点亮，不能随时查看，而且传统led显示屏使用电池供电，为节约电量，led显示屏在较短时间内会暗屏，屏幕再点亮，需要操作员通过手动按led屏幕开关才能再次触发屏幕点亮，不便于随时查看光罩盒信息。


技术实现要素：

3.有鉴于此，为了解决晶圆厂光刻区光罩盒的lot信息无法实时显示的问题，本实用新型提出了一种光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，所述光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，所述智能标签管理模块运行于读写台上；
4.所述光罩盒设置有槽位，所述槽位嵌入有rfid玻璃管标签；
5.所述墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，所述盖板通过螺丝固定到所述墨水屏支架上，所述挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，所述墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；
6.所述无源墨水屏通过螺丝固定到盖板上；
7.所述智能标签管理模块具有rfid读取单元，和mes系统以及所述无源墨水屏通信连接，所述mes系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块后，所述智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入所述无源墨水屏，所述无源墨水屏显示晶圆的批次信息。
8.进一步的，所述无源墨水屏外包围有一层中级防静电pom加工件。
9.进一步的，所述mes系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块包括：
10.所述智能标签管理模块的rfid读取单元读取光罩盒的rfid标签信息，将光罩盒的rfid标签信息发送到mes系统，所述mes系统查询所述光罩盒的rfid标签信息对应的晶圆的批次信息，并返回给所述智能标签管理模块。
11.进一步的，所述无源墨水屏将晶圆的批次信息的灰度图像转化为二值图像并显示。
12.进一步的，所述智能标签管理模块与所述无源墨水屏通过nfc方式通信，所述智能标签管理模块与所述mes系统至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信。
13.进一步的，所述智能标签管理模块与上位机至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信，所述智能标签管理模块还将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息发送到上位机，上位机将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息保存下来。
14.本实用新型的有益效果如下：
15.实时显示光罩盒的lot信息；
16.墨水屏屏幕常亮，无需人工点亮，操作员可实时查看信息；
17.墨水屏无源，无需更换电池，寿命范围内不会自动关闭。
附图说明
18.图1本实用新型的光罩盒及墨水屏支架的结构图；
19.图2本实用新型的光罩盒信息显示装置总体框架图；
20.图3本实用新型的墨水屏支架侧面图；
21.图4本实用新型的墨水屏支架背面图。
具体实施方式
22.下面结合附图对本实用新型作进一步的说明，但不以任何方式对本实用新型加以限制，基于本实用新型教导所作的任何变换或替换，均属于本实用新型的保护范围。
23.本实用新型的目的是提供在光刻区实时显示光罩盒的lot(批次)信息的装置。为达到该目的，如图1-图4所示，本实用新型采用的技术方案如下：
24.光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，智能标签管理模块运行于读写台上；
25.光罩盒设置有槽位，槽位嵌入有rfid玻璃管标签；
26.墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；
27.无源墨水屏外包围有一层中级防静电pom(聚甲醛)加工件，通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；
28.智能标签管理模块具有rfid读取单元，和mes系统以及无源墨水屏通信连接。智能标签管理模块的rfid读取单元读取光罩盒的rfid标签信息，智能标签管理模块与mes系统至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信，将光罩盒的rfid标签信息发送到mes系统，mes系统查询光罩盒的rfid标签信息对应的晶圆的批次信息，并返回给智能标签管理模块。智能标签管理模块与无源墨水屏通过nfc方式通信，将晶圆的批次信息写入无源墨水屏，无源墨水屏将晶圆的批次信息的灰度图像转化为二值图像并显示。
29.智能标签管理模块与上位机(上位机为应用服务器，运行光罩盒的监控软件，并存储相关数据)至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信，智能标签管理模块还将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息发送到上位机，上位机将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息保存下来。
30.为了使本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚，以下结合实际例子，对本实用新型进行进一步描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
31.实施例
32.光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，读写台上设置智能标签管
理模块，装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架。
33.光罩盒内部嵌入有rfid标签，光罩盒的侧面设置有槽位。
34.墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上。无源墨水屏也叫无源电子纸，是一种非常可靠和节能的电子纸应用型产品，通过nfc技术与电子纸的结合，利用具有nfc功能的终端来改写无源墨水屏的显示内容，并且在改写无源墨水屏时不需要电源，改写后在无电源情况下，无源墨水屏能长时间保持显示状态。
35.智能标签管理模块将读写台读取到的光罩盒信息传递给mes后，回传mes返回的lot信息到智能标签管理模块，智能标签管理模块将lot信息下发到读写台，写入显示屏。mes(manufacturing execution system，制造企业生产过程执行系统)是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。本实施例中的mes系统为晶圆厂中的第三方产品，为现有技术，本实施例不再赘述。mes系统中存储有光罩盒的rfid标签信息和对应的晶圆的批次信息。
36.光罩盒信息的读取依赖于智能标签管理模块读取光罩盒的rfid标签。
37.lot信息的显示依赖于墨水屏幕将mes系统回传的lot信息写入无源墨水屏幕。
38.上述两点都依赖于墨水屏与光罩盒的结合。
39.本实用新型中无源墨水屏外包围中级防静电聚甲醛pom加工件，通过与mes系统通信，将光罩盒的lot信息展示。
40.工作过程：
41.第一步：光罩盒放置到读写台上，智能标签管理模块读取光罩盒上的rfid标签；
42.第二步：智能标签管理模块将读取到的rfid标签信息上传到mes系统；
43.第三步：mes系统通过标签信息查询到对应的lot信息，返回给智能标签管理模块；
44.第四步：智能标签管理模块将lot信息通过nfc下发给无源墨水屏；
45.第五步：无源墨水屏显示接收到的lot信息。无源墨水屏使用图形传递转换的算法把图像二值化，计算出每个像素点的坐标，根据墨水屏刷屏的规则(根据16进制显示像素)进行坐标转换。该算法内嵌入无源墨水屏，为本领域的现有技术。示例性的，本实施例采用st25r3911b无源墨水屏。
46.本实用新型的有益效果如下：
47.实时显示光罩盒的lot信息；
48.墨水屏屏幕常亮，无需人工点亮，操作员可实时查看信息；
49.墨水屏无源，无需更换电池，寿命范围内不会自动关闭。
50.本文所使用的词语“优选的”意指用作实例、示例或例证。本文描述为“优选的”任意方面或设计不必被解释为比其他方面或设计更有利。相反，词语“优选的”的使用旨在以具体方式提出概念。如本技术中所使用的术语“或”旨在意指包含的“或”而非排除的“或”。即，除非另外指定或从上下文中清楚，“x使用a或b”意指自然包括排列的任意一个。即，如果x使用a；x使用b；或x使用a和b二者，则“x使用a或b”在前述任一示例中得到满足。
51.而且，尽管已经相对于一个或实现方式示出并描述了本公开，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本公开包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件(例如元件等)执
行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本公开的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本公开的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。
52.本实用新型实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以多个或多个以上单元集成在一个模块中。
53.综上所述，上述实施例为本实用新型的一种实施方式，但本实用新型的实施方式并不受所述实施例的限制，其他的任何背离本实用新型的精神实质与原理下所做的改变、修饰、代替、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。