一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置的制作方法

1.本实用新型涉及显影蚀刻装置领域，尤其涉及一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置。


背景技术：

2.现有的垂直/水平显影或蚀刻线喷淋装置一般是靠喷头的布局、喷淋液喷洒形状、喷头架摇摆运动等方式来保证腐蚀的均匀性，保证腐蚀质量。然而，现有技术的显影或蚀刻线喷淋装置存在以下问题：(1)不同压力下的喷洒形状不同，在摇摆机构的辅助下打击力大、浓度高、温度高的区域会先被腐蚀掉，难以保证整体一致性，甚至出现应用区点蚀的情况。(2)在雾化环境或非流动浸泡下的蚀刻速率非常慢，无论碱性还是酸性药水蚀刻速率梯度并不明显。
3.因此，现有技术存在缺陷，需要改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，解决现有技术中，腐蚀显影或蚀刻装置过程中，难以保证整体一致性，出现应用区点蚀的问题；解决雾化环境或非流动浸泡下蚀刻速度慢的问题。
5.本实用新型的技术方案如下：一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，包括：用于安装待腐蚀工件的载板夹具座、喷淋件、设置在所述载板夹具座与喷淋件之间的扇窗组件、旋转驱动组件，所述载板夹具座上设置有若干弹性夹；所述扇窗组件包括：导电架、可旋转地安装于所述导电架上的圆形导电窗、与所述导电架连接的接线柱，所述圆形导电窗上等间距的设置有若干开孔，所述旋转驱动组件用于驱动所述圆形导电窗旋转。
6.进一步地，所述旋转驱动组件包括：旋转驱动装置、与所述旋转驱动装置输出端连接的驱动轮、同步带，所述同步带套在所述驱动轮、圆形导电窗上。
7.进一步地，所述导电架为三角架，所述导电架上设置有绝缘块。
8.进一步地，所述喷淋件上设置有若干喷淋孔，所述的若干喷淋孔均匀分布于所述喷淋件上。
9.进一步地，所述载板夹具座上设置有一夹取位，所述的若干弹性夹安装在所述夹取位内，所述圆形导电窗设置在所述夹取位的一侧。
10.进一步地，所述载板夹具座的底部设置有若干滑动轮。
11.采用上述方案，本实用新型提供一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，具有以下有益效果：
12.1、通过接线柱接电，使得导电架、圆形导电窗带电，在电场的作用下，保证喷洒出的腐蚀雾汽做定向移动，使得腐蚀雾汽定向运动形成流场，从而增加药水的扩散性、活跃性，提高腐蚀效果，保证待腐蚀工件腐蚀后整体的一致性强；
13.2、无论是雾化环境或非流动浸泡，采用本实用新型中的一种弱流环境雾汽腐蚀显
影及蚀刻装置均可提升腐蚀或蚀刻速度，效果明显，实用性强；3、结构简单，体积小，占用生产空间小。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图；
15.图2为本实用新型的载板夹具座、扇窗组件、旋转驱动组件的结构示意图；
16.图3为本实用新型的导电架、圆形导电窗的结构示意图；
17.图4为本实用新型的载板夹具座的结构示意图；
18.图5为本实用新型的喷淋件的结构示意图。
19.其中：载板夹具座1、弹性夹10、夹取位11、滑动轮12、喷淋件2、喷淋孔20、扇窗组件3、导电架30、圆形导电窗31、接线柱32、开孔33、绝缘块34、旋转驱动组件4、驱动轮40、同步带41、待腐蚀工件5。
具体实施方式
20.以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。
21.请参照图1-图5，本实用新型提供一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，包括：用于安装待腐蚀工件5的载板夹具座1、喷淋件2、设置在所述载板夹具座1与喷淋件2之间的扇窗组件3、旋转驱动组件4，所述载板夹具座1上设置有四个弹性夹10，四个弹性夹10对称分布在载板夹具座1的上下两侧，用于固定住待腐蚀工件5；所述扇窗组件3包括：导电架30、可旋转地安装于所述导电架30上的圆形导电窗31、与所述导电架30连接的接线柱32，所述圆形导电窗31上等间距的设置有若干开孔33，所述旋转驱动组件4用于驱动所述圆形导电窗31旋转。具体地，在本实施例中，所述喷淋件2上设置有若干喷淋孔20，所述的若干喷淋孔20均匀分布于所述喷淋件2上，所述喷淋件2用于喷洒腐蚀雾汽(外接带有腐蚀雾汽的装置)；通过接线柱32接电，使得导电架30、圆形导电窗31带电，由喷淋件2一侧喷出的腐蚀雾汽，在圆形导电窗31中电场的作用下，腐蚀雾汽(内部的带电粒子)会向靠近圆形导电窗31一侧做定向移动，在旋转驱动组件4的作用下，驱动圆形导电窗31旋转，进一步将腐蚀雾汽喷淋至待腐蚀工件5上，完成待腐蚀工件5的腐蚀显影或蚀刻操作；本实用新型中的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，可在电场的作用下，保证喷洒出的腐蚀雾汽做定向移动，使得腐蚀雾汽定向运动形成流场，从而增加药水的扩散性、活跃性，提高腐蚀效果，保证待腐蚀工件5腐蚀后整体的一致性；同时，无论是雾化环境或非流动浸泡(将扇窗组件3侵泡在腐蚀液中)，均可提升腐蚀或蚀刻速度，效果明显，实用性强；另外需要说明的是，本实用新型中的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置除了可以通电外，还可以通射频，可满足不同的生产需求。
22.具体地，在本实施例中，所述旋转驱动组件4包括：旋转驱动装置(附图中未示出)、与所述旋转驱动装置输出端连接的驱动轮40、同步带41，所述同步带41套在所述驱动轮40、圆形导电窗31上。通过旋转驱动装置带动驱动轮40旋转，在同步带41的作用下，进一步带动圆形导电窗31旋转；具体地，所述旋转驱动装置为伺服电机。
23.具体地，在本实施例中，所述导电架30为三角架，所述导电架30上设置有绝缘块34。可通过绝缘块34将导电架30安装于固定位置，导电架30设置为三角架状，圆形导电窗31
固定在其一个角上，可保证安装后的稳定性；所述导电架30、圆形导电窗31采用钛合金材质或是耐酸耐碱的金属材料，圆形导电窗31除本实用新型中的带多孔的结构外，也可将其编制为网状结构。
24.具体地，在本实施例中，所述载板夹具座1的底部设置有若干滑动轮12，通过滑动轮12可带动载板夹具座1整体移动；所述载板夹具座1上设置有一夹取位11，所述的四个弹性夹10安装在所述夹取位11内，所述圆形导电窗31设置在所述夹取位11的一侧。夹取位11内的空间较大，可适用于不同尺寸的待腐蚀工件5；弹性夹10为两弹片组成。
25.综上所述，本实用新型提供一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，具有以下有益效果：
26.1、通过接线柱接电，使得导电架、圆形导电窗带电，在电场的作用下，保证喷洒出的腐蚀雾汽做定向移动，使得腐蚀雾汽定向运动形成流场，从而增加药水的扩散性、活跃性，提高腐蚀效果，保证待腐蚀工件腐蚀后整体的一致性强；
27.2、无论是雾化环境或非流动浸泡，采用本实用新型中的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置均可提升腐蚀或蚀刻速度，效果明显，实用性强；
28.3、结构简单，体积小，占用生产空间小。
29.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。