技术特征：
1.一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，包括：用于安装待腐蚀工件的载板夹具座、喷淋件、设置在所述载板夹具座与喷淋件之间的扇窗组件、旋转驱动组件，所述载板夹具座上设置有若干弹性夹；所述扇窗组件包括：导电架、可旋转地安装于所述导电架上的圆形导电窗、与所述导电架连接的接线柱，所述圆形导电窗上等间距的设置有若干开孔，所述旋转驱动组件用于驱动所述圆形导电窗旋转。2.根据权利要求1所述的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，所述旋转驱动组件包括：旋转驱动装置、与所述旋转驱动装置输出端连接的驱动轮、同步带，所述同步带套在所述驱动轮、圆形导电窗上。3.根据权利要求1所述的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，所述导电架为三角架，所述导电架上设置有绝缘块。4.根据权利要求1所述的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，所述喷淋件上设置有若干喷淋孔，所述的若干喷淋孔均匀分布于所述喷淋件上。5.根据权利要求1所述的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，所述载板夹具座上设置有一夹取位，所述的若干弹性夹安装在所述夹取位内，所述圆形导电窗设置在所述夹取位的一侧。6.根据权利要求1所述的一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，其特征在于，所述载板夹具座的底部设置有若干滑动轮。
技术总结
本实用新型公开一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置，包括：用于安装待腐蚀工件的载板夹具座、喷淋件、设置在所述载板夹具座与喷淋件之间的扇窗组件、旋转驱动组件，所述载板夹具座上设置有若干弹性夹；所述扇窗组件包括：导电架、可旋转地安装于所述导电架上的圆形导电窗、与所述导电架连接的接线柱，所述圆形导电窗上等间距的设置有若干开孔，所述旋转驱动组件用于驱动所述圆形导电窗旋转。本实用新型通过接线柱接电，使得导电架、圆形导电窗带电，在电场的作用下，保证喷洒出的腐蚀雾汽做定向移动，使得腐蚀雾汽定向运动形成流场，增加药水的扩散性、活跃性，提高腐蚀效果。提高腐蚀效果。提高腐蚀效果。
技术研发人员：胡青 徐杰 李哲轩
受保护的技术使用者：迈达微（深圳）半导体技术有限公司
技术研发日：2021.11.05
技术公布日：2022/5/17
再多了解一些
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