光波导路元件的制作方法

技术特征：
1.一种光波导路元件，其特征在于在基板上形成有光波导路，所述光波导路中，在第一分支部分支的两个分支波导路的至少其中一者包括第二分支部，在所述两个分支波导路之间形成平板波导路，在所述第一分支部与所述第二分支部之间形成有狭缝，所述狭缝将所述平板波导路分割成靠近第一分支部的第一平板波导路区域与靠近第二分支部的第二平板波导路区域。2.根据权利要求1所述的光波导路元件，其特征在于，所述狭缝的折射率设定得比所述平板波导路区域的折射率低。3.根据权利要求1或2所述的光波导路元件，其特征在于，所述第一平板波导路区域是沿着形成于比所述第二分支部更靠下游侧的光波导路配置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光波导路元件，其特征在于，所述狭缝与所述第二平板波导路区域的边界的形状包括朝向所述第二平板波导路区域内突出的多个凸部，使在所述第二平板波导路区域中传播的高阶模式光行进至所述第一平板波导路区域内或所述光波导路整体的外部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导路元件，其特征在于，所述光波导路包括对在所述第一分支部分支的两个分支波导路进行合波的合波部，所述第一平板波导路区域的靠近所述合波部的部分的形状被设定为从所述第一平板波导路区域射出的高阶模式光避开所述合波部而以横穿所述分支波导路的方式行进。6.根据权利要求1至5中任一项所述的光波导路元件，其特征在于，至少在所述第一平板波导路区域的一部分配置有吸收在所述平板波导路中传输的高阶模式光的吸收材料。

技术总结
本发明提供一种光波导路元件，其防止在分支部产生的泄漏光入射至位于其他分支部等下游的光波导路中，且光学特性的劣化少。其特征在于，光波导路中，在第一分支部(20)分支的两个分支波导路(20a、20b)的至少其中一者包括第二分支部(21、22)，在所述两个分支波导路之间形成平板波导路(3c-1～3c-3)，在所述第一分支部与所述第二分支部之间形成有狭缝(41、42)，所述狭缝(41、42)将所述平板波导路分割成靠近第一分支部的第一平板波导路区域(3c-1)与靠近第二分支部的第二平板波导路区域(3c-2、3c-3)。3)。3)。


技术研发人员：片冈优 宫崎徳一
受保护的技术使用者：住友大阪水泥株式会社
技术研发日：2020.09.23
技术公布日：2022/5/10