一种光刻区的光罩盒信息显示装置的制作方法

技术特征：
1.一种光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，其特征在于，所述光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，所述智能标签管理模块运行于读写台上；所述光罩盒设置有槽位，所述槽位嵌入有rfid玻璃管标签；所述墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，所述盖板通过螺丝固定到所述墨水屏支架上，所述挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，所述墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；所述无源墨水屏通过螺丝固定到盖板上；所述智能标签管理模块具有rfid读取单元，和mes系统以及所述无源墨水屏通信连接，所述mes系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块后，所述智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入所述无源墨水屏，所述无源墨水屏显示晶圆的批次信息。2.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述无源墨水屏外包围有一层中级防静电pom加工件。3.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述mes系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块包括：所述智能标签管理模块的rfid读取单元读取光罩盒的rfid标签信息，将光罩盒的rfid标签信息发送到mes系统，所述mes系统查询所述光罩盒的rfid标签信息对应的晶圆的批次信息，并返回给所述智能标签管理模块。4.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述无源墨水屏将晶圆的批次信息的灰度图像转化为二值图像并显示。5.根据权利要求3所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述智能标签管理模块与所述无源墨水屏通过nfc方式通信，所述智能标签管理模块与所述mes系统至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信。6.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述智能标签管理模块与上位机至少通过以太网/4g/5g/wifi方式之一通信，所述智能标签管理模块还将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息发送到上位机，上位机将晶圆的批次信息和光罩盒的rfid标签信息保存下来。

技术总结
本实用新型属于光刻机领域，公开了光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒、读写台、无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；无源墨水屏通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；智能标签管理模块具有RFID读取单元，读取光罩盒的RFID标签信息后发送给MES系统，MES系统将晶圆的批次信息发送到智能标签管理模块，智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入无源墨水屏，无源墨水屏显示晶圆的批次信息。本实用新型可实时显示光罩盒的批次信息，屏幕常亮。屏幕常亮。屏幕常亮。


技术研发人员：周敏 丁珉
受保护的技术使用者：无锡芯享信息科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/5/24